一种适用于真空镀膜机的分段可调式布气装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种适用于真空镀膜机的分段可调式布气装置，包括气管、沿气管延伸方向开设在气管上的通气孔、多个沿气管延伸方向套设在气管外的节流套、以及沿节流套延伸方向开设在节流套上的开口；每个所述的通气孔至少对应一个开口，在节流套相对气管旋转时，通过所述开口与通气孔的重合度改变各通气孔的出气量。出气量。出气量。

【技术实现步骤摘要】
一种适用于真空镀膜机的分段可调式布气装置


[0001]本技术涉及真空镀膜
，具体涉及一种适用于真空镀膜机的分段可调式布气装置。

技术介绍

[0002]溅射镀膜基本原理是在充氩气的真空以及其他反应式气体条件下，使氩气进行辉光放电，这时氩原子电离成氩离子，氩离子在电场力的作用下，加速轰击以镀料制作的阴极靶材，靶材会被溅射出来而沉积到工件表面。
[0003]溅射镀膜技术工艺过程简单，无污染，耗材少，成膜均匀致密，与基体的结合力强。
[0004]溅射镀膜对膜层的厚度、颜色、致密性、导电性、透过率等性能具有很严苛的要求，而影响溅射镀膜膜层性能的因素有很多，比如布气分布、电场分布、磁场分布和溅射挡板尺寸等因素。
[0005]在这几个因素中，布气分布很重要，特别是使用到氧气、氮气等反应式气体的反应式磁控溅射镀膜技术。实际生产中，经常会根据产品需求来调整镀膜的各种性能，传统布气装置均为固定气路，在不更换布气装置的前提下无法调节布气分布，若更换布气装置，需要制作多个不同布气装置并进行多次停机更换，占用大量人力物力。

技术实现思路

[0006]为解决上述技术问题，本技术提供一种适用于真空镀膜机的分段可调式布气装置。
[0007]为解决上述技术问题，本技术采用如下技术方案：
[0008]一种适用于真空镀膜机的分段可调式布气装置，其特征在于，包括气管、沿气管延伸方向开设在气管上的通气孔、多个沿气管延伸方向套设在气管外的节流套、以及沿节流套延伸方向开设在节流套上的开口；每个所述的通气孔至少对应一个开口，在节流套相对气管旋转时，通过所述开口与通气孔的重合度改变各通气孔的出气量。
[0009]进一步地，所述气管与节流套采用公差带为H的间隙配合。
[0010]进一步地，所述通气孔为圆形，所述开口为方形。
[0011]进一步地，所述通气孔为圆形，所述开口为圆形。
[0012]进一步地，所述通气孔的孔径为1mm～3mm、孔距为10mm～50mm。
[0013]与现有技术相比，本技术的有益技术效果是：
[0014]本技术在气管外部套设多个节流套，节流套上开设有开口，旋转节流套可以改变开口与通气孔的重合度，改变通气孔的出气量；根据布气需求，可以使每个节流套旋转不同的角度，进而改变该节流套对应区域的出气量，实现灵活布气。
附图说明
[0015]图1为本技术整体的结构示意图；
[0016]图2为本技术通气孔的结构示意图；
[0017]图3为本技术节流套安装在气管上的结构示意图；
[0018]图4为本技术开口的结构示意图。
具体实施方式
[0019]下面结合附图对本技术的优选实施方式作详细的说明。
[0020]本技术旨在提供一种结构简单、可快速调节气流分布的布气装置，无需定制布气装置，成本低并能够减少调整时间。
[0021]如图1
‑
4所示，本实施例提供一种适用于真空镀膜机的分段可调式布气装置，包括气管3、沿气管延伸方向开设在气管上的通气孔31、多个沿气管延伸方向套设在气管外的节流套4、以及沿节流套延伸方向开设在节流套上的开口41；每个所述的通气孔至少对应一个开口，在节流套相对气管旋转时，通过所述开口与通气孔的重合度改变各通气孔的出气量。
[0022]通过气源1、阀门2向气管内输送气体。
[0023]所述气管与节流套采用公差带为H的间隙配合。气管外径与节流套内径的间隙配合范围选择H公差带，以保证正常使用过程中两者之间不会产生相对位移。
[0024]所述通气孔为圆形，所述开口可根据需要设置为不同的形状，本实施例中所述开口为方形或者圆形。
[0025]本技术中通气孔的孔径根据所需气体流量大小确定，本实施例中所述通气孔的孔径为1mm～3mm、孔距为10mm～50mm；根据生产工艺需要把通气孔分成若干段，在每一段上套一截有对应开口的节流套，通过旋转节流套来调整通气孔的截面积，从而调节出气量，达到调节真空镀膜的膜层厚度、颜色、致密性、导电性、透过率性能的目的。
[0026]本技术中的气管有两种实施方式，第一种方式为主气管与节流套配合，通过调节主气管内气体来调整膜层性能；第二种方式为主气管与辅气管并列排布，再将节流套安装在辅气管上，通过调节辅气管内气体调整膜层性能。其中主气管内一般为混合气，辅气管内一般为单质气体。
[0027]对于本领域技术人员而言，显然本技术不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本技术的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本技术。因此无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本技术的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本技术内，不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
[0028]此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为了清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种适用于真空镀膜机的分段可调式布气装置，其特征在于，包括气管(3)、沿气管延伸方向开设在气管上的通气孔(31)、多个沿气管延伸方向套设在气管外的节流套(4)、以及沿节流套延伸方向开设在节流套上的开口(41)；每个所述的通气孔至少对应一个开口，在节流套相对气管旋转时，通过所述开口与通气孔的重合度改变各通气孔的出气量。2.根据权利要求1所述的适用于真空镀膜机的分段可调式布气装置，其特征在于：所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：沈良，赵勇，
申请(专利权)人：苏州光昛智能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：