分离式远端电浆源设备制造技术

本发明专利技术是一种分离式远端电浆源设备，包含二个独立的电浆源产生装置与射频电源供应装置，该射频电源供应装置不必再装设于该半导体制程设备上，有效减少设置于半导体制程设备上所占的空间；再者，由于该电浆源产生装置的体积及重量的减少，也相对减少检修人员拆装该电浆源产生装置的工时，有助于安装及后续检修作业。业。业。

【技术实现步骤摘要】
分离式远端电浆源设备


[0001]本专利技术关于一种远端电浆源设备，尤指一种分离式远端电浆源设备。

技术介绍

[0002]半导体设备厂的半导体制程设备，例如PECVD电浆处理设备，在制程结束后需要加以清洁腔体，为了加强半导体制程设备的腔体清洗效率，会额外装设一远端电浆源设备。
[0003]如图4所示，该远端电浆源设备70是在半导体制程设备50外提供清洁其反应腔室51的电浆源，加速反应腔室的清洁效果。一般来说，该远端电浆源设备70会装设在半导体制程设备50的上方，方便输出清洁用电浆源至该些反应腔室51；然而，依据实际维修经验，该远端电浆源设备70经常维修部分是电浆源设备内的匹配网络用元件，因为远端电浆源设备体积大且重量重，当检修人员于更换匹配网络用元件时，须费力拆装该远端电浆源设备，造成检修成本及费时费工，故而有必要进一步改良之。

技术实现思路

[0004]有鉴于上述既有整机式远端电浆源设备的缺点，本专利技术主要专利技术目的是提供一种分离式远端电浆源设备。
[0005]欲达上述目的所使用的主要技术手段是令该分离式远本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种分离式远端电浆源设备，其特征在于，包括：一电浆源产生装置，包含：一第一外壳，包含有一射频电源输入端、一第一交流电源输入端、一进气口及一电浆释放口；一电浆室，设置在该第一外壳内，并与该进气口及该电浆释放口连通；以及一匹配网络，设置在该第一外壳内，与该射频电源输入端及该第一交流电源输入端电性连接，并与该电浆室耦接；一射频电源供应装置，包含有：一第二外壳，包含有一射频电源输出端；以及一射频电源电路，设置于该第二外壳内，并电性连接至该射频电源输出端；以及一射频电源线，电性连接至该电浆源产生装置的射频电源输入端及该射频电源供应装置的射频电源输出端。2.如权利要求1所述的分离式远端电浆源设备，其特征在于，该匹配网络的第一交流电源输入端连接至一交流电源。3.如权利要求1或2所述的分离式远端电浆源设备，其特征在于，该第二外壳包含有一第二交流电源输入端，以电性连接至该交流电源；该射频电源电路电性连接至该第二交流电源输入端。4.如权利要求3所述的分离式远端电浆源设备，其特征在于...

【专利技术属性】
技术研发人员：洪再和，
申请(专利权)人：洪再和，
类型：发明
国别省市：