一种提高下料速度的溅射镀膜设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种提高下料速度的溅射镀膜设备，包括第一壳体和与第一壳体转动安装的第二壳体，所述第二壳体内固定安装有圆盘，所述圆盘内开设有内齿纹，所述第二壳体内转动安装有第一齿轮。本实用新型专利技术中，正向转动凸台带动螺杆转动，根据螺纹传动原理，驱动螺杆向外运动且不与连接杆外表壁抵触，套环沿连接杆下滑，所有的镂空金属网均落到连接杆底部，工作人员将所有镂空金属网从挂件杆上取下，后移动套环至指定位置，反转凸台带动螺杆转动，驱动螺杆向内运动与连接杆外表壁抵触，将套环固定在连接杆上，不使用电磁铁，避免电磁铁老化损坏后无法将套环固定在连接杆上，操作简单，步骤简便，便于装置的使用。便于装置的使用。便于装置的使用。

【技术实现步骤摘要】
一种提高下料速度的溅射镀膜设备


[0001]本技术涉及溅射镀膜
，尤其涉及一种提高下料速度的溅射镀膜设备。

技术介绍

[0002]目前溅射镀膜技术是用离子轰击靶材表面，把靶材的原子被击出的现象称为溅射，溅射产生的原子沉积在基体表面成膜称为溅射镀膜，通常是利用气体放电产生气体电离，其正离子在电场作用下高速轰击阴极靶体，击出阴极靶体原子或分子，飞向被镀基体表面沉积成薄膜。
[0003]现有授权公告号为CN209602631U，专利名称为：提高下料速度的溅射镀膜设备，包括密封壳体、主壳体和抽真空设备，其工作原理如下：断开开关SB，所有电磁铁均失电，套环沿连接杆下滑，所有的镂空金属网均落到连接杆底部，并且堆叠在一起，工作人员可以一次将同一竖列的所有镂空金属网从挂件杆上捋下，镂空金属网在移动过程中将档杆推至与挂件杆平行状态下后，镂空金属网即可轻松从挂件上取下，底盘和连接杆在转动过程中工作人员可以进行下料，在转动速度合适的前提下，在底盘旋转一圈以后，工作人员即可将所有镂空金属网取下，下料速度快。
[0004]然而，电磁铁在使用的过程中本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种提高下料速度的溅射镀膜设备，包括第一壳体(1)和与第一壳体(1)转动安装的第二壳体(2)，其特征在于，所述第二壳体(2)内固定安装有圆盘(14)，所述圆盘(14)内开设有内齿纹(1401)，所述第二壳体(2)内转动安装有第一齿轮(11)，所述第一齿轮(11)上啮合连接有多个第二齿轮(12)，所述第二齿轮(12)上固定安装有连接杆(6)，所述连接杆(6)上滑动连接有多个套环(7)，所述套环(7)两端固定连接有挂件杆(8)，所述挂件杆(8)的自由端设有档杆(9)，所述套环(7)内螺纹连接有与连接杆(6)外表壁抵触的螺杆(15)，所述第二壳体(2)内设有驱动第一齿轮(11)转动的驱动机构，所述连接杆(6)的顶部固定安装有顶盘(5)。2.根据权利要求1所述的一种提高下料速度的溅射镀膜设备，其特征在于，所述第一齿轮(11)上转动安装有穿过连接杆(6)的连接块(13)，所述连接...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨程，
申请(专利权)人：浙江摩鼎纳米科技有限公司，
类型：新型
国别省市：