本发明专利技术涉及一种抛光液洁净保护装置及操作方法，包括底座，所述底座的顶部一侧固定安装有外壳，所述外壳的内部开设有空腔，所述空腔的中部设置有过滤机构，所述过滤机构的上方设置有与外壳内壁固定连接的隔板，所述外壳的一侧面顶部设置有传动机构，所述外壳的一侧面中部固定安装有支撑板，所述底座的顶部另一侧设置有散热机构，通过伺服电机正向运转带动转轴转动，将抽拉板从安装槽的内部抽出，方便进行更换和清理过滤网，防止使用后的抛光液内杂质对过滤网造成阻塞，当伺服电机反向运转带动转轴转动，从而将更换好过滤网的抽拉板推进安装槽内，使得操作更换过滤网的过程简单方便。使得操作更换过滤网的过程简单方便。使得操作更换过滤网的过程简单方便。
【技术实现步骤摘要】
一种抛光液洁净保护装置及操作方法
[0001]本专利技术涉及抛光液
，具体为一种抛光液洁净保护装置及操作方法。
技术介绍
[0002]目前，随着科学技术的发展与行业产业链的升级，社会各个领域的加工标准不断升高，光滑或者超光滑表面元器件的需求越来越大；在光学领域的标准中，复杂曲面原件的面型精度要求在几十分之一个波长，而其表面粗糙度更是要求在5纳米以下；针对抛光过程中对各个环节中的影响抛光质量的因素的把控，从而提高抛光工件表面的精度与降低表面粗糙度是一个重要的研究方向。
[0003]由于抛光液中的抛光颗粒硬度高、颗粒小、制造困难且造价高，需要循环使用，从而降低抛光液的消耗，多次循环使用抛光液后，由于抛光液中混合的工件表面脱落颗粒和空气中的灰尘的影响，会大大降低抛光液的使用效率，同时传统的净化抛光液的方式时通过过滤网对抛光液中的杂质颗粒进行过滤，但是较大颗粒的杂质用于对过滤网造成阻塞。
技术实现思路
[0004]本方案解决的技术问题为：
[0005](1)如何通过设置过滤机构，将抽拉板抽出，方便将过滤网进行更换清理，减少较大颗粒的杂质用于对过滤网造成阻塞的情况；
[0006](2)如何通过设置传动机构，通过转轴转动，配合导向杆将盖子进行升降操作，对空腔顶部的抛光液进行防尘保护，同时方便对空腔内添加抛光液。
[0007]本专利技术的目的可以通过以下技术方案实现：一种抛光液洁净保护装置，包括底座，所述底座的顶部一侧固定安装有外壳，所述外壳的内部开设有空腔，所述空腔的中部设置有过滤机构，所述过滤机构的上方设置有与外壳内壁固定连接的隔板，所述外壳的一侧面顶部设置有传动机构，所述外壳的一侧面中部固定安装有支撑板，所述底座的顶部另一侧设置有散热机构。
[0008]本专利技术的进一步技术改进在于：所述过滤机构包括与外壳内壁固定连接的安装板，所述安装板的一端贯穿外壳，所述安装板的顶面开设有安装孔，所述安装板的一侧面开设有安装槽，所述安装槽与安装孔相互贯穿，所述安装槽的内壁底部固定安装有两个导轨，所述安装槽的内部设置有抽拉机构，通过两个导轨对抽拉机构提供限位支撑，防止出现偏移。
[0009]本专利技术的进一步技术改进在于：所述支撑板的下方设置有直齿轮，所述直齿轮的中心处固定连接有转轴，所述直齿轮的一侧设置有传导杆。
[0010]本专利技术的进一步技术改进在于：所述抽拉机构包括与两个导轨滑动连接的抽拉板，所述传导杆的一端与抽拉板固定连接，所述抽拉板的顶面开设有过滤槽，所述过滤槽的槽壁底部开设有若干个过滤孔，所述过滤槽的内部放置有过滤网，所述抽拉板的前端面固定安装有若干个转动齿，所述直齿轮与若干个转动齿啮合连接，通过转轴转动配合直齿轮
方便将抽拉板抽出，进而更换和清理过滤网，防止使用后的抛光液内杂质对过滤网造成阻塞。
[0011]本专利技术的进一步技术改进在于：所述散热机构包括与底座固定连接的支撑杆，所述支撑杆的顶端铰接有支撑座，所述支撑座的顶部固定安装有散热风机，所述支撑座的中部开设有滑槽，所述支撑杆的顶部固定连接有支撑架，所述支撑架的顶端与支撑座抵接，所述支撑板的顶部一侧固定安装有导向板，通过导向板方便对散热风机吹出的气流进行导向，提高散热效率。
[0012]本专利技术的进一步技术改进在于：所述支撑板的底面中部开设有调节孔，所述调节孔与散热风机的位置相互对应，所述传导杆的另一端活动贯穿支撑架且通过插销与滑槽活动连接，通过传导杆移动带动支撑座发生转动，使得散热风机可以调节角度，方便对伺服电机和液泵进行散热降温。
[0013]本专利技术的进一步技术改进在于：所述传动机构包括与外壳外壁固定连接的固定座，所述固定座的顶部一侧固定连接有两个导向杆，所述转轴的顶端活动贯穿支撑板和固定座且固定连接有螺纹杆，所述外壳的上方设置有盖子，所述螺纹杆与盖子螺纹连接，两个所述导向杆均活动贯穿盖子，通过螺纹杆转动带动盖子的升起和降落。
[0014]本专利技术的进一步技术改进在于：所述外壳的顶面开设有进料口，所述盖子的底面与进料口对应的位置固定安装有圆形橡胶板，所述圆形橡胶板与进料口相互卡接，通过圆形橡胶板对进料口进行卡接，提高空腔的气密性，所述外壳的中部连通有出液管和进液管，控制抛光液的使用和回收。
[0015]本专利技术的进一步技术改进在于：所述外壳的底部连通有连接管，所述连接管的中部固定安装有液泵，所述液泵与底座固定连接，所述连接管的顶端贯穿支撑板且与外壳的顶部连通，所述支撑板的顶部固定安装有伺服电机，所述伺服电机的输出端通过皮带和皮带轮与转轴传动连接。
[0016]一种抛光液洁净保护装置的操作方法，该操作方法具体包括以下步骤：
[0017]步骤一：通过进液管将使用后的抛光液注入空腔底部，通过过滤网和过滤槽将抛光液过滤，过滤后的抛光液通过液泵和连接管注入空腔顶部；
[0018]步骤二：通过伺服电机运转带动转轴运转，转轴运转配合直齿轮将抽拉板从安装槽内抽出更换过滤网，同时，转轴运转带动螺纹杆转动，配合两个导向杆将盖子平稳升起，对空腔顶部添加抛光液；
[0019]步骤三：抽拉板抽出，推动传导杆使得支撑座发生转动，散热风机配合调节孔和导向板对伺服电机进行吹风。
[0020]与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：
[0021]1、本专利技术在使用时，通过伺服电机正向运转，使得螺纹杆配合两个导向杆带动盖子升起，方便操作者对空腔顶部添加少量的抛光液，保证空腔内部的抛光液量稳定，同时通过伺服电机反向运转，使得盖子降下，配合圆形橡胶板与进料口相互卡接，提高空腔的气密性，防止外部的灰尘进入空腔内，对抛光液造成污染。
[0022]2、本专利技术在使用时，通过伺服电机正向运转带动转轴转动，将抽拉板从安装槽的内部抽出，方便进行更换和清理过滤网，防止使用后的抛光液内杂质对过滤网造成阻塞，当伺服电机反向运转带动转轴转动，从而将更换好过滤网的抽拉板推进安装槽内，使得操作
更换过滤网的过程简单方便。
附图说明
[0023]为了便于本领域技术人员理解，下面结合附图对本专利技术作进一步的说明。
[0024]图1为本专利技术整体结构示意图；
[0025]图2为本专利技术过滤机构部结构示意图；
[0026]图3为本专利技术过滤机构结构立体示意图；
[0027]图4为本专利技术散热机构结构示意图；
[0028]图5为本专利技术传动机构结构示意图；
[0029]图6为本专利技术传动机构结构立体示意图。
[0030]图中：1、底座；2、过滤机构；3、隔板；4、盖子；5、传动机构；6、外壳；7、连接管；8、伺服电机；9、支撑板；10、散热机构；11、液泵；201、安装板；202、抽拉机构；203、直齿轮；204、传导杆；205、转轴；206、导轨；501、螺纹杆；502、固定座；503、导向杆；1001、散热风机；1002、支撑架；1003、导向板；1004、支撑座；1005、支撑杆；2021、抽拉板；2022、过滤槽；2023、转动齿。
具体实施方式本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种抛光液洁净保护装置，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)的顶部一侧固定安装有外壳(6)，所述外壳(6)的内部开设有空腔，所述空腔的中部设置有过滤机构(2)，所述过滤机构(2)的上方设置有与外壳(6)内壁固定连接的隔板(3)，所述外壳(6)的一侧面顶部设置有传动机构(5)，所述外壳(6)的一侧面中部固定安装有支撑板(9)，所述底座(1)的顶部另一侧设置有散热机构(10)。2.根据权利要求1所述的一种抛光液洁净保护装置，其特征在于，所述过滤机构(2)包括与外壳(6)内壁固定连接的安装板(201)，所述安装板(201)的一端贯穿外壳(6)，所述安装板(201)的顶面开设有安装孔，所述安装板(201)的一侧面开设有安装槽，所述安装槽与安装孔相互贯穿，所述安装槽的内壁底部固定安装有两个导轨(206)，所述安装槽的内部设置有抽拉机构(202)。3.根据权利要求2所述的一种抛光液洁净保护装置，其特征在于，所述支撑板(9)的下方设置有直齿轮(203)，所述直齿轮(203)的中心处固定连接有转轴(205)，所述直齿轮(203)的一侧设置有传导杆(204)。4.根据权利要求3所述的一种抛光液洁净保护装置，其特征在于，所述抽拉机构(202)包括与两个导轨(206)滑动连接的抽拉板(2021)，所述传导杆(204)的一端与抽拉板(2021)固定连接，所述抽拉板(2021)的顶面开设有过滤槽(2022)，所述过滤槽(2022)的内部放置有过滤网，所述抽拉板(2021)的前端面固定安装有若干个转动齿(2023)，所述直齿轮(203)与若干个转动齿(2023)啮合连接。5.根据权利要求1所述的一种抛光液洁净保护装置，其特征在于，所述散热机构(10)包括与底座(1)固定连接的支撑杆(1005)，所述支撑杆(1005)的顶端铰接有支撑座(1004)，所述支撑座(1004)的顶部固定安装有散热风机(1001)，所述支撑座(1004)的中部开设有滑槽，所述支撑杆(1005)的顶部固定连接有支撑架(1002)，所述支撑板(9)的顶部一侧固定安装有导向板(1003)。6.根据权利要求3所述的一...
【专利技术属性】
技术研发人员：徐威楠，
申请(专利权)人：杭州中欣晶圆半导体股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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