一种水汽捕集泵制造技术

本实用新型专利技术提供了一种水汽捕集泵，包括：压缩机、水冷交换器、干燥过滤器和热交换器，压缩机的一端口通过第一管道与水冷交换器连接，水冷交换器通过第二管道依次与干燥过滤器和热交换器连接，其中，热交换器由多个热交换件串联构成，且相邻两个热交换件之间连通，通过设置多个热交换件，使得热交换器能够根据具体应用场景的需求，选择不同数量的热交换件进行安装，以适应不同体积大小以及不同负载大小的水汽捕集泵，从而降低能耗，并且，通过定位杆将多个热交换件串联固定，使得在增加或减少热交换件时，只需对定位杆进行拆卸，其拆卸和安装方式简单，易于操作。易于操作。易于操作。

【技术实现步骤摘要】
一种水汽捕集泵


[0001]本技术涉及一种捕集泵，具体涉及一种水汽捕集泵，属于捕集泵领域。

技术介绍

[0002]目前国内的超低温水汽捕集泵主要用于对如半导体、光纤，平板显示等产品进行真空镀膜时，在真空室内抽吸水汽。现有技术中，超低温水汽捕集泵在压缩机排气端依次串联水冷却器，干燥过滤器进入热交换器，经过5级制冷达到零下120度，再将冷媒送入真空镀膜室以达到捕集水汽的作用。
[0003]然而，现有技术中，由于水汽捕集泵的应用场景较为复杂，为了适应不同应用场景，水汽捕集泵的体积和重量较大，不方便拆卸和移动；并且，水汽捕集泵的容量较大，在小负载情况下制冷量浪费严重，能耗较高。

技术实现思路

[0004]针对现有技术中的问题，本技术提供了一种水汽捕集泵，用以解决水汽捕集泵的体积和重量较大，不方便拆卸和移动；并且，容量较大，在小负载情况下制冷量浪费严重，能耗较高的技术问题。
[0005]本技术的目的可以通过以下技术方案实现：
[0006]一种水汽捕集泵，包括：压缩机、水冷交换器、干燥过滤器和热交换器，压缩机的一端口通过本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种水汽捕集泵，其特征在于，包括：压缩机(1)、水冷交换器(2)、干燥过滤器(3)和热交换器(4)，所述压缩机(1)的一端口通过第一管道与所述水冷交换器(2)连接，所述水冷交换器(2)通过第二管道依次与所述干燥过滤器(3)和所述热交换器(4)连接，其中，所述热交换器(4)由多个热交换件串联构成，且相邻两个热交换件之间连通，每一热交换件还包括固定板(410)、交换板(420)和连接部(450)，所述固定板(410)与所述交换板(420)固定连接，交换板(420)远离固定板(410)的一端设置有连接部(450)，连接部(450)远离交换板(420)的一端与过渡部(440)固定连接，以使液体流入过渡部(440)和连接部(450)进入交换板(420)内，固定板(410)远离交换板(420)的一端设置有连接部(450)，连接部(450)与交换板(420)连通，且连接部(450)远离固定板(410)的一端与过渡部(440)固定连接。2.根据权利要求1所述的一种水汽捕集泵，其特征在于，所述固定板(410)的四周对称设置有若干吊耳(430)，若干吊耳(430)与固定板(410)为一体化结构，多个热交换件之间贯穿设置有定位杆(4...

【专利技术属性】
技术研发人员：施舜言，
申请(专利权)人：上海盛备科制冷科技发展有限公司，
类型：新型
国别省市：