高纯气体中痕量金属元素自动捕获消解器制造技术

本发明专利技术涉及气体试验分析技术领域，尤其为高纯气体中痕量金属元素自动捕获消解器，包括捕获箱、收集瓶、金属捕获柱、电磁六通选择阀、操作机构、处理箱、储液箱、第一恒流泵和第二恒流泵，所述金属捕获柱的顶部固定安装有连接板，所述捕获箱的顶部贯穿开设有通槽，且连接板与通槽的内壁滑动连接；本发明专利技术能够对高纯气体中的痕量金属杂质进行集中捕获，以便实验人员能够提取高纯气体中的金属杂质进行分析，排除金属杂质对实验的干扰，使实验结果更加准确，解决了目前的高纯气体通常装在金属气瓶中，在运输和长期存放使用过程中，高纯气体容易混杂铁、铜、铝等金属杂质，导致高纯气体的纯度下降，严重影响实验分析结果的问题。严重影响实验分析结果的问题。严重影响实验分析结果的问题。

【技术实现步骤摘要】
高纯气体中痕量金属元素自动捕获消解器


[0001]本专利技术涉及气体试验分析
，具体为高纯气体中痕量金属元素自动捕获消解器。

技术介绍

[0002]高纯气体通常是指利用现代提纯技术能达到的某个等级纯度的气体，高纯气体对于不同类别的气体，纯度指标不同，在半导体工业，高纯氮、氢、氩、氦可作为运载气和保护气，高纯气体可作为配制混合气的底气，而在实验室中，一些高纯度的气体也能够用于实验，比如二氧化硫或二氧化氮。
[0003]目前的高纯气体通常装在金属气瓶中，在运输和长期存放使用过程中，高纯气体容易混杂铁、铜、铝等金属杂质，导致高纯气体的纯度下降，严重影响实验分析的结果，为此我们提出一种能够对高纯气体中的痕量金属杂质进行集中捕获，以便实验人员能够提取高纯气体中的金属杂质进行分析，并排除金属杂质对实验的干扰，使实验结果更加准确客观的痕量金属元素自动捕获消解器来解决此问题。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于提供高纯气体中痕量金属元素自动捕获消解器，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.高纯气体中痕量金属元素自动捕获消解器，包括捕获箱(2)、收集瓶(3)、金属捕获柱(4)、电磁六通选择阀(8)、操作机构(9)、处理箱(19)、储液箱(15)、第一恒流泵(12)和第二恒流泵(16)，其特征在于：所述金属捕获柱(4)的顶部固定安装有连接板(5)，所述捕获箱(2)的顶部贯穿开设有通槽(6)，且连接板(5)与通槽(6)的内壁滑动连接，所述连接板(5)和捕获箱(2)的顶部设置有固定机构(7)，所述电磁六通选择阀(8)的表面设置有第一接口(81)、第二接口(82)、第三接口(83)、第四接口(84)、第五接口(85)和第六接口(86)，所述捕获箱(2)的两侧分别通过连接管与第三接口(83)和第六接口(86)相连通，所述第一接口(81)连通有输气管(10)，所述输气管(10)的表面安装有气体质量流量控制计(11)，所述第一恒流泵(12)的一侧连通有输水管(13)，所述第一恒流泵(12)的另一侧连通有第一背压管(14)，所述第一背压管(14)的另一端通过三通接口与输气管(10)相互连通，所述储液箱(15)与第二恒流泵(16)相互连通，所述第二恒流泵(16)的另一侧连通有第二背压管(17)，所述第二背压管(17)的另一端与第四接口(84)相互连通，所述第二接口(82)连通有排放管(18)，所述排放管(18)的另一端与处理箱(19)相互连通，所述第五接口(85)与收集瓶(3)相互连通，所述处理箱(19)的一侧设置有输液机构(20)，所述处理箱(19)的另一侧连通有排放通道(21)。2.根据权利要求1所述的高纯气体中痕量金属元素自动捕获消解器，其特征在于：所述操作机构(9)由操作台(91)、显示屏(92)、操作按钮(93)、处理器(94)、传输模块(95)和接收模块(96)构成，所述显示屏(92)和操作按钮(93)均安装在操作台(91)的表面，所述处理器(94)、传输模块(95)和接收模块(96)均设置在操作台(91)的内部。3.根据权利要求1所述的高纯气体中痕量金属元素自动捕获消解器，其特征在于：所述固...

【专利技术属性】
技术研发人员：许峰，朱天一，荀其宁，张文申，侯倩倩，冀克俭，刘霞，董雅卓，宋磊，
申请(专利权)人：山东非金属材料研究所，
类型：发明
国别省市：