一种碳化硅烧结炉的抽真空装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种碳化硅烧结炉的抽真空装置，包括底座，所述底座上端固定安装有软垫,所述软垫上表面固定安装有三号导气管与一号导气管，所述三号导气管与一号导气管相邻两侧固定连接，所述一号导气管远离三号导气管的一侧固定连接有真空泵，所述三号导气管远离一号导气管的一侧固定安装有二号导气管，所述真空泵下表面与底座上表面固定连接，所述底座下端固定安装有两个运输装置，所述三号导气管内顶部与内底部共同连接有清理装置。本实用新型专利技术，通过设置清理装置，实现了毛刷自动对吸尘板上灰尘进行清理的作用，减少了拆洗的次数，节约了人力成本。节约了人力成本。节约了人力成本。

【技术实现步骤摘要】
一种碳化硅烧结炉的抽真空装置


[0001]本技术涉及抽真空
，尤其涉及一种碳化硅烧结炉的抽真空装置。

技术介绍

[0002]碳化硅陶瓷材料具有高温强度大、高温抗氧化性强、耐磨损性能好、热稳定性佳、 热膨胀系数小、热导率大、硬度高、抗热震和耐化学腐蚀等优良特性，在汽车、机械化工、环 境保护、空间技术、信息电子、能源等领域有着日益广泛的应用，已经成为一种在很多工业领域性能优异的其他材料不可替代的结构陶瓷。
[0003]一般在碳化硅烧结炉反应之前，需要对炉内进行抽真空装置，一般利用真空泵进行操作，由于炉内空气灰尘较多，一般都会加设吸尘装置进行除尘，防止真空泵受灰尘影响导致损坏，但是加设的吸尘板难以除尘，次次操作过后需要拆装清洗，十分麻烦，还浪费大量人力。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种碳化硅烧结炉的抽真空装置。
[0005]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：一种碳化硅烧结炉的抽真空装置，包括底座，所述底座上端固定安装有软垫,所述软垫上表面固定安装有三号导气本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种碳化硅烧结炉的抽真空装置，包括底座（1），其特征在于：所述底座（1）上端固定安装有软垫（6）,所述软垫（6）上表面固定安装有三号导气管（10）与一号导气管（5），所述三号导气管（10）与一号导气管（5）相邻两侧固定连接，所述一号导气管（5）远离三号导气管（10）的一侧固定连接有真空泵（4），所述三号导气管（10）远离一号导气管（5）的一侧固定安装有二号导气管（7），所述真空泵（4）下表面与底座（1）上表面固定连接，所述底座（1）下端固定安装有两个运输装置（3），所述三号导气管（10）内顶部与内底部共同连接有清理装置（2）。2.根据权利要求1所述的一种碳化硅烧结炉的抽真空装置，其特征在于：所述清理装置（2）包括固定板（21），所述固定板（21）侧壁固定安装有三个吸尘板（26），所述固定板（21）上下两端均固定安装有一号连接板（24），所述一号连接板（24）侧壁螺纹连接有固定螺丝（27），所述固定螺丝（27）螺纹连接有固定块（28），所述固定块（28）远离固定螺丝（27）的一侧与三号导气管（10）内侧壁固定连接，所述固定板（21）侧壁开设有两个滑槽（23），且两个所述滑槽（23）均位于相邻两个吸尘板（26）之间，所述滑槽（23）侧壁滑动连接有活动组件。3.根据权利要求2所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：马娟娟，
申请(专利权)人：山东仁和新材料有限公司，
类型：新型
国别省市：