弹性波装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种弹性波装置，能够有效地抑制相邻的弹性波元件间的声耦合。弹性波装置具备：第1弹性波元件，设置在压电基板上，具有至少一个IDT电极(22A)；和第2弹性波元件，设置在上述压电基板上，具有至少一个IDT电极(22B)，第1弹性波元件和第2弹性波元件在弹性波传播方向上相邻，在第1IDT电极(22A)和第2IDT电极(22B)之间设置有使弹性波衍射的衍射构件(25)，衍射构件(25)具有作为用于使弹性波衍射的狭缝的间隙(25a)。衍射的狭缝的间隙(25a)。衍射的狭缝的间隙(25a)。

【技术实现步骤摘要】
弹性波装置


[0001]本技术涉及用于谐振器、带通滤波器等的弹性波装置。

技术介绍

[0002]近年来，多个弹性波元件设置在同一压电基板上的弹性波装置被广泛使用。在这样的弹性波装置中，弹性波元件彼此在压电基板上接近配置。因此，有可能在一个弹性波元件的IDT电极与另一个弹性波元件的IDT电极之间产生声耦合。若产生声耦合，则会产生例如在弹性波滤波器的通带产生纹波之类的问题。
[0003]在下述的专利文献1中，为了防止上述声耦合，在一个IDT电极与另一个IDT电极之间设置有使弹性波折射的在斜方向上延伸的折射图案。此外，在一个IDT电极与另一个IDT电极之间设置有吸收弹性波的吸收体。
[0004]在先技术文献
[0005]专利文献
[0006]专利文献1：日本特开2018
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129798号公报
[0007]在专利文献1记载的使用了折射图案以及吸收体的结构中，相邻的弹性波元件间的空间不得不变大。为了推进小型化，需要减小这样的折射图案或吸收体的沿弹性波传播方向的尺寸。但是，若减小该尺寸，则无法充分得本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种弹性波装置，其特征在于，具备：压电基板；第1弹性波元件，设置在所述压电基板上，具有至少一个第1IDT电极；和第2弹性波元件，设置在所述压电基板上，具有至少一个第2IDT电极，所述第1IDT电极的交叉区域和所述第2IDT电极的交叉区域具有在弹性波传播方向上重叠的区域，在所述弹性波传播方向上重叠的区域中，具备具有狭缝的衍射构件。2.根据权利要求1所述的弹性波装置，其特征在于，所述衍射构件具有第1部分和第2部分，所述第1部分和所述第2部分在与弹性波传播方向正交的方向上隔着所述狭缝而配置。3.根据权利要求2所述的弹性波装置，其特征在于，所述狭缝是配置在所述第1部分与所述第2部分之间的间隙，由该间隙构成了贯通所述衍射构件的贯通狭缝。4.根据权利要求1～3中任一项所述的弹性波装置，其特征在于，所述衍射构件的面对所述狭缝的部分的角部被切去。5.根据权利要求1～3中任一项所述的弹性波装置，其特征在于，所述衍射构件的面对所述狭缝的部分的角部带有圆角。6.根据权利要求1～3中任一项所述的弹性波装置，其特征在于，所述衍射构件具有直线状的形状。7.根据权利要求1～3中任一项所述的弹性波装置，其特征在于，在所述衍射构件设置有多个所述狭缝。8.根据权利要求1～3中任一项所述的弹性波装置，其特征在于，沿着所述弹性波传播方向设置有多个所述衍射构件。9.根据权利要求7所述的弹性波装置，其特征在于，设置于多个所述衍射构件的狭缝彼此在所述弹性波传播方向上不相重叠。10.根据权利要求1～3中任一项所述的弹性波装置，其特征在于，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：山路彻，高桥彻，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：新型
国别省市：