激光剥离光学系统和激光剥离装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种激光剥离光学系统和激光剥离装置。激光剥离光学系统包括：激光发射装置；准直压缩机构，准直压缩机构设置在激光发射装置的出光侧；匀光装置，匀光装置设置在准直压缩机构的出光侧；扫描机构，扫描机构设置在匀光装置的出光侧。本实用新型专利技术解决了现有技术中激光剥离的过程中如何能够减少影响其他区域而达到快速剥离的问题。其他区域而达到快速剥离的问题。其他区域而达到快速剥离的问题。

【技术实现步骤摘要】
激光剥离光学系统和激光剥离装置


[0001]本技术涉及激光剥离设备
，具体而言，涉及一种激光剥离光学系统和激光剥离装置。

技术介绍

[0002]目前Micro LED(微型发光二级光)行业大家使用的共有技术有激光剥离、选择性激光转移等方法将Micro LED从COW(chip on wafter：未经划切劈裂的晶片)上通过激光剥离至暂态基板上，再将暂态基板上的Micro LED通过选择性激光转移的方式转移至IC背板，其中激光光束为高斯分布的圆形或者是椭圆形光斑，高斯分布的圆形或是椭圆形光斑由于能量呈高斯分布，故在通过脉冲激光扫描时光斑和光斑之间必须有重叠区，所以在选择性扫描区域时，边缘处的Micro LED会因能量不足剥离不下来，在这种情况下如果想要使选择区域全部剥离则必须使扫描区域向外扩宽，这样让原本不想被剥离的Micro LED因受激光能量而承受破坏或是松动现象。因此，在激光剥离的过程中如何能够减少影响其他区域而达到快速剥离是亟待解决的问题。

技术实现思路

[0003]鉴于上述现有技术的不足，本申请的目的在于提供一种激光剥本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种激光剥离光学系统，其特征在于，包括：激光发射装置(10)；准直压缩机构(20)，所述准直压缩机构(20)设置在所述激光发射装置(10)的出光侧；匀光装置(30)，所述匀光装置(30)设置在所述准直压缩机构(20)的出光侧；扫描机构(40)，所述扫描机构(40)设置在所述匀光装置(30)的出光侧。2.如权利要求1所述的激光剥离光学系统，其特征在于，所述准直压缩机构(20)包括：准直组件(21)，所述准直组件(21)位于所述激光发射装置(10)的出光侧；压缩组件(22)，所述压缩组件(22)位于所述准直组件(21)的出光侧，且所述匀光装置(30)位于所述压缩组件(22)的出光侧。3.如权利要求2所述的激光剥离光学系统，其特征在于，所述准直组件(21)包括第一准直透镜。4.如权利要求3所述的激光剥离光学系统，其特征在于，所述第一准直透镜包括单一凸透镜、单一凹透镜、透镜组中的一种。5.如权利要求2所述的激光剥离光学系统，其特征在于，所述压缩组件(22)包括：压缩透镜(221...

【专利技术属性】
技术研发人员：蒋光平，
申请(专利权)人：重庆康佳光电技术研究院有限公司，
类型：新型
国别省市：