【技术实现步骤摘要】
一种氮气柜
[0001]
：本专利技术涉及半导体存储领域，具体地说就是一种氮气柜。
[0002]
技术介绍
：随着半导体行业的快速发展，各大半导体及军工企业单位对氮气柜的使用率越来越高，氮气柜作为一种存储装置，在工业生产过程中一般安装在工房中用于存放成品、半成品和器具等。
[0003]然而现有有的应用于工业生产中氮气柜作为一个存取物料的装置存在以下问题，由于工人会经常工作在该区域，放置在氮气柜的物料，本身会释放一些化学气体，柜内的气体被置换后排到室内，会对该场所的工作人员健康造成危害。
[0004]
技术实现思路
：本专利技术就是为克服现有技术中的不足，提供一种氮气柜。
[0005]本申请提供以下技术方案：一种氮气柜，它包括柜体，在柜体内设有一组隔板，在柜体上通入有氮气输入管，在氮气输入管上设有对应配合的控制阀，其特征在于：在柜体内设有湿度检测器，在柜体内设有氮气排出组件，在柜体外壁上设有与控制阀、湿度检测器以及氮气排出组件形成电信号连接配合的控制模块。
[0006]在上述技术方案的基础上，还可以有以下进一步的技术方案：所述的氮气排出组件包括在壳体,在壳体上穿设有出气管,出气管一端伸出柜体外侧，另一端伸入到柜体内侧，在壳体内的出气管上依次连通有真空泵,止逆阀，缓冲器，净化器。
[0007]在所述的一组隔板中有设有格栅板。
[0008]所述的缓冲器包括腔体，在腔体一端设有进气孔另一端设有出气孔，在腔体内设有至少一个孔板。
[0009]专利技术优点：本专利技术具有结构简单，使用方便，可以实时检...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种氮气柜，它包括柜体（1），在柜体（1）内设有一组隔板（2），在柜体（1）上通入有氮气输入管（3），在氮气输入管（3）上设有对应配合的控制阀，其特征在于：在柜体（1）内设有湿度检测器（4），在柜体（1）内设有氮气排出组件（5），在柜体（1）外壁上设有与控制阀、湿度检测器（4）以及氮气排出组件（5）形成电信号连接配合的控制模块。2.根据权利要求1中所述的一种氮气柜，其特征在于：所述的氮气排出组件（5）包括壳体（5a）,在壳体（5a）上穿设有出气管（5b...
【专利技术属性】
技术研发人员：沈雨顺，刘旭华，孙迪，张栋，
申请(专利权)人：华东光电集成器件研究所，
类型：发明
国别省市：
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