一种芯片搬运装置制造方法及图纸

技术编号:31325888 阅读:9 留言:0更新日期:2021-12-13 08:01
本实用新型专利技术属于芯片搬运领域,具体地说是一种芯片搬运装置,控制及气动系统和动力源分别安装在基座上,动力源的输出端连接有主动带轮,从动带轮的轮轴转动安装于基座上,从动带轮通过同步带与主动带轮相连;连杆架A的一端固接于从动带轮上,另一端与连杆的一端铰接,连杆架B的一端固接于主动带轮上,另一端与连杆的另一端铰接,基座、连杆架A、连杆架B及连杆形成平面四杆机构;吸嘴A及吸嘴B分别安装于连杆的两端,吸嘴A与吸嘴B分别通过柔性气管与气动系统连接。本实用新型专利技术利用经典的平面四杆机构,创新了芯片的搬运手段,优化了芯片搬运轨迹,简化了芯片搬运机构,同时提高了芯片的搬运效率和搬运精度。运效率和搬运精度。运效率和搬运精度。

【技术实现步骤摘要】
一种芯片搬运装置


[0001]本技术属于芯片搬运领域,具体地说是一种芯片搬运装置。

技术介绍

[0002]目前在对芯片进行数据写入的生产过程中,需要经历不同的工序,在各工序间转移时涉及芯片的搬运,即利用芯片搬运装置将芯片搬运到指定的工位。现有芯片搬运装置通过多个动力机构的叠加,实现X轴方向(或Y方向)+Z轴方向直线运动的组合,完成芯片的搬运。现有的芯片搬运装置结构复杂、成本高,占用空间大,搬运效率和搬运精度较低。

技术实现思路

[0003]为了解决现有芯片搬运装置结构复杂、成本高,搬运效率和搬运精度低的问题,本技术的目的在于提供一种芯片搬运装置,实现了对芯片进行高速高精度的搬运。
[0004]本技术的目的是通过以下技术方案来实现的:
[0005]本技术包括驱动件A、驱动件B、连杆架A、吸取件A、柔性气管、连杆、吸取件B、连杆架B、基座、控制及气动系统和动力源,其中控制及气动系统和动力源分别安装在基座上,该动力源的输出端连接有驱动件A,所述驱动件B转动安装于基座上,并与所述驱动件A相连,随该驱动件A从动;所述连杆架A的一端固接于驱动件B上,另一端与所述连杆的一端铰接,所述连杆架B的一端固接于驱动件A上,另一端与所述连杆的另一端铰接,所述基座、连杆架A、连杆架B及连杆形成平面四杆机构;所述吸取件A及吸取件B分别安装于连杆的两端,该吸取件A与吸取件B分别通过柔性气管与控制及气动系统中的气动系统连接,用于吸取芯片。
[0006]其中:所述驱动件A为主动带轮,所述驱动件B为从动带轮,所述主动带轮与动力源的输出端直连,所述从动带轮的轮轴转动安装于基座上,所述主动带轮通过同步带与从动带轮相连。
[0007]所述主动带轮与从动带轮之间设有同步带张紧机构,该同步带张紧机构包括同步带张紧轮及张紧盘,所述张紧盘固接于基座上,该张紧盘上转动安装有所述同步带张紧轮,所述同步带张紧轮始终与所述同步带抵接。
[0008]所述张紧盘上开设有弧形孔,该弧形孔内设有用于与基座连接的紧固螺丝,通过调节所述紧固螺丝在弧形孔内的位置进而调节所述同步带张紧轮对同步带的张紧程度。
[0009]所述连杆的两端均沿长度方向开设有条形孔,该连杆的两端分别通过铰接轴与所述连杆架A及连杆架B铰接,所述铰接轴由该条形孔穿过。
[0010]所述连杆两端的两个条形孔相对的一端均设有圆孔,该圆孔与所述条形孔相连通。
[0011]所述圆孔的直径大于条形孔的孔高。
[0012]所述条形孔与连杆相平行,该连杆两端的条形孔在连杆上的高度相同。
[0013]本技术的优点与积极效果为:
[0014]1.本技术利用经典的平面四杆机构,创新芯片的搬运手段,优化芯片搬运轨迹(由点对点的X和Z方向的直线轨迹组合,变成点对点的单一曲线轨迹),简化芯片搬运机构,提高芯片的搬运效率和搬运精度。
[0015]2.本技术的驱动电机与传动件直连,有效减少机械效率的损耗,使装置的响应速度快,传动精度高,搬运芯片的位置准确。
[0016]3.本技术优化了连杆与连杆架之间铰接用轴承的轴向固定方式,采用简单的轴向抱紧方式,使结构更加紧凑,最大限度地降低了机构惯量,提高了机构的运行速度。
[0017]4.本技术实现芯片的多工位搬运,且结构简单可靠,控制简单,成本低。
附图说明
[0018]图1为本技术的结构主视图;
[0019]图2为本技术的结构左视图;
[0020]其中:1为主动带轮,2为同步带,3为从动带轮,4为连杆架A,5为吸嘴A,6为柔性气管,7为连杆,8为同步带张紧轮,9为铰接轴,10为吸嘴B,11为连杆架B,12为芯片,13为紧固螺钉,14为带轮连接板,15为基座,16为控制及气动系统,17为驱动电机,18为张紧盘,19为紧固螺丝,20为弧形孔,21为条形孔,22为圆孔。
具体实施方式
[0021]下面结合附图对本技术作进一步详述。
[0022]如图1、图2所示,本技术包括驱动件A、驱动件B、连杆架A4、吸取件A、柔性气管6、连杆7、吸取件B、连杆架B11、基座15、控制及气动系统16和动力源,其中控制及气动系统16和动力源分别安装在基座15上,该动力源的输出端连接有驱动件A,驱动件B转动安装于基座15上,并与驱动件A相连,随驱动件A从动;连杆架A4的一端通过紧固螺钉13固接于驱动件B上,另一端与连杆7的一端铰接,连杆架B11的一端通过紧固螺钉13固接于驱动件A上,另一端与连杆7的另一端铰接,基座15、连杆架A4、连杆架B11及连杆7形成平面四杆机构;吸取件A及吸取件B分别安装于连杆7的两端,该吸取件A与吸取件B分别通过柔性气管6与控制及气动系统16中的气动系统连接,用于吸取芯片12;本实施例的气动系统可为真空泵。
[0023]本实施例的驱动件A为主动带轮1,驱动件B为从动带轮3,动力源为驱动电机17,基座15上固接有带轮连接板14,驱动电机17的输出轴连接有主动带轮1,从动带轮3的轮轴转动安装于带轮连接板14上,该从动带轮3通过同步带2与主动带轮1相连。主动带轮1可将轮轴与带轮连接板14转动连接,且轮轴由带轮连接板14穿出后通过联轴器与驱动电机17的输出轴相连,或者驱动电机17的输出轴由带轮连接板14穿过,再与主动带轮1键连接。本实施例的驱动电机17还可由气缸或油缸替换;驱动件A、驱动件B也可由相互啮合传动的齿轮替换。
[0024]本实施例的吸取件A可为吸嘴A5,吸取件B可为吸嘴B10,凡是能够通过真空泵利用负压来吸取芯片的替换,均在本技术的保护范围内,如吸盘。
[0025]本实施例在主动带轮1与从动带轮3之间设有同步带张紧机构,该同步带张紧机构包括同步带张紧轮8及张紧盘18,张紧盘18固接于带轮连接板14上,该张紧盘18上转动安装有同步带张紧轮8,同步带张紧轮8始终与同步带2抵接。本实施例的张紧盘18上开设有弧形
孔20,该弧形孔20内设有用于与带轮连接板14连接的紧固螺丝19,通过调节紧固螺丝19在弧形孔20内的位置进而调节同步带张紧轮8对同步带2的张紧程度,调节好后拧紧紧固螺丝19即可。
[0026]本实施例的连杆7两端均沿长度方向开设有条形孔21,该连杆7的两端分别通过铰接轴9与连杆架A4及连杆架B11铰接,铰接轴9由该条形孔21穿过。条形孔21与连杆7相平行,该连杆7两端的条形孔21在连杆7上的高度相同,连杆架A4与连杆架B11的长度相同。连杆7两端的两个条形孔21相对的一端均设有圆孔22,该圆孔22与条形孔21相连通,圆孔22的直径大于条形孔21的孔高。本实施例的圆孔22便于条形孔21的加工,可减少在紧固连杆7厚度方向的螺钉时的应力集中。本实施例的条形孔21配合布置在连杆7厚度方向布置的螺钉,给铰接轴9上的滚动轴承施加径向力,防止滚动轴承脱落。
[0027]本技术的工作原理为:
[0028]步骤一,主动带轮1在驱动电机17的驱动本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种芯片搬运装置,其特征在于:包括驱动件A、驱动件B、连杆架A(4)、吸取件A、柔性气管(6)、连杆(7)、吸取件B、连杆架B(11)、基座(15)、控制及气动系统(16)和动力源,其中控制及气动系统(16)和动力源分别安装在基座(15)上,该动力源的输出端连接有驱动件A,所述驱动件B转动安装于基座(15)上,并与所述驱动件A相连,随该驱动件A从动;所述连杆架A(4)的一端固接于驱动件B上,另一端与所述连杆(7)的一端铰接,所述连杆架B(11)的一端固接于驱动件A上,另一端与所述连杆(7)的另一端铰接,所述基座(15)、连杆架A(4)、连杆架B(11)及连杆(7)形成平面四杆机构;所述吸取件A及吸取件B分别安装于连杆(7)的两端,该吸取件A与吸取件B分别通过柔性气管(6)与控制及气动系统(16)中的气动系统连接,用于吸取芯片(12)。2.根据权利要求1所述的芯片搬运装置,其特征在于:所述驱动件A为主动带轮(1),所述驱动件B为从动带轮(3),所述主动带轮(1)与动力源的输出端直连,所述从动带轮(3)的轮轴转动安装于基座(15)上,所述主动带轮(1)通过同步带(2)与从动带轮(3)相连。3.根据权利要求2所述的芯片搬运装置,其特征在于:所述主动带轮(1)与从动带轮(3)之间设有同步带张紧机...

【专利技术属性】
技术研发人员:李维平姜涛
申请(专利权)人:沈阳派尔泰科科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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