本实用新型专利技术公开了一种用于测试PVD托盘的传输平台，属于真空镀膜技术领域。本实用新型专利技术的一种用于测试PVD托盘的传输平台，包括主体机架、传动组、轴可调机构、定位导轨和外框架；轴可调机构包括电机机构、第一传动轴、第二传动轴和第三传动轴；电机机构带动第一传动轴，第一传动轴通过第三传动轴带动第二传动轴，第一传动轴和/或第二传动轴可以在第三传动轴内滑动；定位导轨安装在主体机架上，定位导轨包括第一连接杆和第二连接杆，第一连接杆和第二连接杆分别连接2个框架，第一连接杆和/或第二连接杆能够径向滑动。通过轴可调机构和定位导轨的调节，框架间距能够适应不同PVD托盘宽度尺寸的测试平台。尺寸的测试平台。尺寸的测试平台。
【技术实现步骤摘要】
一种用于测试PVD托盘的传输平台
[0001]本技术涉及真空镀膜领域，更具体地说，涉及一种用于测试PVD托盘的传输平台。
技术介绍
[0002]能源危机和环境污染问题促使人们对清洁能源的广泛关注，太阳能具有资源充足，无污染，寿命长等优点，已成为可再生能源技术中发展最快，最具活力的研究领域。太阳能电池是一种利用光生伏特效应将太阳光辐射能直接转换为电能的发电技术，在所有的太阳能电池技术中，硅基异质结太阳能电池因其具有较高的转换效率和较低的温度系数，而最引人注目。
[0003]PVD镀膜设备是对硅片进行磁控溅射镀膜的一种真空镀膜设备，PVD设备托盘是要装载市面上各种硅片，托盘规格有：L2274*W1692mm(210半片)，L2363*W1762mm(220半片)，L2383*W1986mm(230半片)等五种规格。
[0004]常规PVD托盘测试平台框架由方管焊接，安装轴承座和轴，只能测试一种规格的托盘，如要测试其他规格的托盘，就需要更换机架和轴。此种方案存在缺点，常规PVD托盘测试平台框架由方管焊接，安装轴承座和轴，只能测试一种规格的托盘，如要测试其他规格的托盘，就要更换机架和轴，十分浪费成本，安装调试也浪费时间。
[0005]鉴于以上原因，需要提供一种能够适应不同PVD托盘宽度尺寸的测试平台。
技术实现思路
[0006]1.技术要解决的技术问题
[0007]本技术的目的在于克服现有技术中测试平台规格固定，只能测试一种规格托盘的不足，提供了一种用于测试PVD托盘的传输平台，包括主体机架、传动组、轴可调机构、定位导轨和外框架；轴可调机构包括电机机构、第一传动轴、第二传动轴和第三传动轴；电机机构带动第一传动轴，第一传动轴的第一连接段与第三传动轴的一端连接，第三传动轴的另一端连接第二传动轴的第二连接段；第一传动轴远离第一连接段的一端连接有传动轮，该传动轮作为主动轮带动传动组；第二传动轴远离第二连接段的一端连接有传动轮，该传动轮作为主动轮带动传动组；第一传动轴和/或第二传动轴可以在第三传动轴内滑动；定位导轨安装在主体机架上，定位导轨包括第一连接杆和第二连接杆，第一连接杆和第二连接杆分别连接2个框架，第一连接杆和/或第二连接杆能够径向滑动。通过轴可调机构和定位导轨的调节，框架间距能够适应不同PVD托盘宽度尺寸的测试平台。此结构的部件简单、数量少，并可以轻松实现拆装。
[0008]2.技术方案
[0009]为达到上述目的，本技术提供的技术方案为：
[0010]本技术的一种用于测试PVD托盘的传输平台，包括主体机架、传动组、轴可调机构、定位导轨和外框架；
[0011]外框架包括平行设置的2个框架，框架上设置有若干传动组，每个传动组包括第一传动轮、第二传动轮和传动带，第一传动轮通过传动带带动第二传动轮，多个传动组依次设置；
[0012]轴可调机构包括电机机构、第一传动轴、第二传动轴和第三传动轴；电机机构带动第一传动轴，第一传动轴的第一连接段与第三传动轴的一端连接，第三传动轴的另一端连接第二传动轴的第二连接段；第一传动轴远离第一连接段的一端连接有传动轮，该传动轮作为主动轮带动传动组；第二传动轴远离第二连接段的一端连接有传动轮，该传动轮作为主动轮带动传动组；第一传动轴和/或第二传动轴可以在第三传动轴内滑动；
[0013]靠近电机机构一侧框架上的传动轮通过主轴连接有第一主动轮，远离电机机构一侧框架上的传动轮通过主轴连接有第二主动轮。
[0014]定位导轨安装在主体机架上，定位导轨包括第一连接杆和第二连接杆，第一连接杆和第二连接杆分别连接2个框架，第一连接杆和/或第二连接杆能够径向滑动。
[0015]通过轴可调机构和定位导轨的调节，框架间距能够适应不同PVD托盘宽度尺寸的测试平台。
[0016]作为本技术更进一步的改进，第一连接段插在第三传动轴的第一容纳口内，第二连接段插在第三传动轴的第二容纳口内，第三传动轴为空心管状结构，第一传动轴和第二传动轴能在第三传动轴内滑动。实现稳定传动的同时能够实现框架间距调节。
[0017]作为本技术更进一步的改进，在第一连接段和第二连接段上都设置有固定平面，在第一容纳口和第二容纳口都设置有固定孔，在第一容纳口和第二容纳口外安装有紧固套，紧固套设有通孔，固定螺钉穿过通孔和固定孔对第一连接段和第二连接段进行固定。使得传动结构稳定。
[0018]作为本技术更进一步的改进，通孔和固定孔都设置有若干个，在通孔和/或固定孔上具有刻度。实现精准调节。
[0019]作为本技术更进一步的改进，第三传动轴的外侧设有轴承座，轴承座固定于主体机架或者固定于定位导轨的侧面。进一步实现轴可调机构的固定。
[0020]作为本技术更进一步的改进，定位导轨包括地脚组件、脚轮组件、挡板结构、限位机构、第一连接杆和第二连接杆；
[0021]第二连接杆通过地脚组件固定在地面上，第一连接杆通过脚轮组件支撑，第一连接杆和第二连接杆安装在2个挡板结构之间，第一连接杆远离第二连接杆的一端固定在一个框架上，第二连接杆远离第一连接杆的一端固定在另一个框架上，第一连接杆在限位机构内滑动。
[0022]限位机构能够实现第一连接杆的稳定滑动。
[0023]作为本技术更进一步的改进，第一连接杆的水平外侧设置有2个导杆，同时在第一连接杆的水平外侧还设置有安装在主体机架上的限位机构，导杆位于限位机构的限位口中，导杆可以在限位口内水平滑动，第二连接杆靠近第一连接杆的一端的水平外侧设置有2个定位部；
[0024]挡板结构的第一挡板连接部与定位部连接，挡板结构的第二挡板连接部与限位机构连接；
[0025]在导杆的两端设置有限位块。
[0026]能够实现第一连接杆的稳定滑动，限位块防止滑动导致脱轨。
[0027]作为本技术更进一步的改进，外框架为型材框架，型材框架包括框架本体，框架本体上水平设有若干传动孔，传动孔处于同一水平面，传动孔供连接传动轮和第一主动轮的主轴或连接传动轮和第二主动轴的主轴穿过。能够保证所有的主动轮210处于同一平面。
[0028]作为本技术更进一步的改进，还包括第一密封圈、第一绝缘轴、第一定位销、第一套筒和第一主轴；
[0029]第一密封圈套设在第一主动轮上，第一主动轮套在第一绝缘轴上，第一绝缘轴的外侧设有若干沉孔，沉孔内的第一定位销连接第一绝缘轴和第一主轴，第一主轴的另一端连接有第一传动轮或者第二传动轮，第一主动轮上设有第一套筒，第一套筒间隙设置在第一主轴的外圈；
[0030]第二主动轮结构与第一主动轮相同。
[0031]能够实现绝缘，防止静电等对PVD的影响；能够防止PVD溅射对主轴的损伤。
[0032]作为本技术更进一步的改进，第二主动轮替换为自由轮，轴可调机构只包括电机机构。结构更加简单。
[0033]作为本技术更进一步的改进，还包括第二密封圈、第二绝缘轴、第二定位销、本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于测试PVD托盘的传输平台，其特征在于：包括主体机架、传动组、轴可调机构、定位导轨和外框架；所述外框架包括平行设置的2个框架，框架上设置有若干所述传动组，每个所述传动组包括第一传动轮、第二传动轮和传动带，所述第一传动轮通过所述传动带带动所述第二传动轮，多个所述传动组依次设置；所述轴可调机构包括电机机构、第一传动轴、第二传动轴和第三传动轴；所述电机机构带动所述第一传动轴，所述第一传动轴的第一连接段与所述第三传动轴的一端连接，所述第三传动轴的另一端连接所述第二传动轴的第二连接段；所述第一传动轴远离所述第一连接段的一端连接有传动轮，该传动轮作为主动轮带动所述传动组；所述第二传动轴远离所述第二连接段的一端连接有传动轮，该传动轮作为主动轮带动传动组；所述第一传动轴和/或所述第二传动轴可以在所述第三传动轴内滑动；靠近电机机构一侧框架上的传动轮通过主轴连接有第一主动轮，远离电机机构一侧框架上的传动轮通过主轴连接有第二主动轮。所述定位导轨安装在所述主体机架上，所述定位导轨包括第一连接杆和第二连接杆，所述第一连接杆和所述第二连接杆分别连接所述2个框架，所述第一连接杆和/或第二连接杆能够径向滑动。2.根据权利要求1所述的用于测试PVD托盘的传输平台，其特征在于：所述第一连接段插在所述第三传动轴的第一容纳口内，所述第二连接段插在所述第三传动轴的第二容纳口内，所述第三传动轴为空心管状结构，所述第一传动轴和所述第二传动轴能在所述第三传动轴内滑动。3.根据权利要求2所述的用于测试PVD托盘的传输平台，其特征在于：在所述第一连接段和所述第二连接段上都设置有固定平面，在所述第一容纳口和所述第二容纳口都设置有固定孔，在所述第一容纳口和所述第二容纳口外安装有紧固套，所述紧固套设有通孔，固定螺钉穿过所述通孔和所述固定孔对所述第一连接段和所述第二连接段进行固定。4.根据权利要求3所述的用于测试PVD托盘的传输平台，其特征在于：所述通孔和所述固定孔都设置有若干个，在所述通孔和/或所述固定孔上具有刻度。5.根据权利要求1所述的用于测试PVD托盘的传输平台，其特征在于：所述第三传动轴的外侧设有轴承座，所述轴承座固定于所述主体机架或者固定于所述定位导轨的侧面。6.根据权利要求1所述的用于测试PVD托盘的传输平台，其特征在于：所述定位导轨包括地脚组件、脚轮组件、挡板结构、限位机构、第一连接杆和第二连接杆；第二连接杆通过地脚组件固定在地面上，所述第一连接杆通过所述脚轮组件支撑，...
【专利技术属性】
技术研发人员：吴超，
申请(专利权)人：苏州迈为科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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