【技术实现步骤摘要】
磨削装置
[0001]本专利技术涉及磨削装置。
技术介绍
[0002]如专利文献1所公开的那样,对被加工物进行磨削的磨削装置中所安装的磨削磨轮具有:基台;以及多个区段磨具,它们在基台上隔开间隙地排列成环状。
[0003]在被加工物的磨削加工时,使磨削磨轮旋转,并且使保持着被加工物的卡盘工作台旋转,使区段磨具从被加工物的外周朝向中心进入。
[0004]在区段磨具从被加工物的外周进入时,有时由于区段磨具受到的冲击等而导致区段磨具从基台脱落。
[0005]当磨削磨轮上存在区段磨具发生了脱落的部分时,存在会在被磨削面上形成未被磨削的部分的圆弧的纹样而在该纹样的部分产生厚度差的问题。
[0006]因此,如专利文献2所公开的那样,已有对区段磨具的脱落进行检测的专利技术。
[0007]专利文献1:日本特开2003
‑
089065号公报
[0008]专利文献2:日本特开2017
‑
127936号公报
[0009]但是,为了能够检测区段磨具的脱落,需要 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种磨削装置,其具有:保持单元,其在保持面上对被加工物进行保持;磨削单元,其具有能够旋转的磨削磨轮,该磨削磨轮在基台上以设置有间隙的状态呈环状配置有多个区段磨具,该磨削单元使用该区段磨具对该保持单元所保持的被加工物进行磨削;磨削进给单元,其使该磨削单元在与该保持面垂直的方向上移动;以及前端检测单元,其对该区段磨具的前端进行检测,其中,该磨削装置具有:空气喷嘴,其向定位于能够由该前端检测单元对该区段磨具的前端进行检测的位置的该磨削磨轮喷射空气,使该磨削磨轮以该前端检测单元能够检测的速度进行旋转;计数器,其对该磨削磨轮的旋转中的该区段磨具...
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