【技术实现步骤摘要】
一种磁控溅射真空镀膜装置用的基片识别装置
[0001]本技术涉及真空镀膜
，具体为一种磁控溅射真空镀膜装置用的基片识别装置。
技术介绍
[0002]磁控溅射真空镀膜装置在对基片进行镀膜前需要对基片进行识别，一方面检验基片规格参数正确，避免出现加工错误情况，另一方面起到计数功能，但基片识别过程中，部分基片正反面颠倒，大多识别装置缺乏翻面功能，需要人工对基片进行翻面，影响识别效率，实用性较差，不利于推广和使用。
技术实现思路
[0003]本技术的目的在于提供一种磁控溅射真空镀膜装置用的基片识别装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0004]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种磁控溅射真空镀膜装置用的基片识别装置，包括工作台，所述工作台的内部设置有检正机构，检正机构的外侧设置有翻面机构，工作台的顶部固定安装有两组识别光栅，工作台的两侧内壁上转动安装有五组承托辊，工作台的底部固定安装有弓形架。
[0005]优选的，所述翻面机构包括传动杆、翻面托杆、链轮、减速电机、链条、支架和导向辊，工作...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种磁控溅射真空镀膜装置用的基片识别装置，包括工作台(1)，其特征在于：所述工作台(1)的内部设置有检正机构(3)，检正机构(3)的外侧设置有翻面机构(2)，工作台(1)的顶部固定安装有两组识别光栅(4)，工作台(1)的两侧内壁上转动安装有五组承托辊(5)，工作台(1)的底部固定安装有弓形架(6)。2.根据权利要求1所述的一种磁控溅射真空镀膜装置用的基片识别装置，其特征在于：所述翻面机构(2)包括传动杆(201)、翻面托杆(202)、链轮(203)、减速电机(204)、链条(205)、支架(206)和导向辊(207)，工作台(1)的内侧底部固定安装有两组支座，两组支座之间转动安装有传动杆(201)，传动杆(201)的外壁上固定安装有两组翻面托杆(202)，传动杆(201)的一端延伸至工作台(1)的后侧并固定安装有一组链轮(203)，弓形架(6)的内侧底部固定安装有减速电机(204)，减速电机(204)的输出轴通过联轴器固定安装有一组链轮(203)，两组链轮(203)上套设安装有链条(205)，两组链轮(203)通过链条(205)传动连接，工作台(1)的顶部固定安装有支架(206)，支架(206)的一侧外壁上固定安装有两组导向...
【专利技术属性】
技术研发人员：魏文杰，黄余，阳锐，袁超，李浩，
申请(专利权)人：四川华岩机械设备制造有限公司，
类型：新型
国别省市：
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