一种激光辅助电化学处理孔质量的方法及装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种激光辅助电化学处理孔质量的方法及装置，涉及复合特种加工技术领域。包括以下步骤：对通孔进行激光和电化学处理以提高孔质量。本发明专利技术方法利用工具电极上形成的气膜产生的“尖端”放电及气膜对激光产生的反射和折射作用来有效改善孔内壁质量以及降低锥度，本发明专利技术装置包括工件加工系统和控制系统；所述工件加工系统包括激光加工系统和电化学加工系统；本发明专利技术装置结构简单，可实现激光打孔、激光和电化学处理在一套装置上实现。激光和电化学处理在一套装置上实现。激光和电化学处理在一套装置上实现。

【技术实现步骤摘要】
一种激光辅助电化学处理孔质量的方法及装置


[0001]本专利技术涉及特种加工技术中的微细加工领域，尤其涉及到一种激光辅助电化学处理孔质量的方法及装置，适用于非导电硬脆材料的通孔加工。

技术介绍

[0002]激光打孔技术是激光加工的主要应用领域之一。相比其它常规打孔方法如机械钻孔、电火花加工等具有速度快、效率高、经济效应好的优点，因此被广泛应用于金属材料、半导体材料、陶瓷材料等领域，很好的满足了汽车、航天、医疗等相关行业对材料精密度的要求。
[0003]锥度是衡量通孔质量的一个重要指标。锥度越大，孔的质量越差。由于激光能量的分布不均匀，单一的激光加工不可避免的存在锥度较大以及加工工件厚度限制的问题。
[0004]国内外的研究人员对如何减小孔锥度的方法已经进行了一定的研究。中国专利“一种改善孔锥度和内壁质量的激光打孔装置及方法”，提出了一种通过可旋转夹具将工件在第一次激光打孔后绕孔的x方向旋转180
°
，使得工件刚好浸在水中且不改变小孔的x、y的坐标，再利用激光诱导空化技术进行第二次激光打孔的方法。该方法在打孔过程本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种激光辅助电化学处理孔质量的方法，其特征在于，对孔进行激光和电化学处理以提高孔壁质量。2.根据权利要求1所述的激光辅助电化学处理孔质量的方法，其特征在于，电化学处理为：工具电极(11)周围气泡聚结形成使工具电极(11)与电解液(15)隔离的气膜，从而出现“尖端”放电，利用“尖端”放电产生的能量对孔壁进行处理。3.根据权利要求1所述的激光辅助电化学处理孔质量的方法，其特征在于，激光设置在被加工工件(9)的一侧，工具电极(11)设置在被加工工件(9)的另一侧，激光辐照在工具电极(11)周围的气膜上，气膜会使激光发生折射和反射从而蚀除孔壁材料。4.根据权利要求2或者3任一项所述的激光辅助电化学处理孔质量的方法，其特征在于，所述工具电极(11)可绕孔轴旋转对孔壁进行电化学处理。5.根据权利要求2或者3任一项所述的激光辅助电化学处理孔质量的方法，其特征在于，所述工具电极(11)外侧壁上涂覆有金刚石涂层。6.根据权利要求1所述的激光辅助电化学处理孔质量的方法，其特征在于，孔为通过激光加工出来的倒锥形孔。7.根据权利要求6所述的一种激光辅助电化学处理孔质量的方法的装置，其特征在于，包括工件加工系统和控制系统；所述工件加工系统包括激光加工系统和电化学加工系统；其中，激光加工系统包括脉冲激光器(3)、反射镜(4)、聚焦透镜(5)和数控平台(6)；所述脉冲激光器(3)发出的激光束通过反射镜(4)反射后经聚焦透镜(5)聚焦到被加工工件(9)上；所述数控平台(6)上放置专用工作槽(8)；所述专用工作...

【专利技术属性】
技术研发人员：张敏，朱浩，吴予澄，赵斗艳，张朝阳，徐坤，戴学仁，
申请(专利权)人：江苏大学，
类型：发明
国别省市：