一种硅片顶齿装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种硅片顶齿装置，包括：平行设置的第一顶齿组和第二顶齿组；所述第一顶齿组和第二顶齿组均包括多个线性排布的顶齿，相邻两个所述顶齿之间形成有用于容置硅片的顶升槽；所述第一顶齿组和第二顶齿组相对设置以形成用于顶片的空间单元；所述第一顶齿组的首尾两端和第二顶齿组的首尾两端均设置有端齿，所述端齿呈片状，所述端齿远离所述顶齿的侧面设置有避让部以避让相邻的硅片。由于端齿为片状，端齿远离顶齿的侧面设置有避让部，在对石英舟或者花篮中的硅片进行部分顶出操作时，端齿不易误碰到位于端齿旁侧需留存的硅片，保证有较高的产品质量且工作效率更高。保证有较高的产品质量且工作效率更高。保证有较高的产品质量且工作效率更高。

【技术实现步骤摘要】
一种硅片顶齿装置


[0001]本技术涉及硅片
，尤其是指一种硅片顶齿装置。

技术介绍

[0002]随着科技发展，对硅片的生产质量要求也愈发严格，在硅片的生产过程中，通常会使用由多个顶齿组成的顶齿组，将硅片从石英舟的槽中或者花篮的槽中顶出。
[0003]中国专利CN211789062U，公开了一种硅片用顶齿组，其能够提高顶齿和硅片接触的表面的光滑程度，降低硅片表面被划伤的风险。然而，此种顶齿组一般用于将花篮或者石英舟中的硅片一次性全部顶出，且花篮或者石英舟中承载的硅片较多，相邻两硅片间的间距较小，当需要对石英舟或者花篮中的硅片进行全部顶出时，顶齿组首端以及尾端的柱形顶齿极易对旁侧需留存的硅片造成磕碰，使得硅片发生损坏。
[0004]因此，需要设计一种新的硅片顶齿装置。

技术实现思路

[0005]本技术要解决的技术问题是提供一种硅片顶齿装置，其第一顶齿组和第二顶齿组的首端和尾端均固定有薄片状的端齿；由于端齿为片状，端齿远离顶齿的侧面设置有避让部，在对石英舟或者花篮中的硅片进行部分顶出操作时，端齿能够避让相邻的硅片，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅片顶齿装置，其特征在于，包括：平行设置的第一顶齿组和第二顶齿组；所述第一顶齿组和第二顶齿组均包括多个线性排布的顶齿，相邻两个所述顶齿之间形成有用于容置硅片的顶升槽；所述第一顶齿组和第二顶齿组相对设置以形成用于顶片的空间单元；所述第一顶齿组的首尾两端和第二顶齿组的首尾两端均设置有端齿，所述端齿呈片状，所述端齿远离所述顶齿的侧面设置有避让部以避让相邻的硅片。2.根据权利要求1所述的硅片顶齿装置，其特征在于，所述端齿包括安装板以及设置在所述安装板顶部的齿尖，所述安装板与齿尖一体成型。3.根据权利要求1所述的硅片顶齿装置，其特征在于，所述端齿的厚度为2
‑
5mm。4.根据权利要求1所述的硅片顶齿装置，其特征在于，所述第一顶齿组和第二顶齿组均包括插板、端齿和顶齿；两个所述端齿分别固定在所述插板的首端和尾端，多个所述顶齿排列设置在所述插板上。5.根...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴廷斌，张学强，张建伟，罗银兵，邓大桥，
申请(专利权)人：罗博特科智能科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：