【技术实现步骤摘要】
一种透射光栅处理方法
[0001]本专利技术属于光栅测量
,具体涉及一种敞开式光栅尺中透射光栅代替镀膜的处理方法及装调对准方法。
技术介绍
[0002]敞开式光栅尺为三光栅反射式结构,其中有一块透射光栅和一块反射光栅(栅距均为8um)。由于敞开式光栅尺采用干涉扫描原理(利用精细光栅的光衍射和光干涉)来提取信号,所以其扫描信号基本没有高次谐波,能够进行高倍频细分,细分后可达到百纳米级别。基于以上条件,对于透射光栅的非工作区域有严格的要求:既不能透过850nm波长的光也不能反射光能量。
[0003]现在国内暂无很好的吸收850nm光源的现成镀膜,镀铬虽然可以起到遮光作用但是会反射光能量,涂墨可以抑制反射光能量,但不能抑制透射光能量。
[0004]同时若对光栅的装调基准线产生遮挡,则无法完成对光栅的装调。
技术实现思路
[0005]本专利技术为了上述技术问题,提出了一种透射光栅处理方法,该方法通过在透射光栅非工作区域粘贴黑色光学胶带,解决了透射光栅镀膜难的问题,同时利用显微镜内置辅助工具解决了 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种透射光栅处理方法,其特征在于,包括以下步骤:S1、利用透光打印纸1:1打印定标图,所述定标图包括透射光栅区域平面图案以及用于粘贴所述透射光栅的镜头的主平面图案,所述透射光栅区域平面图案的中心与所述镜头的主平面图案的中心重合;S2、将所述透光打印纸与非透明的光学胶带粘贴压平后,以所述定标图为基准对所述光学胶带进行剪切;使所述光学胶带的大小与所述透射光栅的轮廓一致;使所述光学胶带的漏空区域的形状和位置与所述透射光栅区域平面图案中的栅线区域的形状和位置相同,所述漏空区域不小于所述栅线区域;S3、将去除所述透光打印纸的所述光学胶带与所述透射光栅粘贴,使所述透射光栅的栅线区域位于所述漏空区域内;S4、确定粘贴有所述光学胶带的所述透射光栅在所述镜头上的位置,使所述镜头的光轴与粘贴有所述光学胶带的所述透射光栅的光轴重合;S5、将所述镜头与粘贴有所述光学胶带的所述透射光栅固定。2.根据权利要求1所述的透射光栅处理方...
【专利技术属性】
技术研发人员:徐桂成,宫鹏,杨宁,刘震宇,余毅,
申请(专利权)人:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,
类型:发明
国别省市:
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