【技术实现步骤摘要】
一种全固态绿光激光器
[0001]本专利技术涉及激光
，涉及一种全固态绿光激光器，具体涉及一种双腔偏振合束多参数矫正的全固态绿光激光器。
技术介绍
[0002]高平均功率、高重复频率的激光二极管泵浦绿光固体激光器具有效率高、寿命长、结构紧凑、光束质量好等优点，在激光加工、激光医疗、激光表演、激光雷达、激光通信、激光光谱学等领域有着广泛的应用。随着工业应用对激光加工效果及加工效率要求的不断提高，市场对激光器输出功率、发射波长、输出脉宽的要求也越来越高。高功率高光束质量的绿光激光器由于波长短、功率高，在材料分析、印制电路板钻孔及切割、半导体材料辐照加工、以及陶瓷切割加工应用上有特殊优势。
[0003]目前，激光二极管泵浦绿光固体激光器研究的主要目标是追求激光器的高输出功率、高转换效率、高稳定性等，但在某种程度上要同时获得高功率绿光与高光束质量是一对矛盾的问题。全固态绿光激光器现多采用808nm激光二极管作为泵浦源，而激光二极管泵浦固体激光器工作过程中产生的热效应是限制高功率激光输出的一个主要因素，同时由于增益介质中...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种全固态绿光激光器，其特征在于，包括：光学组件，所述光学组件包括第一偏振激光谐振腔、第二偏振激光谐振腔、第一腔外控光组件、第二腔外控光组件、偏振合束组件和光束指向稳定矫正组件；其中，所述第一偏振激光谐振腔和第二偏振激光谐振腔，用于输出第一线偏振绿激光光束和第二线偏振绿激光光束；所述第一腔外控光组件和第二腔外控光组件，用于控制第一线偏振绿激光光束和第二线偏振绿激光光束的激光功率且防止返回光进入所述第一偏振激光谐振腔和第二偏振激光谐振腔；所述偏振合束组件，用于将调节功率后的第一线偏振绿激光光束和第二线偏振绿激光光束合成为一束激光出射；所述光束指向稳定矫正组件，用于校正出射光束的指向稳定性；光束整形器，用于对校正的出射光束进行光束整形，得到能量分布均匀的光斑；延时控制模块，用于控制所述第一偏振激光谐振腔输出光脉冲与所述第二偏振激光谐振腔输出光脉冲的时间间隔。2.如权利要求1所述的全固态绿光激光器，其特征在于，所述第一偏振激光谐振腔和第二偏振激光谐振腔的结构相同，且输出相同的激光重复频率和激光脉宽；其中，所述第一偏振激光谐振腔包括沿光路依次设置的第一前腔全反镜、第一声光调Q模块、第一激光晶体及其第一LD侧面泵浦模块、第一90
°
石英旋光片、第二激光晶体及其第二LD侧面泵浦模块、第二声光调Q模块、第一1/4波片和第一折叠输出耦合镜，或，所述第一偏振激光谐振腔包括沿光路依次设置的第一前腔全反镜、第一声光调Q模块、激光晶体及其LD侧面泵浦模块、第二声光调Q模块、第一1/4波片和第一折叠输出耦合镜；所述第一折叠输出耦合镜的折叠腔光路上依次放置第一倍频晶体和第一后腔全反镜；所述第二偏振激光谐振腔包括沿光路依次设置的第二前腔全反镜、第三声光调Q模块、第三激光晶体及其第三LD侧面泵浦模块、第二90
°
石英旋光片、第四激光晶体及其第四LD侧面泵浦模块、第四声光调Q模块、第二1/4波片和第二折叠输出耦合镜，或，所述第二偏振激光谐振腔包括沿光路依次设置的第二前腔全反镜、第三声光调Q模块、激光晶体及其LD侧面泵浦模块、第四声光调Q模块、第二1/4波片和第二折叠输出耦合镜；所述第二折叠输出耦合镜的折叠腔光路上依次放置第二倍频晶体和第二后腔全反镜。3.如权利要求2所述的全固态绿光激光器，其特征在于，所述第一偏振激光谐振腔和第二偏振激光谐振腔采用“L”或“V”型折叠谐振腔，所述第一1/4波片和第二1/4波片，用于调整谐振腔内激光光束偏振态方向与所述第一倍频晶体和所述第二倍频晶体相匹配。4.如权利要求1所述的全固态绿光激光器，其特征在于，所述第一腔外控光组件包括沿光路依次设置的第一反射镜、第一偏光旋转器、第一偏振片、第一1/2波片和第一法拉第旋转器，所述第一偏振片的两侧设有第一光线收集...
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