一种硅片分离式吸附传输装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及硅片生产设备技术领域，尤其是一种硅片分离式吸附传输装置，包括第一传送带和第二传送带，两者相对设置，第一传送带两端分别设有左限位吹起机构和右限位吹起机构，第一传送带上放置有硅片堆叠托架，右限位吹起机构上端设有吸附传输机构。本实用新型专利技术的一种硅片分离式吸附传输装置，将堆叠满硅片的硅片堆叠托架放置在第一传送带上，将其传送至吸附传输机构下方，控制其吸附传输机构对其下方硅片逐片的吸附传输至第二传送带上，该传输装置能够有效快捷的实现硅片的分离传输，降低了劳动强度，且提高了生产效率，同时避免了人工操作不当污染硅片的问题。工操作不当污染硅片的问题。工操作不当污染硅片的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种硅片分离式吸附传输装置


[0001]本技术涉及硅片生产设备
，尤其是涉及一种硅片分离式吸附传输装置。

技术介绍

[0002]在硅片的加工生产中，为了满足不同的应用需求，时常需要将硅片进行各种化学处理，随着自动化生产的普及，硅片一般会通过流水线运送至各个加工工位，而为了提高生产效率，有些加工工段需要将堆叠的硅片一片一片分开，进行硅片后道工序的加工，现有技术中，硅片的堆叠分离一般通过人力实现，不仅费时费力、效率低、不利于产业化、成本高，而且很容易因操作不当导致硅片污染或破损。因此，亟需一种新型的硅片传输装置来解决上述问题。

技术实现思路

[0003]本技术要解决的技术问题是：为了克服现有技术中堆叠硅片人工分离费时费力、不利于产业化且成本高的问题，提供一种种硅片分离式吸附传输装置，将堆叠满硅片的硅片堆叠托架放置在第一传送带上，将其传送至吸附传输机构下方，控制其吸附传输机构对其下方硅片逐片的吸附传输至第二传送带上，这个过程中第一传送带两侧的左限位吹起机构和右限位吹起机构对硅片堆叠托架上的硅片逐片吹起。
[0004]本技术解本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅片分离式吸附传输装置，包括第一传送带(1)和第二传送带(2)，两者相对设置，其特征在于，所述第一传送带(1)两端分别设有左限位吹起机构(3)和右限位吹起机构(4)，所述第一传送带(1)上放置有硅片堆叠托架(5)，所述右限位吹起机构(4)上端设有吸附传输机构(6)；所述吸附传输机构(6)包括水平移动单元(61)和垂向移动单元(62)，所述垂向移动单元(62)连接于水平移动单元(61)上，所述水平移动单元(61)连接于右限位吹起机构(4)上端，所述垂向移动单元(62)下端通过横杆(63)连接有吸附板(64)，所述吸附板(64)下板面设置有若干个吸嘴盘(65)；所述左限位吹起机构(3)和右限位吹起机构(4)结构相同，均由外壳体(7)、升降单元(8)、支架(9)、气嘴(10)和气管(11)构成，所述升降单元(8)连接于外壳体(7)内部腔室底部，其升降单元(8)输出端连接支架(9)，所述支架(9)前端连接气嘴(...

【专利技术属性】
技术研发人员：沈晓，
申请(专利权)人：江苏格林保尔光伏有限公司，
类型：新型
国别省市：