提供了掩模制造设备和使用该掩模制造设备制造掩模的方法，所述掩模制造设备包括：第一台，掩模框架设置在第一台上，掩模框架包括在第一方向和与第一方向交叉的第二方向上布置的单体开口；传输模块，将单体掩模放置在掩模框架上，以使掩模框架的单体开口分别与单体掩模叠置；相机模块，拍摄单体掩模；第一处理模块，在边界部分与第N单体掩模的第一边缘区域之间照射第一激光束，边界部分与掩模框架的和第N单体开口相邻的部分对应，第一边缘区域设置在边界部分上；以及第二处理模块，向第一边缘区域与第二边缘区域之间的边界区域照射第二激光束，第二边缘区域从第一边缘区域延伸。N是自然数。是自然数。是自然数。
【技术实现步骤摘要】
掩模制造设备和使用该掩模制造设备制造掩模的方法
[0001]本申请要求于2020年6月3日在韩国知识产权局提交的第10
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2020
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0067132号韩国专利申请的优先权和权益，该韩国专利申请的全部内容通过引用包含于此。
[0002]公开涉及掩模制造设备和使用该掩模制造设备制造掩模的方法。
技术介绍
[0003]显示面板可以包括多个像素。像素中的每个可以包括诸如晶体管的驱动元件和诸如有机发光二极管的显示元件。显示元件可以通过在基底上堆叠电极和发光图案而形成。发光图案可以使用孔可以穿过其限定的掩模而被图案化，因此，发光图案可以形成在预定区域中。发光图案可以形成在通过孔暴露的区域中。
[0004]近年来，为了提高显示面板的产量，正在开发用于针对大面积掩模的制造设备和制造方法的技术。
[0005]将理解的是，该
技术介绍
部分部分地旨在提供用于理解技术的有用的背景。然而，该
技术介绍
部分也可以包括不作为在此处公开的主题的相应有效提交日期之前相关领域技术人员已知或理解的内容的一部分的想法、概念或认知。
技术实现思路
[0006]公开提供了一种掩模制造设备，该掩模制造设备能够将掩模以单体单元的形式安装在掩模框架上来制造大面积掩模。
[0007]公开提供了一种使用掩模制造设备制造掩模的方法。
[0008]实施例提供了一种掩模制造设备，该掩模制造设备可以包括：第一台，掩模框架设置在第一台上，掩模框架包括在第一方向和与第一方向交叉的第二方向上布置的多个单体开口；传输模块，将多个单体掩模放置在掩模框架上，以使掩模框架的多个单体开口分别与多个单体掩模叠置；相机模块，拍摄多个单体掩模；第一处理模块，在边界部分与第N单体掩模的第一边缘区域之间照射第一激光束，边界部分与掩模框架的和第N单体开口相邻的部分对应，第一边缘区域设置在边界部分上；以及第二处理模块，向第N单体掩模的第一边缘区域与第N单体掩模的第二边缘区域之间的边界区域照射第二激光束，第二边缘区域从第一边缘区域延伸。N是自然数。
[0009]传输模块可以包括：头部组件，包括头部框架和设置在头部框架的下表面上的至少一个工具；以及传输驱动器，在第一方向、第二方向或第三方向上传输头部组件，第三方向与由第一方向和第二方向限定的平面基本上垂直。
[0010]至少一个工具可以包括多个工具，并且所述多个工具可以彼此间隔开并设置在包括在头部框架中的开口周围。
[0011]头部组件可以包括设置在头部框架与所述多个工具之间的拉张驱动器，并且当所述多个工具吸附第N单体掩模时，拉张驱动器可以使所述多个工具在与第N单体掩模的上表
面基本上平行的方向上移动并且拉张第N单体掩模。
[0012]至少一个工具包括多个工具，并且所述多个工具均可以包括下表面，并且所述多个工具中的每个下表面可以吸附第N单体掩模的第一边缘区域或第二边缘区域的上表面。
[0013]所述多个工具可以使用电磁力、静电力和真空吸力中的一种来吸附所述多个单体掩模。
[0014]所述多个工具可以包括相对于由第一方向和第二方向限定的平面以一定角度倾斜的接触表面。
[0015]第一处理模块可以包括：第一激光照射器，照射第一激光束；以及第一激光驱动器，连接到第一激光照射器，以使第一激光照射器在第一方向、第二方向或第三方向上移动，第三方向与由第一方向和第二方向限定的平面基本上垂直。
[0016]第一处理模块可以设置在包括在第一台中的开口中。
[0017]第一激光束可以使第N单体掩模的第一边缘区域的一部分和掩模框架的边界部分的一部分熔化，以使第N单体掩模固定到掩模框架。
[0018]第二处理模块可以包括照射第二激光束的第二激光照射器，并且第二激光束可以将第二边缘区域从第N单体掩模去除。
[0019]相机模块可以包括：基体板；以及多个相机，设置在基体板的下表面上。
[0020]所述多个相机中的每个可以包括远心透镜。
[0021]掩模制造设备还可以包括：第二台，其上可以设置有第N单体掩模；以及拉张模块，包括设置在第二台周围的多个夹具，所述多个夹具在与第N单体掩模的上表面基本上平行的方向上拉张第N单体掩模。
[0022]实施例提供了一种制造掩模的方法。该方法可以包括以下步骤：在台上设置掩模框架，掩模框架包括在第一方向和与第一方向交叉的第二方向上布置的多个单体开口；将第N单体掩模的第一边缘区域设置在掩模框架的边界部分上，边界部分与掩模框架的和第N单体开口相邻的部分对应；对第N单体掩模进行拍摄；在掩模框架的边界部分与第N单体掩模的第一边缘区域之间照射第一激光束；以及在第N单体掩模的第一边缘区域与第N单体掩模的第二边缘区域之间照射第二激光束，第二边缘区域从第一边缘区域延伸。N是自然数。
[0023]第N单体掩模的第一边缘区域可以在平面图中具有基本上四边形环的形状，并且可以沿着第N单体掩模的第一边缘区域和掩模框架的边界部分照射第一激光束，所述边界部分与第N单体掩模的第一边缘区域接触。
[0024]可以在第N单体掩模的第一边缘区域与第N单体掩模的第二边缘区域之间照射第二激光束，以将第二边缘区域从第N单体掩模去除。
[0025]可以通过传输模块来执行将第N单体掩模的第一边缘区域设置在掩模框架的边界部分上的步骤，传输模块包括至少一个工具，所述至少一个工具包括相对于由第一方向和第二方向限定的平面以一定角度倾斜的接触表面，并且所述至少一个工具可以使用电磁力、静电力和真空吸力中的一种来吸附第N单体掩模的第一边缘区域或第二边缘区域。
[0026]可以通过相机模块来执行拍摄第N单体掩模的步骤，该相机模块包括与台间隔开的多个相机，并且当从所述多个相机观察第N单体掩模时，所述多个相机中的每个可以拍摄形成在第N单体掩模中的多个标记。
[0027]该方法还可以包括以下步骤：在将第N单体掩模的第一边缘区域设置在掩模框架
的边界部分上的步骤之前，拉张第N单体掩模。
[0028]实施例提供了一种掩模制造设备，该掩模制造设备可以包括：台，其上设置有掩模框架，所述掩模框架包括单体开口；传输模块，将单体掩模放置在掩模框架上，以使单体开口与单体掩模叠置；相机模块，拍摄单体掩模；第一处理模块，在边界部分与单体掩模的第一边缘区域之间照射第一激光束，边界部分与掩模框架的和单体开口相邻的部分对应，第一边缘区域设置在边界部分上；以及第二处理模块，向在单体掩模的第一边缘区域与单体掩模的第二边缘区域之间的边界区域照射第二激光束，第二边缘区域从第一边缘区域延伸。第一激光束可以照射在掩模框架的边界部分与单体掩模的第一边缘区域之间，以沿着掩模框架的边界部分形成单个闭合曲线。
[0029]根据以上，掩模制造设备可以包括将单体掩模放置在掩模框架上的传输模块、将单体掩模固定到掩模框架的第一处理模块以及处理单体掩模的边缘区域的第二处理模块，因此，可以容易地制造大面积掩模。
附图说明
[0030]本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种掩模制造设备，所述掩模制造设备包括：第一台，掩模框架设置在所述第一台上，所述掩模框架包括在第一方向和与所述第一方向交叉的第二方向上布置的多个单体开口；传输模块，将多个单体掩模放置在所述掩模框架上，以使所述掩模框架的所述多个单体开口分别与所述多个单体掩模叠置；相机模块，拍摄所述多个单体掩模；第一处理模块，在边界部分与第N单体掩模的第一边缘区域之间照射第一激光束，所述边界部分与所述掩模框架的和第N单体开口相邻的部分对应，所述第一边缘区域设置在所述边界部分上；以及第二处理模块，向所述第N单体掩模的所述第一边缘区域与所述第N单体掩模的第二边缘区域之间的边界区域照射第二激光束，所述第二边缘区域从所述第一边缘区域延伸，其中，N是自然数。2.根据权利要求1所述的掩模制造设备，其中，所述传输模块包括：头部组件，包括头部框架和设置在所述头部框架的下表面上的至少一个工具；以及传输驱动器，在所述第一方向、所述第二方向或第三方向上传输所述头部组件，所述第三方向与由所述第一方向和所述第二方向限定的平面垂直。3.根据权利要求2所述的掩模制造设备，其中，所述至少一个工具包括多个工具，并且所述多个工具彼此间隔开，并且设置在包括在所述头部框架中的开口周围。4.根据权利要求3所述的掩模制造设备，其中，所述头部组件包括设置在所述头部框架与所述多个工具之间的拉张驱动器，并且当所述多个工具吸附所述第N单体掩模时，所述拉张驱动器使所述多个工具在与所述第N单体掩模的上表面平行的方向上移动并且拉张所述第N单体掩模。5.根据权利要求2所述的掩模制造设备，其中，所述至少一个工具包括多个工具，并且所述多个工具均包括下表面，并且所述多个工具中的每个下表面吸附所述第N单体掩模的所述第一边缘区域或所述第二边缘区域的上表面。6.根据权利要求5所述的掩模制造设备，其中，所述多个工具使用电磁力、静电力和真空吸力中的一种来吸附所述多个单体掩模。7.根据权利要求5所述的掩模制造设备，其中，所述多个工具包括相对于由所述第一方向和所述第二方向限定的平面以一定角度倾斜的接触表面。8.根据权利要求1所述的掩模制造设备，其中，所述第一处理模块包括：第一激光照射器，照射所述第一激光束；以及第一激光驱动器，连接到所述第一激光照射器，以使所述第一激光照射器在所述第一方向、所述第二方向或第三方向上移动，所述第三方向与由所述第一方向和所述第二方向限定的平面垂直。9.根据权利要求8所述的掩模制造设备，其中，所述第一处理模块设置在包括在所述第一台中的开口中。10.根据权利要求1所述的掩模制造设备，其中，所述第一激光束使所述第N单体掩模的
所述第一边缘区域的一部分和所述掩模框架的所述边界部分的一部分熔化，以使所述第N单体掩模固定到所述掩模框架。11.根据...
【专利技术属性】
技术研发人员：赵俊豪，金昇垣，朴永浩，宋昇勇，李宁哲，任星淳，崔玲硕，
申请(专利权)人：三星显示有限公司，
类型：发明
国别省市：
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