尾气处理装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种尾气处理装置，包括：防爆箱、安装在防爆箱内的一次点火器、安装在防爆箱内的第一氢气探测器、以及安装在防爆箱内的二次点火器。防爆箱的底部设有氢气入口和空气入口。防爆箱的顶部设有排气口。一次点火器位于氢气入口处。一次点火器用于产生火花以点燃氢气入口处的氢气。第一氢气探测器位于氢气入口处并且连接一次点火器。二次点火器位于排气口处并且连接第一氢气探测器。二次点火器用于发热以点燃排气口处的氢气。上述尾气处理装置，采用二次燃烧的方式清除尾气中的氢气，并且，采用自动化点火的方式，实现氢气的安全点火，提高作业的安全性。提高作业的安全性。提高作业的安全性。

【技术实现步骤摘要】
尾气处理装置


[0001]本技术涉及半导体制造
，特别是涉及一种尾气处理装置。

技术介绍

[0002]在半导体领域中，氢气是一种应用十分广泛的气体，例如在气相外延沉积中作为反应气体，又例如在其他反应中作为运输性载气。因此，在半导体制作过程中产生的尾气中会带有氢气。
[0003]在半导体领域中，对于带有氢气的尾气，常见的处理方式有两种：其一，通过管道直排到户外；其二，点火燃烧，根据化学公式2H2+O2＝2H2O，氢气燃烧后生成水。直排户外的处理方式对周围环境造成一定的危害，特别是氢气排放处存在安全隐患。而点火燃烧的处理方式，大多数是在管道的出口处进行人工点火处理，而由于在局部空间内，氢气达到预设的浓度时，会存在爆燃的危险，因此，人工点火非常危险。
[0004]因此，需要研发一种可以针对带有氢气的尾气实现自动化点火的尾气处理装置，实现氢气的安全点火，提高作业的安全性。

技术实现思路

[0005]基于此，本技术提供一种尾气处理装置，采用二次燃烧的方式清除尾气中的氢气，并且，采用自动化点火的方式，实现氢气的安全点火，提高作业的安全性。
[0006]一种尾气处理装置，包括：
[0007]防爆箱；防爆箱的底部设有氢气入口和空气入口；防爆箱的顶部设有排气口；
[0008]安装在防爆箱内的一次点火器；一次点火器位于氢气入口处；一次点火器用于产生火花以点燃氢气入口处的氢气；
[0009]安装在防爆箱内的第一氢气探测器；第一氢气探测器位于氢气入口处并且连接一次点火器；以及
[0010]安装在防爆箱内的二次点火器；二次点火器位于排气口处并且连接第一氢气探测器；二次点火器用于发热以点燃排气口处的氢气。
[0011]上述尾气处理装置，工作时，带有氢气的尾气从氢气入口进入到防爆箱的内腔，而外部空气从空气入口进入到防爆箱的内腔。当第一氢气探测器检测位于氢气入口处的氢气浓度达到点燃所需的燃烧阈值时，一次点火器产生火花以点燃氢气以实现一次燃烧。由于进入到防爆箱的氢气具有一定的流速，所以在一次燃烧后还可能残留有少量的氢气。因此，在排气口处设置了二次点火器，由于经过一次燃烧后的氢气浓度已经很低，难以通过火花点燃，所以二次点火器充通过发热的方式点燃残留的氢气以实现二次燃烧，进一步降低从排气口处排出的废气中的氢气浓度。此外，一次点火器和二次点火器通过第一氢气探测器触发工作，因此，可以实现自动化点火，避免人工点火作业。通过上述设计，采用二次燃烧的方式清除尾气中的氢气，并且，采用自动化点火的方式，实现氢气的安全点火，提高作业的安全性。
[0012]在其中一个实施例中，尾气处理装置还包括：连接防爆箱的加压泵；加压泵连通氢气入口以对尾气进行加压输入。加压泵用于将尾气加压输入到防爆箱，使得尾气的流速达到预设值，提高尾气处理的效率。
[0013]在其中一个实施例中，空气入口为连通防爆箱的内腔与外部大气的贯穿孔。利用空气入口将外部大气的引入到防爆箱内，并且随着氢气的燃烧和防爆箱的顶部的废弃排放，形成从防爆箱的底部流向防爆箱的顶部的气流，使得外部的空气源源不断地从防爆箱的底部被吸入到防爆箱内。
[0014]在其中一个实施例中，空气入口为多个且以氢气入口为中心阵列分布。以氢气入口为中心阵列分布的空气入口，可以让空气更加均匀地流入到氢气入口处，使得氢气更加容易被点燃。
[0015]在其中一个实施例中，尾气处理装置还包括：连接防爆箱的泄气阀、安装在防爆箱内的火焰探测器、以及安装在防爆箱内的第二氢气探测器；火焰探测器位于氢气入口处以检测氢气入口处的氢气是否被点燃；第二氢气探测器位于排气口处以检测排气口处的氢气浓度是否已经降到预设的排放阈值；当第一氢气探测器检测到氢气入口处的氢气达到预设的燃烧阈值时，若氢气入口出的氢气未被点燃和/或排气口处的氢气浓度未降到预设的排放阈值，则泄气阀打开以将尾气直排到外部大气。基于安全性考虑，当有氢气输入而氢气未被点燃或者燃烧不充分时，可以判断为尾气处理装置的燃烧功能故障，此时，可以通过泄气阀将尾气直接排放到外部大气中。
[0016]在其中一个实施例中，尾气处理装置还包括：安装在防爆箱内的换热器；换热器位于氢气入口的上方；换热器内设有流动的液体，且液体经由点燃的氢气进行加热。换热器通过流动的液体将氢气燃烧产生热能回收，减少能源的浪费。
[0017]在其中一个实施例中，尾气处理装置还包括：连接换热器的储液箱。储液箱用于存储加热后的液体以便于利用。
[0018]在其中一个实施例中，一次点火器为电火花点火器。电火花点火器的结构简单，成本低廉，控制简单。
[0019]在其中一个实施例中，二次点火器为碳化硅发热体。碳化硅发热体的发热温度达到1400℃，并且具有耐高温、抗氧化、耐腐蚀的优点，使用寿命长，尤其适用于通过发热的方式点燃氢气，而且在恶劣的工作环境下可以长期正常工作。
[0020]在其中一个实施例中，尾气处理装置还包括：连接防爆箱的遮雨棚；遮雨棚位于排气口的上方。遮雨棚可以遮挡雨水，避免雨水从排气口落入到防爆箱内。
附图说明
[0021]图1为本技术的实施例一的尾气处理装置的示意图；
[0022]图2为图1所示的尾气处理装置的剖视图；
[0023]图3为本技术的实施例二的尾气处理装置的示意图；
[0024]图4为本技术的实施例三的尾气处理装置的示意图。
[0025]附图中各标号的含义为：
[0026]100
‑
尾气处理装置；
[0027]10
‑
防爆箱，11
‑
氢气入口，12
‑
空气入口，13
‑
排气口；
[0028]20
‑
一次点火器；
[0029]30
‑
第一氢气探测器；
[0030]40
‑
二次点火器；
[0031]50
‑
火焰探测器；
[0032]60
‑
第二氢气探测器；
[0033]70
‑
换热器。
具体实施方式
[0034]为使本技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本技术的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本技术。但是本技术能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本技术内涵的情况下做类似改进，因此本技术不受下面公开的具体实施例的限制。
[0035]在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种尾气处理装置，其特征在于，包括：防爆箱；所述防爆箱的底部设有氢气入口和空气入口；所述防爆箱的顶部设有排气口；安装在所述防爆箱内的一次点火器；所述一次点火器位于所述氢气入口处；所述一次点火器用于产生火花以点燃所述氢气入口处的氢气；安装在所述防爆箱内的第一氢气探测器；所述第一氢气探测器位于所述氢气入口处并且连接所述一次点火器；以及安装在所述防爆箱内的二次点火器；所述二次点火器位于所述排气口处并且连接所述第一氢气探测器；所述二次点火器用于发热以点燃所述排气口处的氢气。2.根据权利要求1所述的尾气处理装置，其特征在于，还包括：连接所述防爆箱的加压泵；所述加压泵连通所述氢气入口以对尾气进行加压输入。3.根据权利要求1所述的尾气处理装置，其特征在于，所述空气入口为连通所述防爆箱的内腔与外部大气的贯穿孔。4.根据权利要求3所述的尾气处理装置，其特征在于，所述空气入口为多个且以所述氢气入口为中心阵列分布。5.根据权利要求1所述的尾气处理装置，其特征在于，还包括：连接所述防爆箱的泄气阀、安装在所述防爆箱内的火焰探测器、以及安装在所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：王子贤，
申请(专利权)人：东莞燕园半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：