具有过载保护功能的多维薄膜扭矩传感器制造技术

本实用新型专利技术提供的具有过载保护功能的多维薄膜扭矩传感器，包括外轮、内轮和应变梁，内轮位于外轮的内部，且二者同轴设置，至少两组应变梁设置在外轮和内轮之间以连接外轮和内轮，每组应变梁相对所述内轮的中心点呈中心对称设置，应变梁上设置有安装面，安装面上设置有应变电阻，任意一组应变梁上的安装面之间相互平行设置，任意两组应变梁上的安装面之间交叉设置，通过在应变梁的不同维面上制造扭矩检测薄膜电阻以形成扭矩检测惠斯通电桥，克服了粘贴应变片带来的固有缺陷，同时也提高了传感器的检测精度，其次，通过在外轮和内轮之间设置限位杆以及限位槽，能够有效的避免因负载过大而损坏传感器。大而损坏传感器。大而损坏传感器。

【技术实现步骤摘要】
具有过载保护功能的多维薄膜扭矩传感器


[0001]本技术涉及传感器
，具体为具有过载保护功能的多维薄膜扭矩传感器。

技术介绍

[0002]扭矩传感器的用途是测量一维扭矩物理量。电阻应变式传感器是目前国内外使用最多的一种扭矩传感器。它采用在应变梁表面贴应变片的传统方法，当扭矩等物理量作用于应变梁时，会导致元件应力和应变的变化，进而引起电阻应变片阻值的变化，电阻的变化经电路处理后以电信号的方式输出，此种传感器广泛使用在扭矩的测量上。
[0003]现有的应变式扭矩传感器是使用有机胶将应变片粘贴在弹性体上，这种制造方法使传感器的综合性能受如下因素影响：弹性体粘贴表面清洁度、粘贴胶的性能、粘贴胶的厚度及均匀性，粘贴位置及其一致性等，另外，粘贴胶受环境温度、湿度以及长时间工作等因素影响也会导致传感器性能发生变化。这些影响主要导致传感器的迟滞误差、重复性误差、温度漂移误差大，从而降低传感器的测量精度。同时由于有机胶的存在，传感器工作环境受到一定的影响，同时传统的粘贴应变式扭矩传感器结构较复杂，加工也不容易，产品生产效率低，成本高等问题。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.具有过载保护功能的多维薄膜扭矩传感器，其特征在于，包括外轮、内轮和应变梁，所述内轮位于所述外轮的内部，且二者同轴设置，至少两组所述应变梁设置在所述外轮和内轮之间以连接所述外轮和内轮，每组所述应变梁相对所述内轮的中心点呈中心对称设置，所述应变梁上设置有安装面，所述安装面上设置有应变电阻，任意一组所述应变梁上的安装面之间相互平行设置，任意两组所述应变梁上的安装面之间交叉设置。2.根据权利要求1所述的具有过载保护功能的多维薄膜扭矩传感器，其特征在于，每组所述应变梁的数量为偶数个，且同组中分布在所述内轮两侧的应变梁位于同一直线上或分别向同一方向偏转相同的角度。3.根据权利要求2所述的具有过载保护功能的多维薄膜扭矩传感器，其特征在于，任一所述应变梁上设置有数个所述安装面，所述应变电阻沿所述外轮的半径方向设置在所述安装面上。4.根据权利要求3所述的具有过载保护功能的多维薄膜扭矩传感器，其特征在于，所述外轮和内轮之间设置有两组所述应变梁，每组所述应变梁的数量为两个，且同组中分布在所述内轮两侧的应变梁位于同一直线上，两组所述应变梁之间的夹角为直角，两组所述应变梁上的安装面之间的夹角也为直角，任一所述应变梁上设置有两个所述安装面，任一所述安装面上设置有两个所述应变电阻。5.根据权利要求1
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4任一所述的具有过载保护功能的多维薄膜扭矩传...

【专利技术属性】
技术研发人员：雷卫武，徐承义，陈兆仁，刘素夫，徐建，
申请(专利权)人：松诺盟科技有限公司，
类型：新型
国别省市：