多功能原位表征和测试装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种多功能原位表征和测试装置，包括安装座和密封盖板，安装座上端设有容置腔，容置腔的四周以及底部均设有保温陶瓷板，所有保温陶瓷板围成保温室，保温室内设有加热台，加热台内部设有加热组件以及温控组件；保温室的侧壁上设有至少两个探针，当待检测传感器元件放置在加热台上时，所有探针均抵压在待检测传感器元件的上表面；安装座的侧壁上设有与保温室连通的进气孔以及出气孔；密封盖板可拆卸的连接在安装座的上端，且容置腔位于密封盖板所密封的范围内，密封盖板上与保温室对应的位置设有透光件。本发明专利技术公开的多功能原位测试装置，可以实现传感器温度、湿度、气体多参数可控环境下的检测，并且结构简单，操作方便。方便。方便。

【技术实现步骤摘要】
多功能原位表征和测试装置


[0001]本专利技术涉及电子材料及传感器的性能测试装置领域，具体地说是一种多功能原位表征和测试装置。

技术介绍

[0002]在电子材料及传感器的研究、研发和生产阶段，对其进行原位表征和测试，分析敏感机理，以及需要获取该传感器的各项测试数据对下一步开发传感器、优化传感器具有极大推进作用。若对气体传感器进行原位表征和测试时还需要提供密闭的气体环境，这对原位表征和测试装置提出了更高的要求。
[0003]目前，市面上现有的气体传感器元件测试装置结构复杂，成本高，特别是在实验室的检测过程中得不到很好的应用；另外的，现有的应用于实验室的检测装置无法满足局部高温原位和快响应参数的测试需求，其次复杂结构造成的大空腔容易导致切换气氛时传感器响应曲线迟滞，并且测试性能比较单一，无法满足更精确的测试需求。

技术实现思路

[0004]本专利技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本专利技术提供了一种多功能原位表征及测试装置，可以实现温度、湿度、气体多种环境下的传感器性能检测及原位观察表征功能，并且结构简单本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种多功能原位表征和测试装置，其特征在于：包括安装座(1)和密封盖板(5)，所述安装座(1)上端设有内凹的容置腔(1.1)，所述容置腔(1.1)的四周以及底部均设有保温陶瓷板(2)，所有保温陶瓷板(2)围成保温室(14)，所述保温室(14)内设有加热台(3)，所述加热台(3)内部设有加热组件以及温控组件；所述保温室(14)的侧壁上设有至少两个探针(4)，当待检测元件放置在加热台(3)上时，所有探针(4)均抵压在待检测传感器元件的上表面；所述安装座(1)的侧壁上设有与所述保温室(14)连通的进气孔(1.3)以及出气孔(1.4)；所述密封盖板(5)可拆卸的连接在安装座(1)的上端，且所述容置腔(1.1)位于密封盖板(5)所密封的范围内，所述密封盖板(5)上与保温室(14)对应的位置设有透光件(6)。2.根据权利要求1所述的多功能原位表征和测试装置，其特征在于：所述保温陶瓷板(2)为多孔陶瓷材料制成，且所述安装座(1)左右两侧的保温陶瓷板(2)上近保温室(14)的一侧分别设有安装槽(2.1)，所述安装槽(2.1)内嵌装有致密陶瓷材料制成的固定陶瓷板(7)；所述探针(4)对称的设置在左右两侧的固定陶瓷板(7)上，且所述探针(4)的一端穿过固定陶瓷板(7)延伸至保温室(14)，探针(4)的另一端依次穿出保温陶瓷板(2)、安装座(1)与外接的探针引线连接。3.根据权利要求2所述的多功能原位表征和测试装置，其特征在于：所述固定陶瓷板(7)上沿着从外而内的方向设有相连通的插接孔(7.1)和调节孔(7.2)，所述探针(4)沿水平方向可滑动的配装在插接孔(7.1)内，且所述探针(4)近保温室(14)的一端在调节孔(7.2)内可往下移动；所述固定陶瓷板(7)的上端分别设有竖向延伸至插接孔(7.1)、调节孔(7.2)内部的紧固螺钉(8)，且所述紧固螺钉(8)的下端顶靠在探针(4)侧壁上。4.根据权利要求3所述的多功能原位表征和测试装置，其特征在于：所述安装座(1)左右两侧的上端面设有用于容置探针引线的卡槽(...

【专利技术属性】
技术研发人员：钱显威，邹杰，简家文，李雪宾，涂建鑫，
申请(专利权)人：宁波大学，
类型：发明
国别省市：