一种用于测定炮筒式长晶炉磁场强度的测量装置制造方法及图纸

本申请属于半导体设备制造技术领域，具体涉及一种用于测定炮筒式长晶炉磁场强度的测量装置。该装置包括：测量探棒、坐标定位板和定位环；测量探棒为一中空的管体；管体的管壁上均匀间隔布设有定位孔；坐标定位板为一设有开设有定位框的长条形基板，定位框周边布设有由具有一定弹性的缓冲材料制备而成的定位凹槽，定位凹槽大小与测量探棒的直径相适应；定位环套设于测量探棒外壁，且可沿测量探棒外壁上下活动。本申请所提供的测量装置，结构设计巧妙，通过对长晶炉炉体位置进行较为准确的划分和定位，可对炉体不同位置的磁场强度进行跟踪监测，而通过相同位置的磁场强度衰减变化监测，进而可为晶棒生长环境的调节、控制奠定基础。控制奠定基础。控制奠定基础。

【技术实现步骤摘要】
一种用于测定炮筒式长晶炉磁场强度的测量装置


[0001]本申请属于半导体设备制造
，具体涉及一种用于测定炮筒式长晶炉磁场强度的测量装置。

技术介绍

[0002]芯片制造中，晶圆（晶片）是所有芯片制造材料基础。实际生产中，晶圆需要首先在长晶炉内生长成晶柱（晶棒），随后再被分切加工制备成晶圆。
[0003]现有技术中，常用的晶棒制备设施之一为炮筒式长晶炉。实际生产中，晶体围绕晶核在炮筒式长晶炉逐渐生长成晶棒，晶棒生长过程中，为确保产品良率，需要对炮筒式长晶炉内各种环境条件进行准确检测和控制，以确保生长条件的一致性和稳定性。其中，对于炮筒式长晶炉磁场强度的检测即是一个重要的检测指标。
[0004]实际生产中，随着晶棒生长过程变化、生长环境变化，炮筒式长晶炉炉体不同部位的磁场强度也会发生明显变化，并且呈现一定的随时间推移衰减现象。因此，实际生产中（维修保养时）需要炉体周围的磁场强度进行测量，以确保晶棒生长环境的稳定和一致。但受限于炉体结构设计以及实际产磁环境，实际测量中，往往无法准确测定和反应炉体不同位置的磁场情况，进而为晶棒生长本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于测定炮筒式长晶炉磁场强度的测量装置，其特征在于，该装置包括：测量探棒、坐标定位板和定位环；所述测量探棒，为一中空的管体，中空管体的腔体内部用于容纳伸入的磁场强度测量探头；管体的管壁上均匀间隔布设有定位孔；同时，管体的至少一端开口、或者近端头处开设开孔，以便伸入或者取出磁场强度测量探头；所述坐标定位板，为一设有开设有定位框的长条形基板，定位框周边布设有由具有一定弹性的缓冲材料制备而成的定位凹槽，定位凹槽大小与测量探棒的直径相适应；所述定位环，套设于测量探棒外壁，且可沿测量探棒外壁上下活动；同时定位环外壁开设有通孔，配合配套销钉或者螺栓通过...

【专利技术属性】
技术研发人员：万军召，杨涛，张超立，陈志刚，钟佑生，王俊仁，
申请(专利权)人：郑州合晶硅材料有限公司，
类型：新型
国别省市：