一种基于SBCs-GaNmicro-LED的柔性压力可视化传感器及其制备方法技术

本发明专利技术公开了一种基于SBCs

【技术实现步骤摘要】
一种基于SBCs
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GaN micro
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LED的柔性压力可视化传感器及其制备方法


[0001]本专利技术属于半导体器件领域，具体涉及一种基于SBCs
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GaN micro
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LED的柔性压力可视化传感器及其制备方法。

技术介绍

[0002]电子皮肤(Electronic Skin)由于能够实现生物体与数字世界的友好交互界面，在健康监测、增强现实(AR)和人机接口等方面有巨大的应用潜力。通常，电子皮肤由大量的柔性压力传感器构成，在复杂的三维表面完成对于压力分布的检测，以获得相应信号用于后续智能感知系统的分析。但目前的柔性传感器在一些运用上逐渐表现出其局限性，包括目前的压力分布检测空间分辨率低，精度不高，感测范围小，响应滞后等，造成设备反馈性低、信号采集模糊和不完整、不精确等实际应用问题。同时，目前的柔性压力传感器直接输出电学信号，难以对于压力的实际分布进行直观展示。
[0003]柔性压敏传感器能够模拟人类皮肤将外部压力刺激转变为电信号，使生物体和数字世界形成友好的人本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于SBCs
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GaN micro
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LED的柔性压力可视化传感器，其特征在于：所述柔性压力可视化传感器，从上至下依次包括上层PDMS薄膜、AgNW/PDMS柔性电极、SBCs网络薄膜、GaN基Micro
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LED阵列，下层PDMS薄膜。2.根据权利要求1所述的一种基于SBCs
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GaN micro
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LED的柔性压力可视化传感器，其特征在于：所述SBCs网络薄膜是由SBCs纳米纤维相互缠绕构成；所述SBCs网络薄膜厚度为100～400μm，随机取向。3.根据权利要求1
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2任意一项所述的一种基于SBCs
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GaN micro
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LED的柔性压力可视化传感器的制备方法，其特征在于：包括如下步骤：以SBCs网络薄膜、聚3，4
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乙烯二氧噻吩/聚苯乙烯磺酸盐为原料，利用静电纺丝法制备获得SBCs网络薄膜，然后采用半固化工艺将SBCs网络薄膜与AgNW/PDMS柔性电极复合获得AgNW/PDMS柔性电极
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SBCs结构，再与GaN基Micro
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LED阵列结合即得。4.根据权利要求3所述的一种基于SBCs
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GaN micro
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LED的柔性压力可视化传感器的制备方法，其特征在于：所述SBCs网络薄膜的具体制备过程为：将SBCs和聚3，4
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乙烯二氧噻吩/聚苯乙烯磺酸盐按质量比4.9～5.1：1混合，得到预混合溶液，将预混合溶液与二氯乙烷混合，获得SBCs溶液，然后对SBCs溶液进行静电纺丝获得SBCs网络薄膜。5.根据权利要求4所述的一种基于SBCs
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GaN micro
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LED的柔性压力可视化传感器的制备方法，其特征在于：将预混合溶液与二氯乙烷于45～55℃混合，获得SBCs溶液，所述SBCs溶液中，按质量比计，预混合溶液：二氯乙烷＝4.5～5.5:1。6.根据权利要求4所述的一种基于SBCs
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GaN micro
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LED的柔性压力可视化传感器的制备方法，其特征在于：所述静电纺丝的工艺参数为：电压11～13KV，给料速率4.9～5.1ml/h，收集距离10～20cm。7.根据权利要求4所述的基于SBCs
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GaN micro
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LED的柔性压力可视化传感器的制备方法，其特征在于：所述AgNW/PDMS柔性电极
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【专利技术属性】
技术研发人员：潘安练，向立，罗泽邦，
申请(专利权)人：湖南大学，
类型：发明
国别省市：