一种OLED清洗水的过滤设备及过滤方法技术

本发明专利技术属于水处理技术领域，公开了一种OLED清洗水的过滤设备及过滤方法，该OLED清洗水的过滤设备包括废液收集罐、微滤膜循环装置、纳滤膜循环装置和回用装置，废液收集罐用于收集未处理的OLED清洗水；微滤膜循环装置用于对废液收集罐内的OLED清洗水进行一次过滤；纳滤膜循环装置用于对一次过滤后的OLED清洗水进行二次过滤；回用装置用于收集二次过滤后的OLED清洗水；该OLED清洗水的过滤设备能够过滤掉OLED清洗水中的纳米颗粒，从而提升OLED清洗水的洁净程度，进而避免OLED清洗水导致产品不良率的现象出现，提升了清洗作业的良品率。提升了清洗作业的良品率。提升了清洗作业的良品率。

【技术实现步骤摘要】
一种OLED清洗水的过滤设备及过滤方法


[0001]本专利技术涉及水处理
，尤其涉及一种OLED清洗水的过滤设备及过滤方法。

技术介绍

[0002]OLED前端制程中，针对TFT玻璃基板的清洗通常采用刷洗、高压喷淋清洗、二流体清洗、超声波清洗等方法，可以将玻璃基板表面的玻璃粉、研磨粉等杂质清洗干净，满足下一道工序需求。随着加工工艺的越来越精细化，对清洗的要求也越来越高，特别是对清洗后基板表面的微颗粒残留要求越来越严格，同时对清洗水中的微颗粒要求也越来越严格。
[0003]现阶段，为了节省纯水的使用量，清洗水主要以水箱滤芯过滤循环进入前一道工序为主，通过滤芯过滤去除较大颗粒物，但是随着循环的次数增加，清洗水中的纳米颗粒会越来越多，从而导致清洗基板的不良。随着面板清洗要求的越来越高，对微米颗粒、甚至纳米颗粒的残留要求也越来越高，所以现有的膜过滤已经无法满足需求。由于清洗液中含有不同尺度的颗粒物，传统的方法主要是选择不同尺寸的膜来进行过滤，针对尺寸越小的颗粒物，截留能力很差。

技术实现思路

[0004]根据本专利技术的一本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种OLED清洗水的过滤设备，其特征在于，包括：废液收集罐，用于收集未处理的OLED清洗水；微滤膜循环装置，用于对所述废液收集罐内的OLED清洗水进行一次过滤；纳滤膜循环装置，用于对一次过滤后的OLED清洗水进行二次过滤；回用装置，用于收集二次过滤后的OLED清洗水。2.根据权利要求1所述的OLED清洗水的过滤设备，其特征在于，所述纳滤膜循环装置包括纳滤膜结构，所述纳滤膜结构包括：纳滤膜组件(1)，用于过滤OLED清洗水中的纳米颗粒。3.根据权利要求2所述的OLED清洗水的过滤设备，其特征在于，所述膜组件还包括：中空管(2)，所述中空管(2)的一端与所述回用装置相连通，所述中空管(2)的另一端被封闭，所述纳滤膜组件(1)套设于所述中空管(2)上；导流管(3)，绕设于所述纳滤膜组件(1)；一次过滤后的OLED清洗水能够从所述导流管(3)的底部的进水口进入，再从所述导流管(3)的顶部的出水口流出，所述导流管(3)上设置有多个第一孔，所述导流管(3)内的OLED清洗水能够从多个所述第一孔经所述纳滤膜组件(1)流入所述中空管(2)。4.根据权利要求3所述的OLED清洗水的过滤设备，其特征在于，所述导流管(3)呈螺旋状，且所述导流管(3)的螺旋方向与所述导流管(3)内的OLED清洗水的流动方向相反。5.根据权利要求4所述的OLED清洗水的过滤设备，其特征在于，所述导流管(3)上设置还有多个第二孔，所述导流管(3)内的纳米颗粒因离心力向远离所述中空管(2)的方向移动，...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡磊，魏攀龙，施利君，蒋新，
申请(专利权)人：苏州晶洲装备科技有限公司，
类型：发明
国别省市：