一种基于X切铌酸锂薄膜的偏振无关反射式光滤波器制造技术

本发明专利技术公开了一种基于X切铌酸锂薄膜的偏振无关反射式光滤波器，属于集成光器件技术领域。包括：衬底，其材料为硅；埋氧层，其材料为二氧化硅；铌酸锂脊形波导，位于埋氧层之上；周期性二氧化硅包层，覆盖于脊波导之上。本发明专利技术在X切铌酸锂薄膜上加工被二氧化硅包层周期性覆盖的布拉格光栅结构，利用铌酸锂的双折射特性实现偏振无关的反射式光滤波器。其中周期性二氧化硅包层制备步骤具有较大的工艺容差，器件制备仅需两次光刻、无需套刻，制备工艺简单。该器件可以与基于薄膜铌酸锂材料的调制器、谐振器等结构单片集成，构成在光信号处理芯片，在微波光子学和光通讯等领域有较好的应用前景。微波光子学和光通讯等领域有较好的应用前景。微波光子学和光通讯等领域有较好的应用前景。

【技术实现步骤摘要】
一种基于X切铌酸锂薄膜的偏振无关反射式光滤波器


[0001]本专利技术属于集成光器件
，更具体地，涉及一种基于X切铌酸锂薄膜的偏振无关反射式光滤波器。

技术介绍

[0002]铌酸锂不溶于水且无色透明，属于三方晶系，钛铁矿型(畸变钙钛矿型)，表现出铁电性、一阶、二阶电光效应、压电性、光弹效应、光致双折射效应，光生伏特效应(禁带宽度约4eV)等。铌酸锂晶体具有负双折射效应，n0＝2.30，ne＝2.21(受到化学组分的影响)，且对波长从350nm到5200nm的电磁波透明。铌酸锂晶体具有很大的线形电光系数，适合用于制备低驱动电压、高速电光调制器和光开关。
[0003]绝缘层上的铌酸锂薄膜(LNOI，Lithium Niobate on Insulator)引得了学术界和工业界的大量关注。由于其在超高速应用中的潜力，这一平台被视为新一代光子集成平台的重要候选者之一。其中，重要的应用领域即为光学相干通信，相干通信相较传统通信方式而言具有容量大、选择性好、灵敏度高、中继距离长且具有多种调制格式的优势。相干通信系统中，在接收端需要一参考光与信本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于X切铌酸锂薄膜的偏振无关反射式光滤波器，其特征在于，所述滤波器包括：脊形波导，所述脊形波导的材料为铌酸锂，所述脊形波导中结构偏振模色散与材料偏振模色散相互抵消，其支持的TE和TM基模有效折射率相同；覆盖于所示脊形波导的包层波导，所述包层波导的材料为氧化硅；包层波导上制备有周期性结构，所述的周期性结构为光栅。2.根据权利要求1所述的一种基于X切铌酸锂薄膜的偏振无关反射式光滤波器，其特征在于，所述脊形波导制备于X切铌酸锂薄膜之上，光波导传播方向沿着铌酸锂晶体的Y方向。3.根据权利要求2所述的一种基于X切铌酸锂薄膜的偏振无关反射式光滤波器，其特征在于，所述脊形波导满足单模波导条件，确保其仅支持TE和TM基模。4.根据权利要求3所述的一种基于X切铌酸锂薄膜的偏振无关反射式光滤波器，其特征在于，TE模式电场沿Z方向，对应材料折射率...

【专利技术属性】
技术研发人员：夏金松，胡畅然，曾成，瞿智成，
申请(专利权)人：华中科技大学，
类型：发明
国别省市：