近红外线截止滤波器制造技术

技术编号：31080067 阅读：10 留言：0更新日期：2021-12-01 11:52

一种近红外线截止滤波器，能够在大的入射角度范围内有意地抑制可见光区域的反射率。近红外线截止滤波器具有透明基板、光学多层膜、第一匹配膜、设置于最外侧的第二匹配膜，第一匹配膜设置在光学多层膜上、或设置在透明基板与光学多层膜之间，在该近红外线截止滤波器中，将从第二匹配膜侧以5

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【技术实现步骤摘要】
近红外线截止滤波器

[0001]本专利技术涉及近红外线截止滤波器。

技术介绍

[0002]数码相机或数码摄像机等摄像装置为了人物或景色等的传感检测而具备固体摄像元件(图像传感器)。但是，固体摄像元件与人类的视觉相比，对于红外光表现出更强的灵敏度。因此，为了使基于固体摄像元件的图像接近人类的视觉灵敏度而在摄像装置还设置近红外线截止滤波器。
[0003]通常，这样的近红外线截止滤波器通过在透明基板上设置屏蔽近红外线的光学多层膜而构成。光学多层膜通过将由高折射率的电介质(例如，TiO2)构成的薄膜与由低折射率的电介质(例如，SiO2)构成的薄膜交替地层叠而构成。
[0004]【在先技术文献】
[0005]【专利文献】
[0006]【专利文献1】国际公开第WO2014/104370号
[0007]【专利技术要解决的课题】
[0008]在具有光学多层膜的近红外线截止滤波器中，已知光学特性经常依赖于入射光的角度而变化的情况。因此，例如，会产生如下问题：即使对于具有接近法线方向的入射角的光能得到所希望的光学特性，对于具有从法线方向较大地偏离的入射角的光也得不到所希望的光学特性等的问题。
[0009]另外，这样的近红外线截止滤波器中的光学特性的入射角度依赖性在将近红外线截止滤波器适用于固体摄像元件之际在像的清晰性的点上会成为问题。例如，当向近红外线截止滤波器入射的可见光的一部分未透过而反射时，这样的反射光会成为杂散光的原因。

技术实现思路

[0010]本专利技术...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种近红外线截止滤波器，其中，具有：透明基板，具有第一表面；光学多层膜，设置在该透明基板的所述第一表面侧；第一匹配膜，设置在所述透明基板的所述第一表面侧；第二匹配膜，设置在所述第一表面的最外侧，所述光学多层膜具有高折射率层与低折射率层的交替层叠结构，所述光学多层膜具有使近红外线反射的功能，所述第一匹配膜及第二匹配膜具有抑制可见光的反射的功能，所述第一匹配膜设置在所述光学多层膜上或者设置在所述透明基板与所述光学多层膜之间，在该近红外线截止滤波器中，将从所述第二匹配膜侧以5
°
的入射角度入射的光的正反射率设为第一反射率R1，将从所述第二匹配膜侧以40
°
的入射角度入射的光的正反射率设为第二反射率R2，将波长480nm～680nm的范围中的所述第一反射率R1的近似直线设为y1，将波长450nm～650nm的范围中的所述第二反射率R2的近似直线设为y2时，在波长480nm～680nm的范围中，同一波长下的所述第一反射率R1与所述近似直线y1的值之间的差的绝对值的最大值ΔR1小于5％，在波长450nm～650nm的范围中，同一波长下的所述第二反射率R2与所述近似直线y2的值之间的差的绝对值的最大值ΔR2小于6％。2.根据权利要求1所述的近红外线截止滤波器，其中，所述第一匹配膜具有高折射率层与低折射率层的交替层叠结构，在将所述高折射率层的波长550nm下的QWOT设为Q
H
、将所述低折射率层的波长550nm下的QWOT设为Q
L
时，所述第一匹配膜从所述透明基板侧起具有如下结构：(H1Q
H
，L1Q
L
，H2Q

【专利技术属性】
技术研发人员：长田崇，
申请(专利权)人：AGC株式会社，
类型：发明
国别省市：

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