一种脱除光刻胶剥离液中非游离态树脂的系统技术方案

本实用新型专利技术提供一种脱除光刻胶剥离液中非游离态树脂的系统。所述系统包括过滤装置，所述过滤装置包括至少一个过滤器，用于过滤待处理的废剥离液中的非游离态树脂，所述过滤器中从上至下设置有一级滤芯和二级滤芯，所述二级滤芯中设有电加热单元，所述电加热单元为可通电发热的电阻丝，用于对流经所述二级滤芯的所述废剥离液加热，使所述废剥离液中的非游离态树脂析出在所述二级滤芯上。所述系统能够实现在线连续运行，工艺参数可控、装置稳定性高，低成本、易操作，且脱除后的剥离液中杂质含量显著降低，有利于后续剥离液精馏再生提纯工序的正常运行。的正常运行。的正常运行。

【技术实现步骤摘要】
一种脱除光刻胶剥离液中非游离态树脂的系统


[0001]本技术涉及光刻胶剥离液回收再生领域，尤其涉及用于光刻胶剥离回收再生的前处理工序中的一种脱除光刻胶剥离液中非游离态树脂的系统。

技术介绍

[0002]半导体集成电路和显示器等工艺制造过程中，光刻胶(photo
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resist)是光刻工艺中必不可少的物质，光刻工艺是为了制作如集成电路或者平板显示器件中的TFT控制电路而一般使用的工艺之一。在结束光刻工艺后，光刻胶在高温下由剥离液从器件上所去除。去除光刻胶的剥离液，是集成电路工艺中必须的化学品。工业上使用的剥离液主要是有机胺、有机溶剂的混合物，并含有少量以水以及微量的添加剂。在去除光刻胶的过程，主要是使用大量剥离液将剩余光刻胶充分溶解并带走，因此废剥离液中含有溶解或者非游离态的光刻胶成分，包括光刻胶中的酚醛树脂碎片，感光树脂等。剩余大部分都是有再利用价值的可回用组分。
[0003]为了回收剥离液中的有价值组分，会通过回收系统进行，废剥离液回收系统或者溶剂再生系统是利用剥离液中化学品沸点的不同，对废剥离液进行蒸发分馏实现精制再生，经调整复配后再回用于光刻胶剥离过程。在剥离液回收系统中，为了保证蒸发分馏系统可以正常运行，重要的一个步骤是除去剥离液中光刻胶的残余未溶解成分，以避免精馏过程中含有残余光刻胶的剥离液，在塔釜到塔顶温度剧烈变化状态下，树脂发生热变化或者因为突然冷却粘附或者板结在设备管道上，影响系统正常运行。由于这些树脂部分溶解在溶剂中呈非游离态，并且具有热敏的特性，目前所使用的溶剂回收方法大多采用精馏技术，在精馏时需要对含有光刻胶碎片及树脂的废剥离液进行加热，加热后树脂在高温下会析出并粘附在塔釜加热器管壁上，或者在塔顶冷却器突然冷却后，粘附在冷却器管壁上，由于树脂导热系数很低，长期沉积后影响换热器效率，并且粘附后的树脂和换热器管壁结合非常紧密，很难去除，影响装置操作的连续性。如果树脂去除不彻底，在相同的回收溶剂的纯度标准下，则废剥离液有效的溶剂回收率会下降。必须将部分含有高浓度树脂的剥离液作为废液排放，既降低了回收效率，也增加了废液的排放。
[0004]因此，现有的剥离液或者溶剂回收系统中，都会在精馏分离之前或者脱水分馏之后，对剥离液中的光刻胶树脂进分离或处理，以避免精馏时换热器管壁粘附的问题。现有的树脂分离或处理方法包括：光化学反应方法、旋转刮板(刀)蒸发、纳滤膜过滤、大孔吸附树脂吸附等。
[0005]这些不同方法在工程实践中有一定的脱除效果，但存在不足。由于剥离液中的光刻胶浓度过低，光化学反应方法只能使部分溶解的光刻胶发生变化，溶解于溶剂中，仍有残留树脂成分未脱除。旋转刮板设备，使用物理刮擦的方法使粘附在内壁上的树脂固体脱离，由于高温下树脂与容器内壁粘结非常紧密，长时间运行后仍需人工清洗设备内壁，影响操作连续性。纳滤膜过滤和大孔吸附树脂吸附方法可以比较有效的除去废剥离液中的大分子，但由于滤膜及吸附树脂孔洞小，极易被溶解的树脂堵塞，无法继续使用，也不便于再生，
有效使用时间短并且不经济。
[0006]CN103721427A公开了一种抗蚀剂剥离液的再生方法以及再生装置。其中，该再生方法具有：低沸点分离工序，分离水等低沸点物质；高沸点分离工序，将含抗蚀剂的残留液和溶剂等作为分离物取出；残渣浓缩工序，将前述含抗蚀剂的残留液在残渣浓缩器内进一步浓缩，分离前述溶剂等并返回至前述高沸点分离工序；精制工序，从前述高沸点分离工序的分离物气化分离前述水的剩余部分作为废液B，将分离残留液作为剥离再生液取出；洗涤工序，使低沸点分离工序的分离残留液在前述残渣浓缩器内流下。
[0007]CN102951761A公开了一种光刻胶剥离液废液的回收方法，首先采用适量的水在酸性条件下分两个步骤沉淀光刻胶主要成分线性酚醛树脂，得到可再次作为光刻胶使用的线性酚醛树脂；然后利用活性炭吸附脱色并除去金属离子；最后经两步式减压蒸馏，除去水分等低沸物质，回收得到纯的光刻胶剥离液。
[0008]CN1939567A公开了一种溶剂的回收装置，即从抗蚀剂剥离工序所排出的废液中回收溶剂的装置，包括：一树脂成分除去装置，除去包含于上述废液中的树脂成分；一第一蒸馏塔，除去包含于废液中的低沸点杂质；一第二蒸馏塔，除去包含于废液中的高沸点杂质；以及一溶剂储存槽，对上述第一蒸馏塔及上述第二蒸馏塔中的一方或双方补充工业级溶剂。
[0009]然而，目前的脱除抗蚀剂剥离液再生工艺中，对溶解的树脂或固体杂质脱除的前处理工艺仍存在效率低下、杂质脱除不彻底等缺陷。因此，寻求一种低成本、工艺参数可控、装置稳定性高的脱除光刻胶剥离液中杂质的方法和装置，是亟需解决的问题。

技术实现思路

[0010]为了解决上述问题，本技术提供一种脱除光刻胶中非脱离态树脂的系统。所述系统能够实现在线连续运行，工艺参数可控、装置稳定性高，低成本、易操作，且脱除后的剥离液中杂质含量显著降低，有利于后续剥离液精馏再生提纯工序的正常运行。
[0011]本技术提供一种脱除光刻胶废剥离液中非游离态树脂的系统，所述系统包括过滤装置、废剥离液进料装置、废剥离液输入管路和废剥离液输出管路；
[0012]所述过滤装置包括至少一个过滤器，用于过滤待处理的废剥离液中的非游离态树脂，所述过滤器中从上至下设置有一级滤芯和二级滤芯，所述二级滤芯中设有电加热单元，所述电加热单元为可通电发热的电阻丝，用于对流经所述二级滤芯的所述废剥离液进行加热，使所述废剥离液中的非游离态树脂析出在所述二级滤芯上；
[0013]所述废剥离液进料装置，与所述过滤装置相连通，将待处理的所述废剥离液经由所述废剥离液输入管路从所述过滤装置的下方供给至所述过滤装置中，经所述过滤器进行过滤以后的所述废剥离液从所述过滤装置的上方经由所述废剥离液输出管路供给至后续工序。优选地，所述后续工序为精馏塔提纯工序。
[0014]进一步地，所述过滤器中，所述一级滤芯孔径由1000
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1500μm的过滤丝网折叠、堆积成厚度为19至20cm的滤芯，所述二级滤芯由孔径为400至600μm的过滤丝网折叠、堆积成厚度为20至25cm的滤芯。
[0015]进一步地，所述过滤装置包括至少两个并联设置的所述过滤器，所述废剥离液输入管路包括与每个过滤器对应连接的输入支路，所述废剥离液输出管路包括与每个过滤器
对应连接的输出支路，在各个所述输入支路上分别设有进液阀门，在各个所述输出支路上分别设有出液阀门。
[0016]进一步地，所述系统还包括碱液贮存再生装置、碱液输入管路、碱液循环回用管路和切换控制装置；
[0017]所述碱液贮存再生装置，用于将碱液输送至所述过滤装置中，并对所述过滤器进行反洗以溶解脱除析出在所述二级滤芯上的堵塞物，以保证所述系统的连续运行，带有杂质的碱液再经由所述碱液循环回用管路循环回到所述碱液贮存再生装置，经过所述碱液贮存再生装置过滤后，将固体杂质留在所述碱液贮存再生装置中，从所述碱液贮存再生装置输出的再生后的碱液继续回到所述本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种脱除光刻胶剥离液中非游离态树脂的系统，其特征在于，所述系统包括过滤装置(1)、废剥离液进料装置(4)、废剥离液输入管路(L1)和废剥离液输出管路(L2)；所述过滤装置(1)包括至少一个过滤器，用于过滤待处理的废剥离液中的非游离态树脂，所述过滤器中从上至下设置有一级滤芯(1012)和二级滤芯(1013)，所述二级滤芯(1013)中设有电加热单元(1014)，所述电加热单元(1014)为可通电发热的电阻丝，用于对流经所述二级滤芯(1013)的所述废剥离液进行加热，使所述废剥离液中的非游离态树脂析出在所述二级滤芯(1013)上；所述废剥离液进料装置(4)，与所述过滤装置(1)相连通，将待处理的所述废剥离液经由所述废剥离液输入管路(L1)从所述过滤装置(1)的下方供给至所述过滤装置(1)中，经所述过滤器进行过滤以后的所述废剥离液从所述过滤装置(1)的上方经由所述废剥离液输出管路(L2)供给至后续工序。2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述过滤器中，所述一级滤芯(1012)孔径由1000
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1500μm的过滤丝网折叠、堆积成厚度为19至20cm的滤芯，所述二级滤芯(1013)由孔径为400至600μm的过滤丝网折叠、堆积成厚度为20至25cm的滤芯。3.根据权利要求1或2所述的系统，其特征在于，所述过滤装置(1)包括至少两个并联设置的所述过滤器，所述废剥离液输入管路(L1)包括与每个过滤器对应连接的输入支路，所述废剥离液输出管路(L2)包括与每个过滤器对应连接的输出支路，在各个所述输入支路上分别设有进液阀门，在各个所述输出支路上分别设有出液阀门。4.根据权利要求1或2所述的系统，其特征在于，所述系统还包括碱液贮存再生装置(2)、碱液输入管路...

【专利技术属性】
技术研发人员：张昊，李志伟，李勍颖，
申请(专利权)人：世源科技工程有限公司，
类型：新型
国别省市：