冷等离子真空反应室真空腔用放气阀制造技术

本实用新型专利技术涉及放气阀装置领域，尤其涉及冷等离子真空反应室真空腔用放气阀。包括放气阀本体，放气阀本体的阀体内设有活塞杆，活塞杆的端部的密封盘底面上设有密封圈；所述阀体底面上设有通孔，通孔外侧的阀体上设有与密封圈配合使用的密封槽；所述密封圈上方的活塞杆上套设有复位弹簧，阀体侧面设有外接管；通过在活塞杆设置密封盘和与密封盘配套使用的密封圈，以增强通孔处的密封效果。以增强通孔处的密封效果。以增强通孔处的密封效果。

【技术实现步骤摘要】
冷等离子真空反应室真空腔用放气阀


[0001]本技术涉及放气阀装置领域，尤其涉及冷等离子真空反应室真空腔用放气阀。

技术介绍

[0002]放气阀是向真空腔体内导入气体，以破坏真空的阀门。针对超高真空系统，一般情况下导入干燥的氮气，以避免真空腔体内壁大量吸附水蒸气。
[0003]目前在真空腔中使用的放气阀由于其密封性能不佳，在使用时往往容易出现漏气等情况，使用起来十分不方便。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是提供提高密封效果的。
[0005]本技术的技术方案如下：
[0006]冷等离子真空反应室真空腔用放气阀，包括放气阀本体，放气阀本体的阀体内设有活塞杆，活塞杆的端部的密封盘底面上设有密封圈；所述阀体底面上设有通孔，通孔外侧的阀体上设有与密封圈配合使用的密封槽；所述密封圈上方的活塞杆上套设有复位弹簧，阀体侧面设有外接管。
[0007]所述密封圈底面上设有第一凹槽，第一凹槽内均布有若干第一密封凸条。
[0008]所述密封槽与第一凹槽对应；所述密封槽内均布有若干第二密封凸条。
[0009]所述第一密封凸条和第二密封凸条截面均呈三角形，两两第二密封凸条之间形成三角形凹槽，该三角形凹槽与第一密封凸条对应。
[0010]所述第一密封凸条与第二密封凸条均为硅胶材质。
[0011]本技术的有益效果是：通过在活塞杆设置密封盘和与密封盘配套使用的密封圈，以增强通孔处的密封效果。
附图说明
[0012]通过下面结合附图的详细描述，本技术前述的和其他的目的、特征和优点将变得显而易见。
[0013]其中：图1为本技术结构示意图；
[0014]附图中，1为放气阀本体，2为阀体，3为活塞杆，4为密封盘，5为密封圈，6为通孔，7为密封槽，8为复位弹簧，9为外接管，10为第一凹槽，11为第一密封凸条，12为第二密封凸条，13为三角形凹槽。
具体实施方式
[0015]参见图1所示，冷等离子真空反应室真空腔用放气阀，包括放气阀本体1，放气阀本体的阀体2内设有活塞杆3，活塞杆的端部的密封盘4底面上设有密封圈5；所述阀体底面上
设有通孔6，通孔外侧的阀体上设有与密封圈配合使用的密封槽7；所述密封圈上方的活塞杆上套设有复位弹簧8，阀体侧面设有外接管9。通过在活塞杆设置密封盘和与密封盘配套使用的密封圈，以增强通孔处的密封效果。
[0016]所述密封圈底面上设有第一凹槽10，第一凹槽内均布有若干第一密封凸条11。通过设置第一密封凸条，增强密封效果。
[0017]所述密封槽与第一凹槽对应；所述密封槽内均布有若干第二密封凸条12。通过设置第二密封凸条，增强密封效果。
[0018]所述第一密封凸条和第二密封凸条截面均呈三角形，两两第二密封凸条之间形成三角形凹槽13，该三角形凹槽与第一密封凸条对应。第一、第二密封凸条配合使用，将三角结构的第一密封凸条插入三角形凹槽内，能够大大提高密封效果。
[0019]所述第一密封凸条与第二密封凸条均为硅胶材质。采用硅胶材料使用寿命长。
[0020]以上所述，仅是本技术的较佳实施例，并非对本技术做任何形式上的限制，凡是依据本技术的技术实质上对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化，均落入本技术的保护范围之内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.冷等离子真空反应室真空腔用放气阀，其特征在于，包括放气阀本体，放气阀本体的阀体内设有活塞杆，活塞杆的端部的密封盘底面上设有密封圈；所述阀体底面上设有通孔，通孔外侧的阀体上设有与密封圈配合使用的密封槽；所述密封圈上方的活塞杆上套设有复位弹簧，阀体侧面设有外接管。2.根据权利要求1所述的冷等离子真空反应室真空腔用放气阀，其特征在于，所述密封圈底面上设有第一凹槽，第一凹槽内均布有若干第一密封凸条。3.根据权利要求2所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱劼，吴军，吴萍，
申请(专利权)人：常州汉劼生物科技有限公司，
类型：新型
国别省市：