一种多工位自动键合检查机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种多工位自动键合检查机，包括承台，承台上设有圆板，圆板上固定安装有方形盒，圆板内开设有转槽，转槽的内壁固定安装有齿牙，承台内固定安装有驱动电机，驱动电机转轴端贯穿转槽的内壁，驱动电机转轴端固定连接有转盘，转盘的表面固定安装有转杆。通过设置有驱动电机、齿牙和转杆，驱动电机将通过转盘带动转杆做圆周运动，转杆将通过齿牙带动圆板进行有规律的转动和停止，利于检查键合产品，提高检测机的自动化效率，通过设置有方形盒，起到将键合产品进行定位夹持的目的，利于键合产品的检测。利于键合产品的检测。利于键合产品的检测。

【技术实现步骤摘要】
一种多工位自动键合检查机


[0001]本技术属于键合检查机
，具体为一种多工位自动键合检查机。

技术介绍

[0002]键合将两片表面清洁、原子级平整的同质或异质半导体材料经表面清洗和活化处理，在一定条件下直接结合。
[0003]目前，现有的键合检查机，在对键合产品进行检查时，自动化程度低，且没有夹持定位装置，导致检测不够精准。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种多工位自动键合检查机，以解决现有键合检查机自动化程度低，没有夹持定位装置的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种多工位自动键合检查机，包括承台，所述承台上设有圆板，通过设置有圆板，便于承接方形盒，所述圆板上固定安装有方形盒，通过设置有方形盒，便于对键合进行夹持定位，所述圆板内开设有转槽，转槽的形状为圆形，所述转槽的内壁固定安装有齿牙，齿牙等距分布于转槽的内壁，所述承台内固定安装有驱动电机，驱动电机的型号为TCB8024 B3，通过设置有驱动电机，起到带动转盘转动的目的，所述驱动电机转轴端贯穿转槽的内壁，所述驱动电本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种多工位自动键合检查机，包括承台(1)，其特征在于：所述承台(1)上设有圆板(7)，所述圆板(7)上固定安装有方形盒(8)，所述圆板(7)内开设有转槽(11)，所述转槽(11)的内壁固定安装有齿牙(6)，所述承台(1)内固定安装有驱动电机(12)，所述驱动电机(12)转轴端贯穿转槽(11)的内壁，所述驱动电机(12)转轴端固定连接有转盘(13)，所述转盘(13)的表面固定安装有转杆(5)。2.根据权利要求1所述的一种多工位自动键合检查机，其特征在于：所述方形盒(8)的个数为八个，所述方形盒(8)的内壁固定安装有弹簧(16)。3.根据权利要求2所述的一种多工位自动键合检查机，其特征在于：所述弹簧(16)的一端固定连接有夹板(15)，所述夹板(15)的表面与方形盒(8)的内壁...

【专利技术属性】
技术研发人员：钟金鹏，
申请(专利权)人：苏州殷迪新科技有限公司，
类型：新型
国别省市：