固态成像装置制造方法及图纸

本公开实施例提供一种固态成像装置，其具有一第一区域及围绕第一区域的一第二区域。固态成像装置包含一基板，基板具有多个光电转换元件。固态成像装置也包含一彩色滤光片层，彩色滤光片层设置于基板之上。彩色滤光片层包含多个彩色滤光片区段，彩色滤光片区段对应于光电转换元件。固态成像装置还包含一光波导层，光波导层设置于彩色滤光片层上方。光波导层包含一波导分隔网格、在波导分隔网格的空隙中的一波导材料及在波导分隔网格与波导材料上的一抗反射膜。波导分隔网格的顶部的宽度大于波导分隔网格的底部的宽度。导分隔网格的底部的宽度。导分隔网格的底部的宽度。

【技术实现步骤摘要】
固态成像装置


[0001]本公开实施例是涉及一种成像装置，尤其涉及一种包含波导分隔网格的固态成像装置，波导分隔网格具有可变的宽度。

技术介绍

[0002]固态成像装置，例如电荷耦合元件(charge-coupled device,CCD)成像装置、互补式金属氧化物半导体(complementary metal-oxide semiconductor,CMOS)成像装置等已经广泛使用于各种图像拍摄设备，例如数字静止图像相机、数字摄影机和类似的设备。在这些固态成像装置中，光感测部分形成在多个像素中的每个像素处，并可根据在光感测部分中所接收的光量产生信号电荷。此外，可以传送和放大在光感测部分中产生的信号电荷，进而获得一图像信号。
[0003]近年来，为了增加像素数量以提供高解析度图像，固态成像装置特别是互补式金属氧化物半导体(CMOS)成像装置的趋势是减小像素尺寸。然而，当像素尺寸持续减小的同时，在固态成像装置的设计和制造上仍存在各种挑战。

技术实现思路

[0004]本公开实施例的目的在于提供一种固态成像装置，以解决上述至少一本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种固态成像装置，具有一第一区域及围绕该第一区域的一第二区域，该固态成像装置包括：一基板，具有多个光电转换元件；一彩色滤光片层，设置于该基板之上并包括多个彩色滤光片区段，多个所述彩色滤光片区段对应于多个所述光电转换元件；以及一光波导层，设置于该彩色滤光片层上方并包括一波导分隔网格、在该波导分隔网格的空隙中的一波导材料及在该波导分隔网格与该波导材料上的一抗反射膜，其中该波导分隔网格的顶部的宽度大于该波导分隔网格的底部的宽度。2.如权利要求1所述的固态成像装置，其中该波导分隔网格在该第一区域中具有一第一波导部分，在该第二区域中具有对应于该第一波导部分的一第二波导部分，该第二波导部分的顶部的一第二波导宽度大于该第一波导部分的顶部的一第一波导宽度，且该第二波导宽度与该第一波导宽度的比例为1.05至1.3。3.如权利要求2所述的固态成像装置，其中多个所述彩色滤光片区段包括多个红色滤光片区段及多个绿色滤光片区段和/或蓝色滤光片区段，该第一波导部分和该第二波导部分包围对应于多个所述红色滤光片区段的空间，且在该第二区域中，对应于多个所述红色滤光片区段中的每个的波导材料的顶表面小于对应于多个所述绿色滤光片区段和/或蓝色滤光片区段中的每个的波导材料的顶表面。4.如权利要求1所述的固态成像装置，其中多个所述光电转换元件排列于多个正规像素与多个相位检测自动对焦像素中，多个所述相位检测自动对焦像素被多个所述正规像素所围绕，多个所述相位检测自动对焦像素中的每个对应于多个所述光电转换元件中的至少两个，且多个所述正规像素中的每个对应于多个所述光电转换元件中的一个。5.如权利要求4所述的固态成像装置，其中该彩色滤光片层还包括设置于多个所述彩色滤光片区段之间的一金属网格，该金属网格在该第一区域中具有一第一金属部分，在该第二区域中具有对应于该第一金属部分的一第二金属部分，该第二金属部分的一第二金属宽度大于该第一金属部分的一第一金属宽度，且该第二金属宽度与该第一金属宽度的比例为1.2至1.75。6.如权利要求5所述的固态成像装置，其中该第一金属部分和该第二金属部分对应于多个所述相位检测自动对焦像素中的一个与围绕该相位检测自动对焦像素的多个所述正规像素之间的空间，且多个所述彩色滤光片区段覆盖多个所述正规像素中的该第二金属部分的一部分。7.如权利要求5所述的固态成像装置，其中该第一金属部分和该第二金属部分对应于多个所述相位检测自动对焦...

【专利技术属性】
技术研发人员：林绮涵，
申请(专利权)人：采钰科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：