一种TFT用高纯铝蚀刻液高效生产装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种TFT用高纯铝蚀刻液高效生产装置，属于蚀刻液相关技术领域。包括储料桶，所述储料桶顶部设置有传输管，所述传输管上设置有与储料桶相对应的抽取泵，所述传输管另一端连接混合桶，所述储料桶包括桶体，所述桶体上设置有加料口，所述桶体顶部设置有固定块，所述固定块中间位置设置有抽料管，所述抽料管顶部连接传输管，所述抽料管的表面均匀的设置有多个抽料口，每个抽料口内均设置有滤网，所述固定块底部连接伸缩罩的一端，所述伸缩罩的另一端连接悬浮环，所述伸缩罩和悬浮环均套设在抽料管上。本实用新型专利技术可以有效的增大抽料管的抽取面积提高其抽取效率，且提高了该装置生产工作的效率。装置生产工作的效率。装置生产工作的效率。

【技术实现步骤摘要】
一种TFT用高纯铝蚀刻液高效生产装置


[0001]本技术涉及蚀刻液相关
，特别涉及一种TFT用高纯铝蚀刻液高效生产装置。

技术介绍

[0002]TFT(Thin Film Transistor)是薄膜晶体管的缩写。蚀刻液是通过侵蚀材料的特性来进行雕刻的一种液体，从理论上讲，凡能氧化钢而生成可溶性铜盐的试剂，都可以用来蚀刻敷铜箔板，但权衡对抗蚀层的破坏情况、蚀刻速度，蚀刻系数、溶铜容量、溶液再生及铜的回收、环境保护及经济效果等方面。现有的TFT用高纯铝蚀刻液生产装置技术存在以下问题：现有的TFT用高纯铝蚀刻液生产装置在生产制造的过程中，生产工作的效率低而且生产出的蚀刻液蚀刻效率较低。
[0003]如专利号为CN211098792U的中国技术专利公开了一种TFT用高纯铝蚀刻液生产装置，包括底架板和储料桶，所述底架板的顶部中间左侧位置处设置有储料桶，所述储料桶的顶部位置处设置有传输管，所述传输管的顶部位置处与储料桶相对应的位置处设置有抽取泵，所述传输管的前端中间位置处设置有固定架，上述专利在现有的设备的基础上加装了新型的混合桶，在混合桶本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种TFT用高纯铝蚀刻液高效生产装置，包括储料桶（1），其特征在于：所述储料桶（1）顶部设置有传输管（2），所述传输管（2）上设置有与储料桶（1）相对应的抽取泵（3），所述传输管（2）另一端连接混合桶（4），所述储料桶（1）包括桶体（8），所述桶体（8）上设置有加料口（5），所述桶体（8）顶部设置有固定块（7），所述固定块（7）中间位置设置有抽料管（6），所述抽料管（6）顶部连接传输管（2），所述抽料管（6）的表面均匀的设置有多个抽料口，每个抽料口内均设置有滤网，所述固定块（7）底部连接伸缩罩（9）的一端，所述伸缩罩（9）的另一端连接悬浮环（10），所述伸缩罩（9）和悬浮环（10）均套设在抽料管（6）上，所述悬浮环（10）的内径与抽料管（6）的外径相适配，所述伸缩罩（9）的内径大于抽料管（6）的外径，所述伸缩罩（9）的长度与抽料管（6）的长度一致。2.根据权利要求1所述的一种TFT用高纯铝蚀刻液高效生产装置，其特征在于：所述混合桶（4）顶部设置有电机，所述电机通过传动轴（...

【专利技术属性】
技术研发人员：何珂，戈烨铭，汤晓春，
申请(专利权)人：江阴润玛电子材料股份有限公司，
类型：新型
国别省市：