一种用于碳化硅生产模具的载体结构以及操作台制造技术

技术编号:30733731 阅读:19 留言:0更新日期:2021-11-10 11:37
本实用新型专利技术公开的一种用于碳化硅生产模具的载体结构以及操作台,包括载体本体,所述载体本体内设置有容纳槽,载体本体的一侧设置有与容纳槽相连通的进出口,所述进出口的底部设置有延伸至载体本体外侧的水平探出部,所述容纳槽的底壁为斜面结构,其靠近进出口的一侧较高,远离进出口的一侧较低,所述容纳槽的底壁顶面以及水平探出部的顶面可拆卸的设置有嵌板,嵌板上设置有支撑条。本实用新型专利技术实现了不同规格碳化硅生产模具的独立存放,并且凭借自身的结构,在碳化硅生产模具存放的过程中,无需额外的辅助固定结构,使得整体结构非常简练,且操作方便,实用性强。实用性强。实用性强。

【技术实现步骤摘要】
一种用于碳化硅生产模具的载体结构以及操作台


[0001]本技术涉及碳化硅加工
,尤其涉及一种用于碳化硅生产模具的载体结构以及操作台。

技术介绍

[0002]在碳化硅等半导体生产加工的过程中,需要用到排列模具,排列模具上设置有用于容纳碳化硅的孔,孔以阵列的方式均匀的进行布置,根据需要的不同,排列模具根据孔的大小、孔的间距、孔的深度设置有众多不同的规格,而排列模具在使用完毕之后需要进行存储,现有的存储装置主要为置物架,将排列模具叠放在置物架上,这会导致一些实际问题的出现,如:1、多种不同规格的排列模具叠放在一起,拿取不便;2、当要取出所需的模具的时候,需要将其上方叠放的模具移开,操作起来非常麻烦。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于避免现有技术的不足之处,提供一种用于碳化硅生产模具的载体结构以及操作台,从而有效解决现有技术中存在的不足之处。
[0004]为实现上述目的,本技术采取的技术方案为:一种用于碳化硅生产模具的载体结构,包括载体本体,所述载体本体内设置有容纳槽,载体本体的一侧设置有与容纳槽相连通的进出口,所述进出口的底部设置有延伸至载体本体外侧的水平探出部,所述容纳槽的底壁为斜面结构,其靠近进出口的一侧较高,远离进出口的一侧较低,所述容纳槽的底壁顶面以及水平探出部的顶面可拆卸的设置有嵌板,嵌板上设置有支撑条,所述水平探出部上设置有沉头安装孔;
[0005]所述嵌板包括与容纳槽的底壁贴合设置的内嵌部以及与水平探出部相贴合的外嵌部。
[0006]进一步,所述容纳槽的底壁与水平面的夹角为1
‑3°

[0007]进一步,所述外嵌部的端部设置有折部,折部贴合在水平探出部的端部。
[0008]进一步,所述折部通过螺栓与水平探出部连接。
[0009]进一步,所述载体本体在进出口的两侧设置有导入片。
[0010]进一步,所述导入片位于靠近进出口下侧的位置。
[0011]进一步,所述容纳槽的底部两侧配合内嵌部设置有插槽。
[0012]进一步,所述外嵌部上设置有限位台,限位台抵靠在载体本体上。
[0013]一种操作台,包括上述用于碳化硅生产模具的载体结构。
[0014]本技术的上述技术方案具有以下有益效果:本技术实现了不同规格碳化硅生产模具的独立存放,并且凭借自身的结构,在碳化硅生产模具存放的过程中,无需额外的辅助固定结构,使得整体结构非常简练,且操作方便,实用性强。
附图说明
[0015]图1为本技术实施例用于碳化硅生产模具的载体结构立体图一;
[0016]图2为图1中A处的局部放大图;
[0017]图3为图2中隐藏了嵌板的结构示意图;
[0018]图4为本技术实施例嵌板结构示意图;
[0019]图5为本技术实施例用于碳化硅生产模具的载体结构立体图二;
[0020]图6为图1的剖视图;
[0021]图7为图6中B处的局部放大图;
[0022]图8为本技术实施例用于碳化硅生产模具的载体结构使用状态图;
[0023]图9为图8的分解图;
[0024]图10为本技术实施例操作台结构示意图。
具体实施方式
[0025]下面结合附图和实施例对本技术的实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本技术,但不能用来限制本技术的范围。
[0026]在本技术的描述中,除非另有说明,“多个”的含义是两个或两个以上;术语“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”、“前端”、“后端”、“头部”、“尾部”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本技术和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本技术的限制。在本技术的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0027]如图1

7所示,本实施例所述的一种用于碳化硅生产模具的载体结构,包括载体本体1,载体本体1内设置有容纳槽101,载体本体1 的一侧设置有与容纳槽101相连通的进出口102,进出口102的底部设置有延伸至载体本体1外侧的水平探出部103,容纳槽101的底壁为斜面结构,其靠近进出口102的一侧较高,远离进出口102的一侧较低,这样的话,将碳化硅生产模具放入容纳槽101内之后,无需其他辅助固定结构,即可实现碳化硅生产模具的稳定存储,容纳槽101的底壁顶面以及水平探出部103的顶面可拆卸的设置有嵌板2,嵌板2上设置有支撑条201,水平探出部103上设置有沉头安装孔104,通过沉头安装孔104实现与操作台的连接。
[0028]如图2所述,在本实施例中,支撑条201并列设置有两条,其截面为半圆形,这样在将碳化硅生产模具放入或者取出的时候,可以减小摩擦力,使得操作的时候更加顺畅。
[0029]嵌板2包括与容纳槽101的底壁贴合设置的内嵌部202以及与水平探出部103相贴合的外嵌部203。
[0030]容纳槽101的底壁与水平面的夹角为1
‑3°

[0031]外嵌部203的端部设置有折部204,折部204贴合在水平探出部 103的端部,折部204通过螺栓5与水平探出部103连接。
[0032]载体本体1在进出口102的两侧设置有导入片105。
[0033]导入片105位于靠近进出口102下侧的位置。
[0034]容纳槽101的底部两侧配合内嵌部202设置有插槽106,便于嵌板 2的安装。
[0035]外嵌部203上设置有限位台205,限位台205抵靠在载体本体1 上。
[0036]如图8

9所示,本技术在使用的时候,将碳化硅生产模具3 置于容纳槽101内,使用的时候通过碳化硅生产模具3自带的拉手将其拉出即可,非常方便,且实现了每个碳化硅生产模具3的单独存放,在工作的时候,可以迅速的将所需规格的碳化硅生产模具3取出。
[0037]如图10所示,本实施例所述的一种操作台,包括上述用于碳化硅生产模具的载体结构以及台面4,台面4的底部设置有支撑腿401,台面4的一侧设置有安装部402,安装部402上设置有与载体本体1的外形相适配的安装腔403,载体本体1放入安装腔403内并且通过螺钉与台面4实现连接,台面4的另一侧为操作区域404,其中在安装部402 上,沿着垂直于纸面的方向,间隔均匀的设置有多个安装腔403,每个安装腔403内均安装有一个载体结构,实现多个不同规格的碳化硅生产模具的独立存放。
[0038]本技术的实施例是为了示本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于碳化硅生产模具的载体结构,其特征在于:包括载体本体,所述载体本体内设置有容纳槽,载体本体的一侧设置有与容纳槽相连通的进出口,所述进出口的底部设置有延伸至载体本体外侧的水平探出部,所述容纳槽的底壁为斜面结构,其靠近进出口的一侧较高,远离进出口的一侧较低,所述容纳槽的底壁顶面以及水平探出部的顶面可拆卸的设置有嵌板,嵌板上设置有支撑条,所述水平探出部上设置有沉头安装孔;所述嵌板包括与容纳槽的底壁贴合设置的内嵌部以及与水平探出部相贴合的外嵌部。2.根据权利要求1所述的一种用于碳化硅生产模具的载体结构,其特征在于:所述容纳槽的底壁与水平面的夹角为1
‑3°
。3.根据权利要求1所述的一种用于碳化硅生产模具的载体结构,其特征在于:所述外嵌部的端部设置有折部,折部贴合在...

【专利技术属性】
技术研发人员:卢小东
申请(专利权)人:华芯威半导体科技北京有限责任公司
类型:新型
国别省市:

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