一种氧化物平面靶及其制备方法技术

本发明专利技术公开了一种氧化物平面靶及其制备方法。所述制备方法包括如下步骤：(1)将氧化镨、氧化铟、氧化镓和氧化锌粉末混合，研磨制浆得到混合浆料，将混合浆料进行喷雾造粒，得到造粒粉；(2)将造粒粉进行模压、冷等静压成型得到靶材素坯；(3)将靶材素坯的棱和顶角打磨为R角；(4)将打磨后的靶材素坯烧结，得到氧化物平面靶。本发明专利技术将靶材素坯的棱和顶角打磨为R角，使靶材素坯在烧结过程中受力均匀，提高烧结成品率，也提高氧化物平面靶的载流子迁移率和相对密度。对密度。

【技术实现步骤摘要】
一种氧化物平面靶及其制备方法


[0001]本专利技术属于靶材制备
，具体涉及一种氧化物平面靶及其制备方法。

技术介绍

[0002]目前，国内氧化物平面靶材的主要制备方法是热等静压法、常规烧结法和真空热压法等，但是采用采用上述方法，均可得到相对密度为97％以上的氧化物平面靶材，但是上述方法的缺点是：氧化物平面靶材的成品率低且不易控制，易产生大量废料，生产效率低，成本高，造成大量材料的浪费。因此，需要开发一种成品率高、载流子迁移率高的大尺寸氧化物平面靶材的生产工艺。

技术实现思路

[0003]针对上述现有技术的缺点，本专利技术提供一种氧化物平面靶及其制备方法。本专利技术制备的氧化物平面靶载流子迁移率高，而且成品率高。
[0004]为实现上述目的，本专利技术采取的技术方案为：一种氧化物平面靶的制备方法，包括如下步骤：
[0005](1)将氧化镨、氧化铟、氧化镓和氧化锌粉末混合，加水研磨制浆得到混合浆料，将混合浆料进行喷雾造粒，得到造粒粉；
[0006](2)将造粒粉进行模压、冷等静压成型得到靶材素坯；...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种氧化物平面靶的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：(1)将氧化镨、氧化铟、氧化镓和氧化锌粉末混合，加水研磨制浆得到混合浆料，将混合浆料进行喷雾造粒，得到造粒粉；(2)将造粒粉进行模压，冷等静压成型得到靶材素坯；(3)将靶材素坯的棱和顶角打磨为R角；(4)将打磨后的靶材素坯烧结，得到氧化物平面靶。2.如权利要求1所述氧化物平面靶的制备方法，其特征在于，所述氧化镨、氧化铟、氧化镓和氧化锌的质量比为氧化镨：氧化铟：氧化镓：氧化锌＝0.1
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8：40
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92：10
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28：10
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25。3.如权利要求1所述氧化物平面靶的制备方法，其特征在于，所述氧化镨、氧化铟、氧化镓和氧化锌的纯度均为4N以上，粒径均为120～250nm。4.如权利要求1所述氧化物平面靶的制备方法，其特征在于，所述步骤(1)中，混合浆料的粒径D50为0.1
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1μm；造粒粉的粒径D...

【专利技术属性】
技术研发人员：李开杰，邵学亮，张来稳，司振华，朱刘，
申请(专利权)人：先导薄膜材料广东有限公司，
类型：发明
国别省市：