氯硅烷充装系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种氯硅烷充装系统，氯硅烷充装系统包括充装管、保护气源、氯硅烷储罐、气液分离装置、真空泵和冷却装置，充装管具有保护气口、氯硅烷进口、抽真空口和充装接口，保护气源与保护气口连通，氯硅烷储罐与氯硅烷进口连通，气液分离装置用于分离从所述氯硅烷进口供给到所述充装管内的气态氯硅烷中的液滴，真空泵与抽真空口连通，冷却装置设在充装管上且位于气液分离装置和充装接口之间，冷却装置用于将气态氯硅烷冷却为液态氯硅烷并分离和排出氯硅烷中的不凝气体。本实用新型专利技术的氯硅烷充装系统，避免了氯硅烷中杂质和颗粒度超标的情况，提升了氯硅烷的充装品质。提升了氯硅烷的充装品质。提升了氯硅烷的充装品质。

【技术实现步骤摘要】
氯硅烷充装系统


[0001]本技术涉及氯硅烷充装
，具体地，涉及一种氯硅烷充装系统。

技术介绍

[0002]相关技术中，诸如二氯二氢硅、三氯氢硅、四氯化硅、一氯三氢硅的氯硅烷多采用气瓶充装，利用压差将氯硅烷导入气瓶内，从而完成充装。
[0003]但是，上述充装方式存在以下问题：
①
在进行单口气瓶的充装时，因气瓶只有一个进口，无排气口，进料会压缩气瓶内空间，随着进料增加，瓶内空间越来越小，进料与气瓶压差减小，使得充装时间长，且充装过程容易受环境温度影响，在环境温度较高，物料易气化，导致瓶内压力升高，使得原料无法进一步充入瓶内，达不到设定重量无法有效控制；
②
原料、充装管路等充装系统内存在微量水、氢气、金属、固体颗粒物等杂质，容易导致氯硅烷中杂质超标，影响氯硅烷的充装品质，但现有方案未有进一步的纯化措施；
③
针对部分加装过滤器的充装系统，一定程度上虽然会提升充装品质，但是过滤器需要频繁更换，增加了充装成本。

技术实现思路

[0004]本技术旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。
[0005]为此，本技术实施例提出一种氯硅烷充装系统，该氯硅烷充装系统避免了氯硅烷中杂质和颗粒度超标的情况，提升了氯硅烷的充装品质和充装效率。
[0006]根据本技术实施例的氯硅烷充装系统包括：充装管，所述充装管具有保护气口、氯硅烷进口、抽真空口和适于与氯硅烷气瓶相连的充装接口；保护气源，所述保护气源与所述保护气口连通、用于向所述充装管内供入保护气体以吹扫所述充装管；氯硅烷储罐，所述氯硅烷储罐与所述氯硅烷进口连通，所述氯硅烷储罐用于存储和亚沸蒸发液态氯硅烷以向所述充装管内供给气态氯硅烷；气液分离装置，所述气液分离装置用于分离从所述氯硅烷进口供给到所述充装管内的气态氯硅烷中的液滴；真空泵，所述真空泵与所述抽真空口连通，所述真空泵用于对所述充装管以及与所述充装接口相连的氯硅烷气瓶抽真空；冷却装置，所述冷却装置设在所述充装管上且位于所述气液分离装置和所述充装接口之间，所述冷却装置用于将所述气态氯硅烷冷却为液态氯硅烷并分离和排出所述氯硅烷中的不凝气体。
[0007]根据本技术实施例的氯硅烷充装系统，避免了氯硅烷中杂质和颗粒度超标的情况，提升了氯硅烷的充装品质和充装效率。
[0008]在一些实施例中，所述冷却装置为深冷器。
[0009]在一些实施例中，所述氯硅烷充装系统还包括回流管，所述回流管连接在所述气液分离装置和所述氯硅烷储罐之间，用于将所述液滴回流至所述氯硅烷储罐内。
[0010]在一些实施例中，所述氯硅烷充装系统还包括称重装置和第一加热装置，所述称重装置用于对所述氯硅烷气瓶称重，所述第一加热装置用于加热所述气瓶以将所述氯硅烷
气瓶内的部分液态氯硅烷加热为气态氯硅烷。
[0011]在一些实施例中，所述氯硅烷充装系统还包括检测设备，所述检测设备与所述氯硅烷气瓶可拆卸地连接，以便所述氯硅烷气瓶内的部分液态氯硅烷由所述第一加热装置加热为气态的氯硅烷并进入所述检测设备内以进行检测。
[0012]在一些实施例中，所述氯硅烷充装系统还包括设在所述充装接口处的充装阀和控制器，所述控制器与所述称重装置和所述充装阀相连以根据所述称重装置的称重值控制所述充装阀。
[0013]在一些实施例中，所述氯硅烷充装系统还包括充装面板，所述充装面板内具有充装通道，所述充装通道具有与所述充装接口连通的进口和多个出口，多个所述出口适于与多个氯硅烷气瓶一一对应地可拆卸相连。
[0014]在一些实施例中，所述氯硅烷充装系统还包括第二加热装置，所述第二加热装置设在所述氯硅烷储罐上，用于微波或红外辐射加热所述氯硅烷储罐内的氯硅烷液面，所述氯硅烷储罐的外周设有夹套，所述夹套具有加热介质通道，所述加热介质通道具有用于通入加热介质以加热所述氯硅烷储罐内的液态氯硅烷的介质进口和排出加热介质的介质出口。
[0015]在一些实施例中，所述氯硅烷储罐内设有用于检测所述氯硅烷储罐内的液态氯硅烷温度的温度传感器。
[0016]在一些实施例中，第二加热装置有多个且在上下方向上分层设置。
附图说明
[0017]图1是根据本技术实施例的氯硅烷充装系统的整体示意图。
[0018]图2是图1中氯硅烷气瓶处的示意图。
[0019]图3是图1中氯硅烷储罐的示意图。
[0020]图4是图3中氯硅烷储罐的俯视示意图。
[0021]附图标记：
[0022]充装管1；保护气口11；氯硅烷进口12；抽真空口13；充装接口14；充装阀15；
[0023]保护气源2；
[0024]氯硅烷储罐3；排液口31；夹套32；介质出口33；介质进口34；第二加热装置35；温度传感器36；
[0025]气液分离装置4；回流管41；
[0026]冷却装置5；不凝气排放口51；
[0027]真空泵6；
[0028]氯硅烷气瓶7；第一加热装置71；称重装置72；金属软管73。
具体实施方式
[0029]下面详细描述本技术的实施例，所述实施例的示例在附图中示出。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本技术，而不能理解为对本技术的限制。
[0030]如图1至图4所示，根据本技术实施例的氯硅烷充装系统包括充装管1、保护气
源2、氯硅烷储罐3、气液分离装置4、真空泵6和冷却装置5。
[0031]充装管1具有保护气口11、氯硅烷进口12、抽真空口13和适于与氯硅烷气瓶7相连的充装接口14。
[0032]如图1所示，充装管1为一根直管，充装管1沿着从左至右的方向延伸，保护气口11、氯硅烷进口12、抽真空口13、充装接口14沿着从左至右的方向依次间隔设置在充装管1上。
[0033]可以理解的是，在其他一些实施例中，充装管1也可以为弯曲管、折管、环形管等。保护气口11、氯硅烷进口12、抽真空口13、充装接口14也可以按照其他顺序排布，例如，保护气口11可以设在氯硅烷进口12和抽真空口13之间；抽真空口13也可以设在保护气口11的左侧或设在充装接口14的右侧。
[0034]保护气源2与保护气口11连通、用于向充装管1内供入保护气体以吹扫充装管1。如图1所示，保护气源2可以为惰性气体，例如，保护气源2可以为氮气、氩气、氦气等。惰性气体可以存储在专门的存储容器内，存储容器与充装管1上的保护气口11连通，通过保护气口11可以向充装管1内充入惰性气体。
[0035]在对氯硅烷气瓶7充装之前，可以将保护气源2与充装管1接通，然后利用惰性气体对充装管1进行吹扫置换，由此，可以将充装管1中的微量水、微量氧、杂质气体等进行置换，起到降低杂质的作用，有利于提高氯硅烷的充装品质。
[0036]氯硅烷储罐3与氯硅烷进口12连通，氯硅烷储罐3用于存储和亚沸蒸发液态氯硅烷以向充装管1内供给气态氯硅本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种氯硅烷充装系统，其特征在于，包括：充装管，所述充装管具有保护气口、氯硅烷进口、抽真空口和适于与氯硅烷气瓶相连的充装接口；保护气源，所述保护气源与所述保护气口连通、用于向所述充装管内供入保护气体以吹扫所述充装管；氯硅烷储罐，所述氯硅烷储罐与所述氯硅烷进口连通，所述氯硅烷储罐用于存储和亚沸蒸发液态氯硅烷以向所述充装管内供给气态氯硅烷；气液分离装置，所述气液分离装置用于分离从所述氯硅烷进口供给到所述充装管内的气态氯硅烷中的液滴；真空泵，所述真空泵与所述抽真空口连通，所述真空泵用于对所述充装管以及与所述充装接口相连的氯硅烷气瓶抽真空；冷却装置，所述冷却装置设在所述充装管上且位于所述气液分离装置和所述充装接口之间，所述冷却装置用于将所述气态氯硅烷冷却为液态氯硅烷并分离和排出所述氯硅烷中的不凝气体。2.根据权利要求1所述的氯硅烷充装系统，其特征在于，所述冷却装置为深冷器。3.根据权利要求1所述的氯硅烷充装系统，其特征在于，还包括回流管，所述回流管连接在所述气液分离装置和所述氯硅烷储罐之间，用于将所述液滴回流至所述氯硅烷储罐内。4.根据权利要求1所述的氯硅烷充装系统，其特征在于，还包括称重装置和第一加热装置，所述称重装置用于对所述氯硅烷气瓶称重，所述第一加热装置用于加热所述气瓶以将所述氯硅烷气瓶内的部分液态氯硅烷加热为气态氯硅烷。5.根据权利要求4所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘见华，王磊，赵雄，万烨，赵宇，严大洲，
申请(专利权)人：中国恩菲工程技术有限公司，
类型：新型
国别省市：