本实用新型专利技术公开了一种半导体行业电控调试的废水处理装置，具体涉及半导体废水处理领域，包括储水池，所述储水池一侧设有沉淀池，所述沉淀池的连接端依次设有反应池、一号过滤池和二号过滤池，且一号过滤池位于反应池与二号过滤池之间，所述二号过滤池一侧设有检测池，所述检测池的连接端设有回处理池；所述反应池一端设有一号储水筒，所述一号过滤池一端设有二号储水筒，所述二号过滤池一端设有三号储水筒。本实用新型专利技术通过设置反应池、一号过滤池和二号过滤池，便于根据半导体不同生产线产生的不同成分的废水制定快速处理方式，可单独或依次进行化学反应、一次过滤和二次过滤工作，使用灵活，适应性更好。适应性更好。适应性更好。
【技术实现步骤摘要】
一种半导体行业电控调试的废水处理装置
[0001]本技术涉及半导体废水处理领域，更具体地说，本实用涉及一种半导体行业电控调试的废水处理装置。
技术介绍
[0002]半导体厂废水之来源可略分为制程废水、纯水系统之废水、废气洗涤中和液废水等三种，各排放水可分为直接排放及回收处理方式。
[0003]现有的半导体行业电控调试的废水处理装置在使用时，不便根据半导体不同生产线产生的不同成分的废水制定快速处理方式，不能单独或依次进行化学反应、一次过滤和二次过滤工作，使用灵活，适应性更好。
技术实现思路
[0004]为了克服现有技术的上述缺陷，本技术的实施例提供一种半导体行业电控调试的废水处理装置，本技术所要解决的技术问题是：如何根据半导体不同生产线产生的不同成分的废水制定快速处理方式，单独或依次进行化学反应、一次过滤和二次过滤工作。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种半导体行业电控调试的废水处理装置，包括储水池，所述储水池一侧设有沉淀池，所述沉淀池的连接端依次设有反应池、一号过滤池和二号过滤池，且一号过滤池位于反应池与二号过滤池之间，所述二号过滤池一侧设有检测池，所述检测池的连接端设有回处理池；
[0006]所述反应池一端设有一号储水筒，所述一号过滤池一端设有二号储水筒，所述二号过滤池一端设有三号储水筒，所述反应池与一号储水筒之间、一号过滤池与二号储水筒之间及二号过滤池与三号储水筒之间均固定连接输送管和回流管，且回流管位于输送管一侧，所述一号储水筒、二号储水筒和三号储水筒内部均固定安装输送泵和回流泵，所述输送泵与输送管之间连通设置，所述回流泵与回流管之间连通设置；
[0007]所述检测池内部固定安装质量检测器，所述回处理池内部设有连通管，且连通管分别对应一号储水筒、二号储水筒及三号储水筒各设置两组。
[0008]实施方式为：储水池内部废水通过水泵通入沉淀池内部进行沉淀，沉淀一段时间后，清理漂浮物及沉淀物，再将废水通入反应池内部，可在反应池内部进行中和或其它化学反应，当反应结束后无固体有害物质产生时，关闭一号带阀管道的阀门，通过一号储水筒内部回流泵可将反应后废水抽至回处理池内部直接排出，当反应后的废水中带有固体杂质时，打开一号带阀管道的阀门，同时关闭二号带阀管道的阀门，将反应后废水通入一号过滤池内部，通过反应器可进行固液分离的过滤处理，一次处理后的废水可达到排放标准，通过二号储水筒内部回流泵可将一次处理后的废水通过回处理池排出，打开二号带阀管道的阀门，同时关闭三号带阀管道的阀门，将一次处理后的废水通入二号过滤池内部，通过过滤器可进行二次过滤处理，使二次处理后的废水达到回用标准，通过三号储水筒内部回流泵可
将二次处理后的废水通过回处理池排出，经收集后可再次使用，当储水池内部储存混合废水时，打开一号带阀管道、二号带阀管道和三号带阀管道的阀门，混合废水通过沉淀池、反应池、一号过滤池和二号过滤池依次进行沉淀、反应、一次过滤和二次过滤，过滤后的废水通过三号带阀管道进入检测池内部，通过质量检测器进行质量检测，不合格的废水根据不合格项回处理，例如检测池内部的废水经检测酸碱性不合格，将检测池内部废水通入回处理池内部，再通过连通管、一号储水筒内部输送泵和对应的输送管将不合格废水回抽至反应池内部进行中和反应，在一号过滤池和二号过滤池内部进行回处理方式与反应池的处理方式相同。
[0009]在一个优选地实施方式中，所述反应池与一号过滤池之间固定设有一号带阀管道，所述反应池与回处理池之间通过一号储水筒连通设置。
[0010]在一个优选地实施方式中，所述一号过滤池与二号过滤池之间固定设有二号带阀管道，所述一号过滤池与回处理池之间通过二号储水筒连通设置。
[0011]在一个优选地实施方式中，所述二号过滤池与检测池之间固定设有三号带阀管道，所述二号过滤池与回处理池之间通过三号储水筒连通设置。
[0012]在一个优选地实施方式中，所述一号过滤池内部固定安装反应器，且反应器为MBR膜生物反应器。
[0013]在一个优选地实施方式中，所述二号过滤池内部固定安装过滤器，且过滤器为袋式微过滤器。
[0014]在一个优选地实施方式中，所述输送泵与其中一组连通管之间连通设置，所述回流泵与另一组连通管之间连通设置。
[0015]在一个优选地实施方式中，所述储水池与沉淀池之间连通设置，所述检测池与回处理池之间连通设置。
[0016]本技术的技术效果和优点：
[0017]1、本技术通过设置反应池、一号过滤池和二号过滤池，便于根据半导体不同生产线产生的不同成分的废水制定快速处理方式，废水通入反应池内部进行中和或其它化学反应，反应后的废水中无有害杂质情况下可适用此方式快速处理，将反应后废水通入一号过滤池内部，通过反应器可进行固液分离的过滤处理，一次处理后的废水可达到排放标准，将一次处理后的废水通入二号过滤池内部，通过过滤器可进行二次过滤处理，使二次处理后的废水达到回用标准，整体使用灵活，适应性更好；
[0018]2、本技术通过设置检测池，便于回处理不合格的废水，混合废水通过沉淀池、反应池、一号过滤池和二号过滤池依次进行沉淀、反应、一次过滤和二次过滤，过滤后的废水通过三号带阀管道进入检测池内部，通过质量检测器进行质量检测，不合格的废水根据不合格项进行回处理。
附图说明
[0019]图1为本技术的整体结构示意图。
[0020]图2为本技术的反应池工作示意图。
[0021]图3为本技术的一号过滤池工作示意图。
[0022]图4为本技术的二号过滤池工作示意图。
[0023]图5为本技术的检测池结构示意图。
[0024]附图标记为：1、储水池；2、沉淀池；3、反应池；31、一号储水筒；4、一号过滤池；41、二号储水筒；42、反应器；5、二号过滤池；51、三号储水筒；52、过滤器；6、检测池；61、质量检测器；7、回处理池；71、连通管； 8、输送管；9、回流管；10、输送泵；11、回流泵；12、一号带阀管道；13、二号带阀管道；14、三号带阀管道。
具体实施方式
[0025]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0026]本技术提供了一种半导体行业电控调试的废水处理装置，包括储水池1，所述储水池1一侧设有沉淀池2，所述沉淀池2的连接端依次设有反应池3、一号过滤池4和二号过滤池5，且一号过滤池4位于反应池3与二号过滤池5之间，所述二号过滤池5一侧设有检测池6，所述检测池6的连接端设有回处理池7；
[0027]所述反应池3一端设有一号储水筒31，所述一号过滤池4一端设有二号储水筒41，所本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种半导体行业电控调试的废水处理装置，包括储水池(1)，其特征在于：所述储水池(1)一侧设有沉淀池(2)，所述沉淀池(2)的连接端依次设有反应池(3)、一号过滤池(4)和二号过滤池(5)，且一号过滤池(4)位于反应池(3)与二号过滤池(5)之间，所述二号过滤池(5)一侧设有检测池(6)，所述检测池(6)的连接端设有回处理池(7)；所述反应池(3)一端设有一号储水筒(31)，所述一号过滤池(4)一端设有二号储水筒(41)，所述二号过滤池(5)一端设有三号储水筒(51)，所述反应池(3)与一号储水筒(31)之间、一号过滤池(4)与二号储水筒(41)之间及二号过滤池(5)与三号储水筒(51)之间均固定连接输送管(8)和回流管(9)，且回流管(9)位于输送管(8)一侧，所述一号储水筒(31)、二号储水筒(41)和三号储水筒(51)内部均固定安装输送泵(10)和回流泵(11)，所述输送泵(10)与输送管(8)之间连通设置，所述回流泵(11)与回流管(9)之间连通设置；所述检测池(6)内部固定安装质量检测器(61)，所述回处理池(7)内部设有连通管(71)，且连通管(71)分别对应一号储水筒(31)、二号储水筒(41)及三号储水筒(51)各设置两组。2.根据权利要求1所述的一种半导体行业电控调试的废水处理装置，其特征在于：所述反应池(3)与一号过滤池(4)之间固定设有一号带阀管...
【专利技术属性】
技术研发人员：谢愉，董廷寰，曹升全，张冠华，肖春林，
申请(专利权)人：苏州格胜环保设备有限公司，
类型：新型
国别省市：
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