【技术实现步骤摘要】
快接元件清洗装置
[0001]本技术涉及一种清洗装置，尤其涉及一种可有效清洗快接元件的快接元件清洗装置。
技术介绍
[0002]在半导体等高度精密的产业中，对于制程中相关化学品的洁净度有高度的要求，因此对于容纳化学品的容器的挑选非常重视。其中，具有附加快接元件的胶桶，由于在使用上能增加便利性且能有效阻隔桶内化学品与外气接触，进而维持洁净度，因此逐渐被用来容纳化学品。
[0003]然而，若快接元件在未清洁的情况下，在投料的过程中，污染物可能会随着快接元件进入胶桶内，导致化学品洁净度下降，降低良率。但考量到快接元件于进行插拔时，仍有被污染的风险，因此如何便利且有效清洗快接元件，以维持胶桶内产品的洁净度，乃为半导体业者所极力追求的。
技术实现思路
[0004]本技术提供一种快接元件清洗装置，操作便利，可减少清洗液使用和人力需求，而具有降低成本的优点。
[0005]本技术所提供的快接元件清洗装置包含本体及流体注入件。本体具有清洗腔室，本体适于连接快接元件，且快接元件的一部分置于清洗腔室；流体注入件具有多孔...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种快接元件清洗装置，其特征在于，包括：一本体，具有一清洗腔室，该本体适于连接至少一快接元件，且该至少一快接元件的至少一部分置于该清洗腔室；以及一流体注入件，具有多孔结构，该流体注入件设置于该清洗腔室，且适于连接管件，以供外部清洗液及外部气体进入该清洗腔室。2.如权利要求1所述的快接元件清洗装置，其特征在于，该本体上形成有多个通孔，该快接元件清洗装置更包含一气液进出结构，经由该些通孔与该清洗腔室连通，该气液进出结构适于控制该外部清洗液及该外部气体进出该清洗腔室，其中，该流体注入件连接该些通孔的至少其中一个。3.如权利要求2所述的快接元件清洗装置，其特征在于，该气液进出结构包含一进液端、一进气端、一气液连通管件及一排气液端，该进液端及该进气端连接该气液连通管件，且该气液连通管件连接该流体注入件。4.如权利要求3所述的快接元件清洗装置，其特征在于，该进液端包含一进液口及一液体控制隔膜阀，该进液口适于供该外部清洗液导入，该液体控制隔膜阀适于控制该外部清洗液是否能进入该气液连通管件，以及控制该外部清洗液的流量大小。5.如权利要求3所...
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