一种基于热效应的微型气体传感器制造技术

本实用新型专利技术公开了一种基于热效应的微型气体传感器，包括由第一PCB、第二PCB和支撑体构成的腔体，所述腔体内位于第一PCB上设置红外探测器，所述腔体内位于第二PCB上设置微加热器，所述红外探测器与微加热器相对设置，且分别电连接到第一PCB和第二PCB上；所述微加热器上方设置气体敏感膜；所述支撑体上开设有进气口和出气口。本实用新型专利技术所公开的微型气体传感器具有体积小、成本低、制备简单、容易批量生产等优势，在气体敏感膜吸附气体分子并发生反应后，可通过红外探测器检测气体敏感膜表面的温度变化，实现更快的响应速度。实现更快的响应速度。实现更快的响应速度。

【技术实现步骤摘要】
一种基于热效应的微型气体传感器


[0001]本技术涉及气体检测
，特别涉及一种基于热效应的微型气体传感器。

技术介绍

[0002]有毒、有害、易燃易爆气体严重影响着人们的健康生活和安全生产，因此，对气体的快速、准确检测有着极其重要的意义。目前，气体传感器已广泛应用于国民生产和日常生活的方方面面，大到工业生产中的有毒气体、易燃易爆气体的检测，小到家居环境中的有害气体的监测和预警等，都展现出气体传感器的独特优势和广阔前景。
[0003]传统的气体检测设备，如基于质谱、能谱和色谱的气体检测仪，体积较大且价格较高，相比之下，采用MEMS技术制造的气体传感器，尤其是采用金属氧化物气敏材料的半导体气体传感器，以其体积小、功耗低、灵敏度高、稳定性好、可批量生产等优点，成为国内外气体传感器领域的研究热点。金属氧化物半导体气体传感器的工作原理是：利用金属氧化物制作气体敏感膜，在一定的温度下，气体分子在膜表面与金属氧化物反应使其电阻率发生变化，并通过叉指电极探测到这种变化，从而实现对气体浓度及成分的检测。由于气体分子与金属氧化物反应需要较高的温度，需本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于热效应的微型气体传感器，其特征在于，包括由第一PCB、第二PCB和支撑体构成的腔体，所述腔体内位于第一PCB上设置红外探测器，所述腔体内位于第二PCB上设置微加热器，所述红外探测器与微加热器相对设置，且分别电连接到第一PCB和第二PCB上；所述微加热器上方设置气体敏感膜；所述支撑体上开设有进气口和出气口。2.根据权利要求1所述的一种基于热效应的微型气体传感器，其特征在于，所述红外探测器采用MEMS工艺制作而成，其结构包括：衬底一，设有沿上下向贯通的隔热腔体一；支撑层一，形成于衬底一的上表面；热电堆单元，形成于支撑层上，且局部位于隔热腔体的上方，从下至上依次包括第一热偶层、第一绝缘层和第二热偶层，且第一热偶层、第二热偶层通过第一绝缘层中的通孔一连接，以形成热...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡国庆，田伟，
申请(专利权)人：青岛芯笙微纳电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：