一种镜片真空镀膜机镜片架旋转驱动装置制造方法及图纸

技术编号:31056006 阅读:24 留言:0更新日期:2021-11-30 06:16
本实用新型专利技术涉及一种镜片真空镀膜机镜片架旋转驱动装置,包括主腔顶板,主腔顶板顶部固定有偏心套,偏心套顶部固定连接有偏心法兰,偏心法兰上设有竖直旋转、偏心设置的驱动轴,驱动轴底部同轴设有小齿轮,偏心套内设有齿轮柱,齿轮柱的凸台上设有与小齿轮啮合的大齿轮,齿轮柱底部固定连接有锅架,通过第一伞齿和第二伞齿的啮合传动使驱动轴竖直旋转,通过偏心旋转驱动轴的小齿轮与齿轮柱的大齿轮啮合减速传动,在真空下实现锅架上固定连接的镜片架在真空镀膜时稳定地减速旋转,整体结构紧凑、拆装更换方便、保证了真空封闭性和防护性,有利于避免镀膜凹坑、击穿等现象,保证镀膜均匀性,满足镜片真空镀膜应用需求。满足镜片真空镀膜应用需求。满足镜片真空镀膜应用需求。

【技术实现步骤摘要】
一种镜片真空镀膜机镜片架旋转驱动装置


[0001]本技术涉及一种镜片真空镀膜机镜片架旋转驱动装置,属于镜片真空镀膜设备


技术介绍

[0002]真空镀膜是一种新颖的材料合成与加工技术,包括蒸发镀膜、溅射镀膜、离子镀等,使镀膜镜片具有减少镜片表面的反射光、使视觉清晰、减少镜面反射光、增加透光率、增加美感、解决强光下拍照的问题等优势。采用镜片真空镀膜设备进行镀膜时通过抓手等固定件将装载多个镜片的镜片架固定在真空镀膜室顶部,在真空室内材料的原子从加热源离析出来上升并打到被镀镜片表面进行射镀,由于射镀时高能量离析原子连续作用于镜片表面同一点易造成凹坑甚至击穿现象并影响镀膜均匀性,通过旋转整体镜片架来解决这一问题时存在旋转驱动速度过快、在真空下运行不稳影响镀膜、结构复杂尺寸大、封闭性不可靠影响镀膜机安装和尺寸等问题,难以满足镜片真空镀膜机应用需求。

技术实现思路

[0003]本技术的目的是针对现有技术的缺陷,提供一种镜片真空镀膜机镜片架旋转驱动装置,通过偏心旋转驱动轴的小齿轮与齿轮柱的大齿轮啮合减速传动,在真空下实现锅架上固定连接的镜片架在真空镀膜时稳定地减速旋转,整体结构紧凑、拆装更换方便、有利于避免镀膜凹坑、击穿等现象,保证镀膜均匀性,满足镜片真空镀膜应用需求。
[0004]本技术是通过如下的技术方案予以实现的:
[0005]一种镜片真空镀膜机镜片架旋转驱动装置,包括主腔顶板,其中,所述主腔顶板顶部固定有偏心套,所述偏心套顶部固定连接有偏心法兰,所述偏心法兰上设有竖直旋转、偏心设置的驱动轴,所述驱动轴底部同轴设有位于偏心套内的小齿轮;
[0006]所述偏心套内设有位于驱动轴一侧的齿轮柱,所述齿轮柱外壁上设有与偏心套内壁间隙配合的凸台,所述凸台上设有位于偏心套内与小齿轮啮合的大齿轮,所述齿轮柱底部穿过并延伸至主腔顶板底部,齿轮柱底部固定连接有锅架;
[0007]所述偏心套包括偏心盘、上法兰、连接于偏心盘和上法兰之间外套,所述偏心盘与主腔顶板顶部固定相连,所述齿轮柱偏心设置于偏心盘内,凸台底部与偏心盘顶部间隙配合,所述上法兰顶部与偏心法兰底部固定相连,所述凸台外部设有同轴且位于大齿轮顶部或底部的轴承,位于大齿轮底部的轴承设置在偏心盘顶部,所述偏心套与主腔顶板之间设有密封圈;
[0008]所述驱动轴与偏心法兰之间设有与驱动轴同轴设置、且与偏心法兰顶部相连的磁流体,所述齿轮柱包括设置凸台的外齿套、位于外齿套内的内套,所述内套顶部固定连接有与偏心法兰顶部偏心固定的上封板,内套底部固定连接有与外齿套底部间隙配合的下封板;
[0009]所述锅架包括上圈和下圈,所述上圈上设有若干绕上圈一周间隔设置且与齿轮柱
相连的第一螺栓,所述下圈上设有若干绕下圈一周间隔设置且与上圈底部相连的第二螺栓,下圈边缘设有若干连接块;
[0010]所述主腔顶板顶部设有水平设置的伺服电机,所述伺服电机的电机轴同轴连接有第一伞齿,所述驱动轴顶部同轴连接有位于偏心法兰顶部、与第一伞齿啮合的第二伞齿。
[0011]本技术的有益效果为:
[0012](1)通过外齿套的凸台底部与偏心盘顶部配合限位、支撑齿轮柱安装,驱动轴通过磁流体偏心安装在偏心法兰上,使小齿轮与大齿轮的传动位于外套内部,起到防护作用,齿轮柱的内套通过顶部上封板与偏心法兰偏心固定连接、吊撑在外齿套内部,底部通过下封板与外齿套底部间隙配合,实现可拆卸连接,整体结构紧凑、拆装更换方便、保证了真空封闭性和防护性;
[0013](2)伺服电机的电机轴带动第一伞齿旋转,在第二伞齿与第一伞齿啮合传动下使竖直偏心设置的驱动轴同步旋转,驱动轴上的小齿轮旋转、使啮合的大齿轮在轴承的稳定支撑下同步减速旋转,使固定在锅架上的镜片架在真空镀膜时旋转,避免凹坑、击穿等现象,保证镀膜均匀性,从而综上满足镜片真空镀膜应用需求。
附图说明
[0014]图1为本技术省却外套的前视立体图。
[0015]图2为图1的仰视立体图。
[0016]图3为本技术侧视结构图。
[0017]图4为图3的俯视结构图。
[0018]图5为图4省却外套、伺服电机的AA方向剖视结构图。
[0019]图中标记:主腔顶板1,偏心套2,偏心法兰3,驱动轴4,小齿轮5,齿轮柱6,凸台7,大齿轮8,锅架9,偏心盘21、上法兰22、外套23,轴承10,密封圈11,磁流体12,外齿套61,内套62,上封板13,下封板14,上圈91和下圈92,第一螺栓15,第二螺栓16,连接块17,伺服电机18,第一伞齿19,第二伞齿20,固定座24,让位凹口25。
具体实施方式
[0020]下面结合附图对本技术的具体实施方式作进一步说明。
[0021]一种镜片真空镀膜机镜片架旋转驱动装置,包括主腔顶板1,其中,所述主腔顶板1顶部固定有偏心套2,所述偏心套2顶部固定连接有偏心法兰3,所述偏心法兰3上设有竖直旋转、偏心设置的驱动轴4,所述驱动轴4底部同轴设有位于偏心套2内的小齿轮5;
[0022]所述偏心套2内设有位于驱动轴4一侧的齿轮柱6,所述齿轮柱6外壁上设有与偏心套2内壁间隙配合的凸台7,所述凸台7上设有位于偏心套2内与小齿轮5啮合的大齿轮8,所述齿轮柱6底部穿过并延伸至主腔顶板1底部,齿轮柱6底部固定连接有锅架9;
[0023]所述偏心套2包括偏心盘21、上法兰22、连接于偏心盘21和上法兰22之间外套23,所述偏心盘21与主腔顶板1顶部固定相连,所述齿轮柱6偏心设置于偏心盘21内,凸台7底部与偏心盘21顶部间隙配合,所述上法兰22顶部与偏心法兰3底部固定相连,所述凸台7外部设有同轴且位于大齿轮8顶部或底部的轴承10,位于大齿轮8底部的轴承10设置在偏心盘21顶部,所述偏心套2与主腔顶板1之间设有密封圈11;
[0024]所述驱动轴4与偏心法兰3之间设有与驱动轴4同轴设置、且与偏心法兰3顶部相连的磁流体12,所述磁流体12截面呈T形结构,所述齿轮柱6包括设置凸台7的外齿套61、位于外齿套61内的内套62,所述内套62顶部固定连接有与偏心法兰3顶部偏心固定的上封板13,内套62底部固定连接有与外齿套61底部间隙配合的下封板14;
[0025]所述锅架9包括上圈91和下圈92,所述上圈91上设有若干绕上圈91一周间隔设置且与齿轮柱6相连的第一螺栓15,所述下圈92上设有若干绕下圈92一周间隔设置且与上圈91底部相连的第二螺栓16,下圈92边缘设有若干连接块17;
[0026]所述主腔顶板1顶部设有水平设置的伺服电机18,所述伺服电机18的电机轴同轴连接有第一伞齿19,所述驱动轴4顶部同轴连接有位于偏心法兰3顶部、与第一伞齿19啮合的第二伞齿20,所述伺服电机18与偏心法兰3之间设有固定座24,所述固定座24呈L形结构且设有与驱动轴4对应设置的让位凹口25。
[0027]本技术的工作原理为:
[0028]参见附图,装配时,将两个轴承10分别套设在凸台本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种镜片真空镀膜机镜片架旋转驱动装置,包括主腔顶板(1),其特征在于,所述主腔顶板(1)顶部固定有偏心套(2),所述偏心套(2)顶部固定连接有偏心法兰(3),所述偏心法兰(3)上设有竖直旋转、偏心设置的驱动轴(4),所述驱动轴(4)底部同轴设有位于偏心套(2)内的小齿轮(5);所述偏心套(2)内设有位于驱动轴(4)一侧的齿轮柱(6),所述齿轮柱(6)外壁上设有与偏心套(2)内壁间隙配合的凸台(7),所述凸台(7)上设有位于偏心套(2)内与小齿轮(5)啮合的大齿轮(8),所述齿轮柱(6)底部穿过并延伸至主腔顶板(1)底部,齿轮柱(6)底部固定连接有锅架(9)。2.根据权利要求1所述的一种镜片真空镀膜机镜片架旋转驱动装置,其特征在于,所述偏心套(2)包括偏心盘(21)、上法兰(22)、连接于偏心盘(21)和上法兰(22)之间外套(23),所述偏心盘(21)与主腔顶板(1)顶部固定相连,所述齿轮柱(6)偏心设置于偏心盘(21)内,凸台(7)底部与偏心盘(21)顶部间隙配合,所述上法兰(22)顶部与偏心法兰(3)底部固定相连。3.根据权利要求2所述的一种镜片真空镀膜机镜片架旋转驱动装置,其特征在于,所述凸台(7)外部设有同轴且位于大齿轮(8)顶部或底部的轴承(10),位于大齿轮(8)底部的轴承(10)设置在偏心盘(21)顶部。4.根据权利要求1所述的一种镜片真空镀膜机镜片架旋转驱动装置,其特征在于,所述偏心套(2)与主腔顶板(1)之间设有密封圈(11)。5.根据权利要求1所述的一种镜片真空镀膜机镜片架旋转驱动装置...

【专利技术属性】
技术研发人员:李时代
申请(专利权)人:丹阳市鼎新机械设备有限公司
类型:新型
国别省市:

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