一种单晶炉放空氩尾气全回收装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种单晶炉放空氩尾气全回收装置，包括主真空泵、副真空泵、高含量回收装置、低含量回收装置、第一氧含量分析仪、第二氧含量分析仪、第一控制阀、第二控制阀和第三控制阀，副真空泵的进口与单晶炉相连接、出口与第一控制阀相连接，第一控制阀与高含量回收装置相连接，主真空泵的进口与单晶炉相连接、出口与第二控制阀相连接，第二控制阀与低含量回收装置相连接，第三控制阀与副真空泵的出口、低含量回收装置相连接，第一氧含量分析仪设置于副真空泵与第一控制阀之间，第二氧含量分析仪设置于主真空泵与第二控制阀之间。本实用新型专利技术能够对氩尾气中不同杂质含量分别进行回收，避免气体资源浪费，降低设备整体能耗。降低设备整体能耗。降低设备整体能耗。

【技术实现步骤摘要】
一种单晶炉放空氩尾气全回收装置


[0001]本技术涉及单晶炉氩尾气回收处理领域，具体涉及一种单晶炉放空氩尾气全回收装置。

技术介绍

[0002]对于单晶炉输出的氩尾气，常规回收仅考虑回收氧含量较低的氩尾气，而氧含量较高的氩尾气通过泵汇总后放空至大气中，从而造成浪费。

技术实现思路

[0003]本技术的目的是提供一种能够全面回收单晶炉输出的各种氩尾气，从而避免浪费的单晶炉放空氩尾气全回收装置。
[0004]为达到上述目的，本技术采用的技术方案是：
[0005]一种单晶炉放空氩尾气全回收装置，与输出氩尾气的单晶炉相连接，所述单晶炉放空氩尾气全回收装置包括主真空泵、副真空泵、高含量回收装置、低含量回收装置、第一氧含量分析仪、第二氧含量分析仪、第一控制阀、第二控制阀和第三控制阀，所述副真空泵的进口与所述单晶炉的一端相连接，所述副真空泵的出口与所述第一控制阀的输入端相连接，所述第一控制阀的输出端与所述高含量回收装置相连接，所述主真空泵的进口与所述单晶炉的另一端相连接，所述主真空泵的出口与所述第二控制阀的输入端相连接，所述第本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种单晶炉放空氩尾气全回收装置，与输出氩尾气的单晶炉相连接，其特征在于：所述单晶炉放空氩尾气全回收装置包括主真空泵、副真空泵、高含量回收装置、低含量回收装置、第一氧含量分析仪、第二氧含量分析仪、第一控制阀、第二控制阀和第三控制阀，所述副真空泵的进口与所述单晶炉的一端相连接，所述副真空泵的出口与所述第一控制阀的输入端相连接，所述第一控制阀的输出端与所述高含量回收装置相连接，所述主真空泵的进口与所述单晶炉的另一端相连接，所述主真空泵的出口与所述第二控制阀的输入端相连接，所述第二控制阀的输出端与所述低含量回收装置相连接，所述第三控制阀的输入端与所述副真空泵的出口相连接，所述第三控制阀的输出端与所述低含量回收装置相连接，所述第一氧含量分析仪设置于所述副真空泵与所述第一控制阀的输入端之间，所述第二氧含量分析仪设置于所述主真空泵与所述第二控制阀的输入端之间。2.根据权利要求1所述的一种单晶炉放空氩尾气全回收装置，其特征在于：所述单晶炉放空氩尾气全回收装置还包括分别与所述第一氧含量分析仪、第二氧含量分析仪、所述第一控制阀、所述第二控制阀、所述第三控制阀相连接从而根据所述第一氧含量分析仪、第二氧含...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙宁，肖龙昆，黄岩岩，
申请(专利权)人：苏州市兴鲁空分设备科技发展有限公司，
类型：新型
国别省市：