一种晶片夹具制造技术

本实用新型专利技术提供了一种晶片夹具，应用于线切割设备上；夹具包括与所述切割设备相连的主基板；连接在主基板上的后基板；成对设置在主基板的底部上的垫块；其中，主基板底部设有一凹槽；后基板连接在主基板后部，垫块配合设在所述凹槽两侧并与后基板垂直，形成一用于盛放料板的盛料结构；凹槽的槽底靠近凹槽的侧壁处设有用于安装压条的安装槽；安装槽正对垫块的突出部设置；通过采用主基板、后基板和垫块配合形成的盛料结构来盛放料板，实现料板在水平和竖直两个平面上的位置，保证了各个方向上料板的切割精度，通过上述配合保证料板在切割时在三个维度内均可以得到精准的定位，提高切割的精确度，使得切割成型后的晶片质量更好。使得切割成型后的晶片质量更好。使得切割成型后的晶片质量更好。

【技术实现步骤摘要】
一种晶片夹具


[0001]本技术涉及夹具领域，特别涉及一种夹具。

技术介绍

[0002]在晶片的加工生产过程中，由于晶片本身易碎，易磨损的特点，往往需要采用夹具夹持晶片实现加工，保证晶片的质量；晶片一般运用于一些高精度高技术的行业，因此对晶片的加工也提出了很高的要求，从而对于用来加工晶片的夹具也进一步得到发展，从各个方向精确的对原料进行加工，以确保晶片的精度。
[0003]根据公开号为CN101973086B的中国专利技术文献公开了一种切割硅片用夹具，包括安装在工作台上的固定架、设置在所述固定架上的夹紧装置，所述夹紧装置包括固定块、夹紧块、第一夹紧构件、第二夹紧构件，夹紧块可活动的设置在所述固定块内，第一夹紧构件一端纵向穿过固定块一端，并与固定块螺纹连接成一体；第二夹紧构件一端的凸缘与所述夹紧块一端的凹槽相配合，且凸缘外周面与凹槽的内周面间隙配合。
[0004]随着现代技术的发展，采用线切割机床来加工晶片越来越常见，为保证料板切割的精确，往往采用夹具进行辅助切割，上述夹具在使用过程中直接夹持硅晶片外表面，往往容易对晶片表面造成磨损，并且在实际的加工过程中，晶片需要加工成不同的形状，需要调整夹具的位置以保证料板可以被精切的切割，并且由于料板本身脆，易受损的特点，采用夹具拉夹紧料板的时候，容易造成料板的表面磨损，因此，设计一种夹具非常有必要。

技术实现思路

[0005]针对上述现有技术中夹具在夹紧料板时容易出现的对料板表面造成损坏的问题，本技术的目的是通过设置一种夹具，通过采用三维定位的方式实现对料板的精准定位，在装夹料板时，采用了压条，保证了料板的受力稳定，避免了在装夹以及切割料板的过程中料板出现磨损、破碎的现象。
[0006]为了达到上述目的，本技术提供了以下技术方案：
[0007]一种晶片夹具，应用于线切割设备上；所述夹具包括主基板，所述主基板与所述切割设备相连；后基板，所述后基板连接在所述主基板上；垫块，所述垫块成对设置在所述主基板的底部上；其中，所述主基板底部设有一凹槽；所述后基板连接在所述主基板后部，所述垫块配合设在所述凹槽两侧并与所述后基板垂直，形成一用于盛放料板的盛料结构；所述凹槽的槽底靠近所述凹槽的侧壁处设有用于安装压条的安装槽；所述安装槽正对所述垫块的突出部设置；通过采用主基板、后基板和垫块配合形成的盛料结构来盛放料板，实现料板在水平和竖直两个平面上的位置，保证了各个方向上料板的切割精度，通过上述配合保证料板在切割时在三个维度内均可以得到精准的定位，提高切割的精确度，使得切割成型后的晶片质量更好。
[0008]进一步地，所述突出部设置在所述垫块向所述凹槽内部延伸处；设置突出部的目的是通过紧固垫块时，突出部与凹槽底部间距缩短从而将料板夹紧，保证料板在夹具中的
稳定性。
[0009]进一步地，所述料板的两侧设有向外延伸的延伸部；所述延伸部嵌设在所述突出部与所述凹槽底部形成间隙中；设置延伸部是配合垫块的突出部，使得料板在夹具中的稳定性更好，不容易出现滑动的现象。
[0010]进一步地，所述压条插接在所述安装槽内，其一侧抵接所述安装槽的槽底，另一侧抵接所述延伸部的上表面；通过设置压条，防止垫块在紧紧固的过程中对料板的表面造成损伤，避免损坏料板表面。
[0011]进一步地，所述盛料结构内设有复数块呈间隔设置的料板；通过在盛料结构中设置多块料板，节省装料时间，更加方便。
[0012]优选的，所述后基板紧贴所述料板的一侧上设有成对设置的凸起；避免料板接触后基板对料板表面造成损伤。
[0013]优选的，每一个所述料板远离所述后基板的一侧设有成对设置的凸起；保证了相邻料板之间具有固定的间隙，从而保证切割的精确性。
[0014]上述技术方案带来的技术效果：
[0015]1、通过主基板、后基板以及垫块配合形成一盛放料板的盛料结构，保证了料板在切割时的水平和竖直方向上切割位置的精确度，以便于切割出高质量的晶片，同时在盛料结构中可以一次安装多块料板，提高了生产效能，减少拆装夹具的次数，减轻操作人员压力，提高生产效率。
[0016]2、由于晶片自身的特点，在凹槽内设置了用来安装压条的安装槽，其正对垫块的突出部，在紧固垫块的过程中，防止由于料板与基板接触，造成料板表面磨损。
[0017]3、在盛料结构中一次装设多块料板，并且在相邻两块料板中的其中一块料板的侧面上设置了成对的凸起，保证了相邻料板之间具有固定的间隙，从而保证切割的精确程度，更加高效。
【附图说明】
[0018]图1为本技术中的整体结构示意图，其中夹具内设有复数个料板；
[0019]图2为本技术中夹具的整体示意图；
[0020]图3为本技术中夹具的仰视图，其中夹具内装夹了料板；
[0021]图4为本技术中夹具的侧视图；
[0022]图5为本技术中料板的示意图；
[0023]其中，1、主基板；2、后基板；3、垫块；11、凹槽；4、料板；12、安装槽；5、压条；31、突出部；41、延伸部；42、凸起。
【具体实施方式】
[0024]为使本技术的目的、技术方案和优点更加清楚明了，下面通过附图及实施例，对本技术进行进一步详细说明。但是应该理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术，并不用于限制本技术的范围。此外，在以下说明中，省略了对公知结构和技术的描述，以避免不必要地混淆本技术的概念。
[0025]在本技术的描述中，需要说明的是，对于方位词，如术语“上”、“下”、“左”、
“
右”、“轴向”、“径向”、“竖直”等指示方位和位置关系为基于附图所示的方位和位置关系，仅是为了便于叙述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定方位构造和操作，不能理解为限制本技术的具体保护范围。
[0026]此外，如有术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或隐含指明技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”特征可以明示或者隐含包括一个或者多个该特征，在本技术描述中，“数个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
[0027]在技术中，除另有明确规定和限定，如有术语“组装”、“相连”、“连接”术语，就作广义去理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体连接；也可以是机械连接；可以是直接相连，也可以是通过中间媒介相连，可以是两个元件内部相连通。对于本领域普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述的术语在本技术中的具体含义。
[0028]在晶片加工之前，往往要先将料板4切割成精确的晶片，在实际的切割过程中，往往采用线切割机床的方式，通过将料板4夹持在机床的夹具上，进而进行切割，但是由于切割的晶片往往具有不同的形状或者大小，因此，采用线切割机床上通用的夹具往往无法实现晶片的精确切割，容易出现次品，因此，根据晶片本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种夹具，应用于线切割设备上；其特征在于，所述夹具包括主基板，所述主基板与所述切割设备相连；后基板，所述后基板连接在所述主基板上；垫块，所述垫块成对设置在所述主基板的底部上；其中，所述主基板底部设有一凹槽；所述后基板连接在所述主基板后部，所述垫块配合设在所述凹槽两侧并与所述后基板垂直，形成一用于盛放料板的盛料结构；所述凹槽的槽底靠近所述凹槽的侧壁处设有用于安装压条的安装槽；所述安装槽正对所述垫块的突出部设置。2.根据权利要求1所述的夹具，其特征在于，所述突出部设置在所述垫块向所述凹槽内部延伸处。3.根据权利要求1或2所述的夹具，其特征在于，所述料板的两侧设有向外延伸的延伸部；所述延伸部嵌设在所述突出部与所述凹槽底部形成间隙中。4.根据权利要求3所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：王登锋，陈时兴，
申请(专利权)人：嘉兴海盛电子有限公司，
类型：新型
国别省市：