一种适用于真空镀膜机的分段可调式布气装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种适用于真空镀膜机的分段可调式布气装置，包括气管、沿气管延伸方向开设在气管上的通气孔、多个沿气管延伸方向套设在气管外的节流套、以及沿节流套延伸方向开设在节流套上的开口；每个所述的通气孔至少对应一个开口，在节流套相对气管旋转时，通过所述开口与通气孔的重合度改变各通气孔的出气量。出气量。出气量。

【技术实现步骤摘要】
一种适用于真空镀膜机的分段可调式布气装置


[0001]本技术涉及真空镀膜
，具体涉及一种适用于真空镀膜机的分段可调式布气装置。

技术介绍

[0002]溅射镀膜基本原理是在充氩气的真空以及其他反应式气体条件下，使氩气进行辉光放电，这时氩原子电离成氩离子，氩离子在电场力的作用下，加速轰击以镀料制作的阴极靶材，靶材会被溅射出来而沉积到工件表面。
[0003]溅射镀膜技术工艺过程简单，无污染，耗材少，成膜均匀致密，与基体的结合力强。
[0004]溅射镀膜对膜层的厚度、颜色、致密性、导电性、透过率等性能具有很严苛的要求，而影响溅射镀膜膜层性能的因素有很多，比如布气分布、电场分布、磁场分布和溅射挡板尺寸等因素。
[0005]在这几个因素中，布气分布很重要，特别是使用到氧气、氮气等反应式气体的反应式磁控溅射镀膜技术。实际生产中，经常会根据产品需求来调整镀膜的各种性能，传统布气装置均为固定气路，在不更换布气装置的前提下无法调节布气分布，若更换布气装置，需要制作多个不同布气装置并进行多次停机更换，占用大量人力物力。

技术实现思路
本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种适用于真空镀膜机的分段可调式布气装置，其特征在于，包括气管(3)、沿气管延伸方向开设在气管上的通气孔(31)、多个沿气管延伸方向套设在气管外的节流套(4)、以及沿节流套延伸方向开设在节流套上的开口(41)；每个所述的通气孔至少对应一个开口，在节流套相对气管旋转时，通过所述开口与通气孔的重合度改变各通气孔的出气量。2.根据权利要求1所述的适用于真空镀膜机的分段可调式布气装置，其特征在于：所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：沈良，赵勇，
申请(专利权)人：苏州光昛智能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：