本实用新型专利技术公开了一种测量溶液浓度的超声波传感装置，设置于蚀刻机的循环系统中，用于测量蚀刻机中的蚀刻剂溶液的浓度，蚀刻机的循环系统包括用于盛放蚀刻剂溶液的容纳池，容纳池的外侧下端设有循环泵，容纳池的外侧上端设有回流喷淋管，超声波传感装置包括壳体和穿入壳体内部的传感器组件，壳体的一端密封连通循环泵，壳体的另一端密封连通回流喷淋管，传感器组件包括位于壳体内部的超声波检测端，容纳池内的蚀刻剂溶液循环流经超声波检测端。本实用新型专利技术通过循环流动蚀刻剂溶液，在循环流动的过程中插入传感器组件，通过传感器组件的超声波检测端对蚀刻剂溶液的浓度进行检测，具有通过浓度测量精度高的优点。通过浓度测量精度高的优点。通过浓度测量精度高的优点。
【技术实现步骤摘要】
一种测量溶液浓度的超声波传感装置
[0001]本技术涉及溶液浓度检测领域，特别涉及一种测量溶液浓度的超声波传感装置。
技术介绍
[0002]目前，在高密度集成印刷电路板和IC载板的核心制造中，氯化铜蚀刻电路的工艺是其中非常重要的一个环节，氯化铜蚀刻的过程中需要关注其游离酸浓度并根据具体的生产情况进行游离酸浓度调整，这就需要实时对其游离酸浓度进行测量监控。
[0003]现有技术中，通常采用电导率测量的方式来测量游离酸浓度，这项测量的方式覆盖了市场上大部分的工艺设备，除了导电率测量之外，对于相对高端的产品，还有采用光度测量的方式进行测量，但是这两种测量方式中，光度测量只适用于0.01至0.03的摩尔/升的游离盐酸浓度测量，超过0.05摩尔/升则无法检测到颜色变化；电导率测量只适用于0.6至3的摩尔/升的游离盐酸浓度测量，因为电导率测量需要使用某些特定的自由酸，而这些自由酸需要在0.6摩尔/升以上才能体现出效果；因此这两种测量方式对范围在0.1至0.6摩尔/升的游离盐酸浓度测量时是不够准确的。
技术实现思路
[0004]本技术的目的是提供一种测量溶液浓度的超声波传感装置，旨在解决现有技术针对指定范围的游离盐酸浓度的测量精准度还有待提高的问题。
[0005]为解决上述技术问题，本技术的目的是通过以下技术方案实现的：提供一种测量溶液浓度的超声波传感装置，设置于蚀刻机的循环系统中，用于测量蚀刻机中的蚀刻剂溶液的浓度，所述蚀刻机的循环系统包括用于盛放蚀刻剂溶液的容纳池，所述容纳池的外侧下端设有循环泵，所述容纳池的外侧上端设有回流喷淋管，所述超声波传感装置包括壳体和穿入所述壳体内部的传感器组件，所述壳体的一端密封连通所述循环泵，所述壳体的另一端密封连通所述回流喷淋管，所述传感器组件包括位于所述壳体内部的超声波检测端，所述容纳池内的蚀刻剂溶液循环流经所述超声波检测端。
[0006]进一步的，所述壳体的外壁上设有安装部，所述安装部上设有连通所述壳体内部的安装口，所述传感器组件从所述安装口处穿入所述壳体内部。
[0007]进一步的，所述超声波检测端包括：呈U形设置的超声波发射端和超声波接收端。
[0008]进一步的，所述传感器组件还包括位于所述壳体外部的控制端，所述控制端从所述安装口处穿出至所述壳体外侧。
[0009]进一步的，所述传感器组件与所述安装口之间设有密封件。
[0010]进一步的，所述壳体与所述循环泵的连接处设有第一锁紧件，所述壳体与所述回流喷淋管的连接处设有第二锁紧件。
[0011]进一步的，所述壳体连接于所述循环泵的一端设有第一环形凸起，所述第一锁紧件为第一锁紧螺母，所述第一锁紧螺母的一端螺纹连接于所述循环泵，所述第一锁紧螺母
的另一端向内设有第一环形压装部，所述第一环形压装部与所述第一环形凸起相互抵压固定。
[0012]进一步的，所述壳体连接于所述回流喷淋管的一端设有第二环形凸起，所述第二锁紧件为第二锁紧螺母，所述第二锁紧螺母的一端螺纹连接于所述回流喷淋管，所述第二锁紧螺母的另一端向内设有第二环形压装部，所述第二环形压装部与所述第二环形凸起相互抵压固定。
[0013]进一步的，所述第一锁紧螺母的圆周外侧均匀设置有多个第一解锁凹口。
[0014]进一步的，所述第二锁紧螺母的圆周外侧均匀设置有多个第二解锁凹口。
[0015]本技术实施例提供一种测量溶液浓度的超声波传感装置，设置于蚀刻机的循环系统中，用于测量蚀刻机中的蚀刻剂溶液的浓度，蚀刻机的循环系统包括用于盛放蚀刻剂溶液的容纳池，容纳池的外侧下端设有循环泵，容纳池的外侧上端设有回流喷淋管，超声波传感装置包括壳体和穿入壳体内部的传感器组件，壳体的一端密封连通循环泵，壳体的另一端密封连通回流喷淋管，传感器组件包括位于壳体内部的超声波检测端，容纳池内的蚀刻剂溶液循环流经超声波检测端。本技术实施例通过循环流动蚀刻剂溶液，在循环流动的过程中插入传感器组件，通过传感器组件的超声波检测端对蚀刻剂溶液的浓度进行检测，具有通过浓度测量精度高的优点。
附图说明
[0016]为了更清楚地说明本技术实施例技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0017]图1为本技术实施例提供的蚀刻剂溶液的流动循环系统的示意图；
[0018]图2为本技术实施例提供的超声波传感装置的结构示意图；
[0019]图3为本技术实施例提供的超声波传感装置的爆炸结构示意图；
[0020]图4为本技术实施例提供的超声波传感装置的内部结构示意图。
[0021]图中标识说明：
[0022]1、容纳池；11、循环泵；12、回流喷淋管；2、超声波传感装置；21、壳体；211、安装部；212、第一环形凸起；213、第二环形凸起；22、传感器组件；221、超声波检测端；2211、超声波发射端；2212、超声波接收端；222、控制端；23、第一锁紧件；231、第一解锁凹口；24、第二锁紧件；241、第二解锁凹口。
具体实施方式
[0023]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0024]应当理解，当在本说明书和所附权利要求书中使用时，术语“包括”和“包含”指示所描述特征、整体、步骤、操作、元素和/或组件的存在，但并不排除一个或多个其它特征、整
体、步骤、操作、元素、组件和/或其集合的存在或添加。
[0025]还应当理解，在此本技术说明书中所使用的术语仅仅是出于描述特定实施例的目的而并不意在限制本技术。如在本技术说明书和所附权利要求书中所使用的那样，除非上下文清楚地指明其它情况，否则单数形式的“一”、“一个”及“该”意在包括复数形式。
[0026]还应当进一步理解，在本技术说明书和所附权利要求书中使用的术语“和/或”是指相关联列出的项中的一个或多个的任何组合以及所有可能组合，并且包括这些组合。
[0027]结合图1、图2和图3，本技术实施例提供一种测量溶液浓度的超声波传感装置，设置于蚀刻机的循环系统中，用于测量蚀刻机中的蚀刻剂溶液的浓度，所述蚀刻机的循环系统包括用于盛放蚀刻剂溶液的容纳池1，所述容纳池1的外侧下端设有循环泵11，所述容纳池1的外侧上端设有回流喷淋管12，所述超声波传感装置2包括壳体21和穿入所述壳体21内部的传感器组件22，所述壳体21的一端密封连通所述循环泵11，所述壳体21的另一端密封连通所述回流喷淋管12，所述传感器组件22包括位于所述壳体21内部的超声本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种测量溶液浓度的超声波传感装置，设置于蚀刻机的循环系统中，用于测量蚀刻机中的蚀刻剂溶液的浓度，其特征在于：所述蚀刻机的循环系统包括用于盛放蚀刻剂溶液的容纳池，所述容纳池的外侧下端设有循环泵，所述容纳池的外侧上端设有回流喷淋管，所述超声波传感装置包括壳体和穿入所述壳体内部的传感器组件，所述壳体的一端密封连通所述循环泵，所述壳体的另一端密封连通所述回流喷淋管，所述传感器组件包括位于所述壳体内部的超声波检测端，所述容纳池内的蚀刻剂溶液循环流经所述超声波检测端。2.根据权利要求1所述的超声波传感装置，其特征在于：所述壳体的外壁上设有安装部，所述安装部上设有连通所述壳体内部的安装口，所述传感器组件从所述安装口处穿入所述壳体内部。3.根据权利要求2所述的超声波传感装置，其特征在于：所述超声波检测端包括：呈U形设置的超声波发射端和超声波接收端。4.根据权利要求3所述的超声波传感装置，其特征在于：所述传感器组件还包括位于所述壳体外部的控制端，所述控制端从所述安装口处穿出至所述壳体外侧。5.根据权利要求2所述的超声波传感装置，其特征在于：所述传感器组...
【专利技术属性】
技术研发人员：马库斯，
申请(专利权)人：鑫巨深圳半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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