蚀刻剂组合物、增粘剂、碱溶液、移除聚酰亚胺的方法以及蚀刻工艺技术

本发明专利技术提供一种蚀刻剂组合物、增粘剂、碱溶液、移除聚酰亚胺的方法以及蚀刻工艺。蚀刻剂组合物包括增粘剂(A)以及碱溶液(B)。增粘剂(A)包括含羟基的树脂(a)、表面活性剂(b)和第一溶剂(c1)。碱溶液(B)包括碱性化合物(d)和第二溶剂(c2)。二溶剂(c2)。二溶剂(c2)。

【技术实现步骤摘要】
蚀刻剂组合物、增粘剂、碱溶液、移除聚酰亚胺的方法以及蚀刻工艺


本专利技术涉及一种蚀刻剂组合物、增粘剂及碱溶液，且特别是涉及一种适用于蚀刻工艺的蚀刻剂组合物、增粘剂、碱溶液、移除聚酰亚胺的方法以及蚀刻工艺。

技术介绍

蚀刻技术常被应用于半导体相关产业及显示设备，主要可分为湿式蚀刻与干式蚀刻。一般而言，湿式蚀刻为等向性蚀刻，而干式蚀刻为非等向性蚀刻。等向性蚀刻所需的工艺时间较非等向性蚀刻所需的工艺时间短。然而，等向性蚀刻在图案化的过程中，会使被图案化的膜层与其相邻的膜层之间出现底切的现象，进而影响电子组件的可靠度及/或显示设备的显示质量。

技术实现思路

有鉴于此，本专利技术提供一种可形成具有良好的粘度、剥离能力、腐蚀性、残留性及可改善底切现象的蚀刻剂组合物、适用于其的增粘剂及碱溶液、移除聚酰亚胺的方法以及蚀刻工艺。本专利技术的一种蚀刻剂组合物包括增粘剂(A)以及碱溶液(B)。增粘剂(A)包括含羟基的树脂(a)、表面活性剂(b)和第一溶剂(c1)。碱溶液(B)包括碱性化合物(d)和第二溶剂(c2)。在本专利技术的一实施例中，上述的含羟基的树脂(a)中所含有的结构单元包括含羟基的酚醛树脂及含羟基的聚苯乙烯树脂中的至少一种。在本专利技术的一实施例中，上述的表面活性剂(b)包括含芳基的聚醚系表面活性剂及氟系表面活性剂中的至少一种。在本专利技术的一实施例中，基于增粘剂(A)的总使用量为100重量份，含羟基的树脂(a)的使用量为24重量份至52重量份。在本专利技术的一实施例中，上述的第一溶剂(c1)包括选自内酰胺类化合物、内酯类化合物及苯基醇类化合物所组成的群组中的至少一种。在本专利技术的一实施例中，基于增粘剂(A)的总使用量为100重量份，表面活性剂(b)的使用量为1重量份至60重量份，且第一溶剂(c1)的使用量为16重量份至48重量份。在本专利技术的一实施例中，上述的碱性化合物(d)包括选自碱金属氢氧化物、碳酸盐化合物及胺类氢氧化物所组成的群组中的至少一种。在本专利技术的一实施例中，上述的碱性化合物(d)包括选自氢氧化钾、氢氧化钠、碳酸钠、碳酸钾、碳酸钙、碳酸氢钠、四甲基氢氧化铵及乙醇胺所组成的群组中的至少一种。在本专利技术的一实施例中，上述的第二溶剂(c2)包括一元醇及多元醇中的至少一种。在本专利技术的一实施例中，上述的第二溶剂(c2)包括选自甲醇、乙醇、异丙醇、乙二醇、戊二醇及甘油所组成的群组中的至少一种。在本专利技术的一实施例中，基于蚀刻剂组合物的总使用量为100重量份，增粘剂(A)的使
用量为30重量份至95重量份，且碱溶液(B)的使用量为5重量份至70重量份。在本专利技术的一实施例中，基于碱溶液(B)的总使用量为100重量份，碱溶液(B)中的碱性化合物(d)中的碳酸盐化合物的使用量及胺类氢氧化物的使用量总和小于或等于4.29重量份。本专利技术的一种增粘剂，适用于上述的蚀刻剂组合物。增粘剂包括含羟基的树脂(a)、表面活性剂(b)以及第一溶剂(c1)。本专利技术的一种碱溶液，适用于上述的蚀刻剂组合物。碱溶液包括碱性化合物(d)以及第二溶剂(c2)。本专利技术的一种移除聚酰亚胺的方法，包括将上述的蚀刻剂组合物施加至预定位置的聚酰亚胺上。在本专利技术的一实施例中，上述的移除聚酰亚胺的方法更包括将增粘剂(A)与碱溶液(B)混合。本专利技术的一种蚀刻工艺，包括使用上述的移除聚酰亚胺的方法。在本专利技术的一实施例中，上述的蚀刻工艺是用于引线接合工艺，蚀刻剂组合物是施加于聚酰亚胺层的侧面的预定位置上，以便提升蚀刻定位精准度。基于上述，本专利技术的蚀刻剂组合物使用包括含羟基的树脂(a)、表面活性剂(b)和第一溶剂(c1)的增粘剂(A)以及包括碱性化合物(d)和第二溶剂(c2)的碱溶液(B)。藉此，可使蚀刻剂组合物具有良好的粘度，且当蚀刻剂组合物用于移除有机物质时，可以不限定有机物质的所在位置(例如与基板平行的表面上的位置、与基板垂直的表面上的位置以及与基板之间具有不为0度或90度夹角的表面上的位置等)而良好地将其移除，藉此可改善移除有机物质的过程中可能出现的底切现象，而适用于移除聚酰亚胺的方法以及蚀刻工艺。为让本专利技术的上述特征和优点能更明显易懂，下文特举实施例作详细说明如下。
附图说明
图1是依照本专利技术一实施例的蚀刻工艺的部分流程示意图。附图标记说明100：基板；200：感光组件；220：导电层；240：聚酰亚胺层；242：开口；300：蚀刻剂组合物。
具体实施方式
<蚀刻剂组合物>本专利技术提供一种蚀刻剂组合物，包括增粘剂(A)以及碱溶液(B)。另外，本专利技术的蚀刻剂组合物视需要可更包括添加剂(E)。以下，将对上述各种组分进行详细说明。<增粘剂(A)>依据本实施例的一种增粘剂(A)，包括含羟基的树脂(a)、表面活性剂(b)和第一溶剂
(c1)。增粘剂(A)的制备方法没有特别的限制。举例而言，将含羟基的树脂(a)、表面活性剂(b)和第一溶剂(c1)放置于搅拌器中搅拌，使其均匀混合成溶液状态，必要时亦可添加添加剂(E)，将其混合均匀后，便可获得液态的增粘剂。增粘剂(A)可单独使用一种，也可以组合多种使用。当蚀刻剂组合物包括特定组成的增粘剂(A)时，可使蚀刻剂组合物具有良好的粘度，并且可使蚀刻剂组合物与预定位置的有机物质以溶剂(例如水或有机溶剂)一起移除。含羟基的树脂(a)含羟基的树脂(a)中所含有的结构单元包括含羟基的酚醛树脂及含羟基的聚苯乙烯树脂中的至少一种。含羟基的酚醛树脂没有特别的限制，可依据需求选择合适的含羟基的酚醛树脂。举例来说，含羟基的酚醛树脂所含有的结构单元可包括式(a-1)表示的结构单元、式(a-2)表示的结构单元、式(a-3)表示的结构单元以及式(a-4)表示的结构单元。在本实施例中，含羟基的酚醛树脂的重量平均分子量可为1500至3000，但不限于此。式(a-1)至式(a-4)表示的结构单元中，Me为甲基，*表示键结位置。含羟基的聚苯乙烯树脂没有特别的限制，可依据需求选择合适的含羟基的聚苯乙烯树脂。举例来说，含羟基的聚苯乙烯树脂所含有的结构单元可包括式(a-5)表示的结构单元。在本实施例中，含羟基的聚苯乙烯树脂的重量平均分子量可为3500至6000，但不限于此。
式(a-5)表示的结构单元中，*表示键结位置。基于增粘剂(A)的总使用量为100重量份，含羟基的树脂(a)的使用量为24重量份至52重量份，较佳为31重量份至36重量份。当蚀刻剂组合物中的增粘剂(A)包括含羟基的树脂(a)时，可使蚀刻剂组合物与预定位置的有机物质能够以溶剂(例如水或有机溶剂)移除。另外，当蚀刻剂组合物中的增粘剂(A)包括含羟基的酚醛树脂、含芳基的聚醚系表面活性剂以及内酰胺类化合物时，含羟基的酚醛树脂的使用量不同但都落在上述较佳范围内的不同蚀刻剂组合物可具有相同程度的良好剥离能力、残留性及/或腐蚀性，其中剥离能力为可以用水剥离蚀刻剂组合物与有机物质的能力。表面活性剂(b)表面活性剂(b)包括含芳基的聚醚系表面活性剂及氟系表面活性剂中的至少一种，较佳为包括含芳基的聚醚系表面活性剂。含芳基的聚醚系表面活性剂没有特别的限制，可依据需求选择合适的含芳本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种蚀刻剂组合物，包括：增粘剂(A)，所述增粘剂(A)包括含羟基的树脂(a)、表面活性剂(b)和第一溶剂(c1)；以及碱溶液(B)，所述碱溶液(B)包括碱性化合物(d)和第二溶剂(c2)。2.根据权利要求1所述的蚀刻剂组合物，其中，所述含羟基的树脂(a)中所含有的结构单元包括含羟基的酚醛树脂及含羟基的聚苯乙烯树脂中的至少一种。3.根据权利要求1所述的蚀刻剂组合物，其中，所述表面活性剂(b)包括含芳基的聚醚系表面活性剂及氟系表面活性剂中的至少一种。4.根据权利要求1所述的蚀刻剂组合物，其中，基于所述增粘剂(A)的总使用量为100重量份，所述含羟基的树脂(a)的使用量为24重量份至52重量份。5.根据权利要求1所述的蚀刻剂组合物，其中，所述第一溶剂(c1)包括选自内酰胺类化合物、内酯类化合物及苯基醇类化合物所组成的群组中的至少一种。6.根据权利要求1所述的蚀刻剂组合物，其中，基于所述增粘剂(A)的总使用量为100重量份，所述表面活性剂(b)的使用量为1重量份至60重量份，且所述第一溶剂(c1)的使用量为16重量份至48重量份。7.根据权利要求1所述的蚀刻剂组合物，其中，所述碱性化合物(d)包括选自碱金属氢氧化物、碳酸盐化合物及胺类氢氧化物所组成的群组中的至少一种。8.根据权利要求1所述的蚀刻剂组合物，其中，所述碱性化合物(d)包括选自氢氧化钾、氢氧化钠、碳酸钠、碳酸钾、碳酸钙、碳酸氢钠、四甲基氢氧化铵及乙醇胺所组成的群组中的至少一种。9.根据权利要求1所述的蚀刻剂组合物，其中，所述第二溶剂(c2)包括一元醇及多元醇中的至少一种。10.根据权利要求1所述的蚀刻剂组合物，其中，所述第二溶剂(c2)包括选自甲醇、乙醇、异丙醇、乙二醇、戊二醇及甘油所组成的群组中的至少一种。11.根据权利要求1所述的蚀刻剂组合物，其中，基于所述蚀刻剂组合物的总使用量为100重量份，所述增粘剂(A)的使用量为30重量份至95重量份，且所述碱溶液(B)的使用量为5重量份至70重量份。12.根据权利要求1所述的蚀刻剂组合物，其中，基于所述碱溶液(B)的总使用量为100重量份，所述碱溶液(B)中的所述碱性化合物(d)中的碳酸盐化合物的使用量及胺类氢氧化物的使用量总和小于或等于4.29重量份。13.一种增粘剂，适用于如权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈禹宁，钟明哲，
申请(专利权)人：新应材股份有限公司，
类型：发明
国别省市：