一种氢氮双通道配气系统技术方案

本发明专利技术公开了一种氢氮双通道配气系统，包括混配机构、第一进气机构、第二进气机构和出气机构，混配机构由混配罐组成，混配罐内腔的中部固定连接有隔板，第一进气机构由第一氢气进气组件和第二氢气进气组件组成，第二进气机构由第一氮气进气组件和第二氮气进气组件组成，出气机构由第一混合出气组件和第二混合出气组件组成。本发明专利技术利用混配机构、第一进气机构、第二进气机构和出气机构的设置，可单次在混合机构内同时制备两种比例不同的氢氮混合气，从而有效的提高了氢氮混合气的制备效率。从而有效的提高了氢氮混合气的制备效率。从而有效的提高了氢氮混合气的制备效率。

【技术实现步骤摘要】
一种氢氮双通道配气系统


[0001]本专利技术涉及氢氮配气领域，特别涉及一种氢氮双通道配气系统。

技术介绍

[0002]为了减少高纯度气体的使用成本，会使用混合气去代替高纯度气体，氢氮混合气便是常见的一种代替混合气，氢氮混合气不仅可在生产电子器件时取代氧气用作保护器，还可广泛应用于冶金、化工、机械等行业，但是现在的氢氮混合气制备设备单次只能制备一种单一比列的氢氮混合气，降低了氢氮混合气的制备效率，为此，我们提出一种氢氮双通道配气系统。

技术实现思路

[0003]本专利技术的目的在于提供一种氢氮双通道配气系统，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0004]为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种氢氮双通道配气系统，包括：
[0005]混配机构，所述混配机构由混配罐组成，所述混配罐内腔的中部固定连接有隔板；
[0006]第一进气机构，所述第一进气机构由第一氢气进气组件和第二氢气进气组件组成，所述第一氢气进气组件和第二氢气进气组件与混配罐之间均设置有第一连接机构；
[0007]第二进气机构，所述本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种氢氮双通道配气系统，其特征在于，包括：混配机构，所述混配机构由混配罐(35)组成，所述混配罐(35)内腔的中部固定连接有隔板(36)；第一进气机构，所述第一进气机构由第一氢气进气组件和第二氢气进气组件组成，所述第一氢气进气组件和第二氢气进气组件与混配罐(35)之间均设置有第一连接机构；第二进气机构，所述第二进气机构由第一氮气进气组件和第二氮气进气组件组成，所述第一氮气进气组件和第二氮气进气组件与混配罐(35)之间均设置有第二连接机构；出气机构，所述出气机构由第一混合出气组件和第二混合出气组件组成，所述第一混合出气组件和第二混合出气组件与混配罐(35)之间均设置有第三连接机构。2.根据权利要求1所述的一种氢氮双通道配气系统，其特征在于，所述第一氢气进气组件包括第一氢气进气管道(29)，所述第一氢气进气管道(29)依次设有第一不锈钢截止阀(1)、第一电磁阀(7)、第一减压阀(9)、第一Y型过滤器(13)和第一质量流量控制器(15)。3.根据权利要求1所述的一种氢氮双通道配气系统，其特征在于，所述第二氢气进气组件包括第二氢气进气管道(30)，所述第二氢气进气管道(30)依次设有第四不锈钢截止阀(4)、第二电磁阀(8)、第三减压阀(11)、第二Y型过滤器(14)和第二质量流量控制器(16)。4.根据权利要求1所述的一种氢氮双通道配气系统，其特征在于，所述第一氮气进气组件包括第一氮气进气管道(31)，所述第一氮气进气管道(31)依次设有第二不锈钢截止阀(2)和第二减压阀(10)，所述第二减压阀(10)连接有第一压力开关(27)。5.根据权利要求1所述的一种氢氮双通道配气系统，其特征在于，所述第二氮气进气组件包括第二氮气进气管道(32)，所述第二氮气进气管道(32)依次设有第五不锈...

【专利技术属性】
技术研发人员：崔文朋，林宏洪，朱泽喜，
申请(专利权)人：江苏轻跃气体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：