平面光波导芯片以及平面光波导分路器件制造技术

本申请公开了一种平面光波导芯片以及平面光波导分路器件，涉及传感领域。平面光波导芯片包括第一波导基片、设置于上的第一芯片波导、三个第二芯片波导、输入端口、三个第一输出端口以及三个第二输出端口，第一芯片波导的一端分别与三个第二芯片波导的一端连通；输入端口与第一芯片波导的另一端连通；第一输出端口、第二输出端口分别与第二芯片波导一一对应设置，每一第一输出端口分别与对应的第二芯片波导的另一端连通；每一第二输出端口分别与对应的第二芯片波导的一端连通。通过将平面光波导芯片、平面光波导分路器集成在惯性测量器件中，实现一个光源进行XYZ检测，缩小惯性测量器件的体积以及提升其操作的便利性。件的体积以及提升其操作的便利性。件的体积以及提升其操作的便利性。

【技术实现步骤摘要】
平面光波导芯片以及平面光波导分路器件


[0001]本申请涉及传感
，特别是涉及一种平面光波导芯片以及平面光波导分路器件。

技术介绍

[0002]惯性传感器件，如传统干涉式光纤陀螺仪，由光源发出的光经过光源分束器一分为二，其中一束光经光纤起偏器进入光纤环分束器，环分束器将光束一分为二后输出，其中上光束按照顺时针方向经过光纤传感环、相位调制器后返回光纤环分束器的下端，下光束按逆时针方向经过相位调制器、光纤传感环后返回光纤环分束器的下端；当二束顺时针光和逆时针光由环分束器合成形成干涉，再经过光纤起偏器至光纤源分束器一分为二，其中一束光由广电探测器变为电信号，经过信号处理单元输出陀螺仪相对于惯性参考系的转动信号。由于单个光纤陀螺仪，只能实现一个维度的角速度测量。因此，一个具有三维空间定位的光纤陀螺仪，需要三个独立的光纤陀螺仪来实现XYZ方向的精准定位。同理，对于采用上述传统方式制作的三轴集成的惯性传感器件，通常需要将单一方向的结构重复三次来完成，其体积难以通过外部的设计而进一步缩小，不利于检测。

技术实现思路

[0003]本申请旨在至本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种平面光波导芯片，其特征在于，包括：第一芯片波导；第二芯片波导，所述第二芯片波导设置有三个，所述第一芯片波导的一端分别与三个所述第二芯片波导的一端连通；输入端口，所述输入端口与所述第一芯片波导的另一端连通；第一输出端口，所述第一输出端口设置有三个，每一所述第一输出端口分别与对应的所述第二芯片波导的另一端连通，所述第一输出端口与所述第二芯片波导一一对应；第二输出端口，所述第二输出端口设置有三个，每一所述第二输出端口分别与对应的所述第二芯片波导的一端连通，所述第二输出端口与所述第二芯片波导一一对应；第一波导基片，所述第一芯片波导、所述第二芯片波导、所述输入端口、所述第一输出端口以及所述第二输出端口均设置在所述第一波导基片上。2.根据权利要求1所述的平面光波导芯片，其特征在于，所述输入端口、所述第二输出端口均位于所述第一波导基片同一侧，所述第一输出端口位于与所述输入端口相对的所述第一波导基片的另一侧。3.根据权利要求1所述的平面光波导芯片，其特征在于，所述输入端口位于所述第一波导基片一侧，所述第一输出端口位于与所述输入端口相对的所述第一波导基片的另一侧；所述第二输出端口均位于所述第一波导基片的其他侧。4.根据权利要求1所述的平面光...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙朝，芦勇，严安全，郭征东，杜永建，
申请(专利权)人：广州奥鑫通讯设备有限公司，
类型：新型
国别省市：