【技术实现步骤摘要】
本技术涉及超分辨技术,特别是在横向突破衍射极限的衍射光学技 术。它能有效的减小透镜焦点处光斑尺寸,从而提髙母盘存储密度。
技术介绍
随着信息存储和信息传输量要求的日益增加,尤其是髙清时代的来临,提 高单张光盘的存储密度成为迫切需求。对于盘片而言,缩小道间距及减小信息 坑可以提高存储密度。根据瑞利衍射理论,聚焦在焦点处的光斑尺寸为D = 可以看出光斑的大小D受波长入及透镜的数值孔径NA的影响,入越小,NA越大则光斑会越小。但是受光源的限制入的减小有限,而采用物镜的 NA增大会带来许多设计工艺及制作上的困难。光学超分辨技术是一种通过调整横向振幅分布减小聚焦光斑尺寸的方法, 它可以在不改变入和NA的前提下,克服衍射极限,减小聚焦光斑尺寸,本实 用新型将超分辨技术应用于母盘刻录系统中,在平行光路中加入光瞳滤波器, 改变光线横向振幅分布,使聚焦光斑减小,提髙存储密度。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种超分辨母盘刻录装置,将光瞳滤波器放在母 盘刻录系统中的准直光路,利用光瞳滤波器改变准直光的振幅分布,利用光学 变迹效应(apodization)在物镜的后焦面获得更小的成像光 ...
【技术保护点】
一种超分辨母盘刻录装置,依次包括离子激光器、电光调制器EOM、透镜(1)、声光调制器AOM、透镜(2)、透镜(3)和聚焦物镜(4),透镜(1)和透镜(2)共焦,其特征在于:在透镜(1)和透镜(2)构成的共焦透镜组与其后透镜(3)之间的这段平行光路中加入振幅型光瞳滤波器(10),该振幅型光瞳滤波器与系统共轴。
【技术特征摘要】
1、一种超分辨母盘刻录装置,依次包括离子激光器、电光调制器EOM、透镜1、声光调制器AOM、透镜2、透镜3和聚焦物镜4,透镜1和透镜2共焦,其特征在于在透镜1和透镜2构成的共焦透镜组与其后透镜3之间的这段平行光路中加入振幅型光瞳滤波器10,该振幅型光瞳滤波器与系统共轴。2、 如权利要求1所述的超分辨母盘...
【专利技术属性】
技术研发人员:王莎莎,阮昊,
申请(专利权)人:武汉光谷高清科技发展有限公司,
类型:实用新型
国别省市:83[中国|武汉]
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