激光二极管条及其制造方法、使用其的波长光束耦合系统技术方案

本公开提供一种激光二极管条及其制造方法、使用其的波长光束耦合系统。用于波长光束耦合系统的激光二极管条具备：氮化物半导体基板，将(0001)面作为面方位，并且具有从(0001)面向m轴或a轴的至少一个轴被赋予了大于0

【技术实现步骤摘要】
激光二极管条及其制造方法、使用其的波长光束耦合系统


[0001]本公开涉及激光二极管条、使用激光二极管条的波长光束耦合系统以及激光二极管条的制造方法。

技术介绍

[0002]作为通过将波长不同的多个光束耦合于一点来获得高功率的激光束的系统，已知有波长光束耦合系统(WBC(Wavelength Beam Combining)系统)。作为WBC系统，例如有专利文献1所记载的系统。
[0003]WBC系统具有激光二极管条(LD(Laser Diode)条)、旋光器单元(BTU(Beam Twister Lens Unit))、衍射光栅以及外部谐振镜等。
[0004]LD条具有多个发射极，从各发射极射出光束。从LD条射出的多个光束通过BTU分别被旋转90度。由此，防止各个光点相互干扰。从BTU出来的光束入射至透射型或反射型的衍射光栅，衍射光栅将入射的光束以由其波长决定的衍射角进行衍射并射出。从衍射光栅射出的光束入射至外部谐振镜。外部谐振镜是部分透射镜，在衍射光栅的方向上对入射的光束的一部分进行垂直反射。由此，由LD条的各个发射极、衍射光本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种激光二极管条，用于波长光束耦合系统，所述激光二极管条具备：氮化物半导体基板，将(0001)面作为面方位，并且具有从(0001)面向m轴或a轴的至少一个轴被赋予了大于0
°
的偏离角的基板面；层叠构造体，形成在所述氮化物半导体基板上，包括第1导电型包层、活性层以及第2导电型包层；和多个发射极，以发射极的波导方向与所述偏离角的主轴方向垂直的方式，呈条带状地形成于所述层叠构造体。2.根据权利要求1所述的激光二极管条，其中，所述偏离角的主轴方向的分布的斜率相对于所述多个发射极的锁定波长的分布的斜率而满足下述式(1)，0＜ΔD≤((Δλ
EC_bar
+3.2)/Lt)/30
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式(1)其中，ΔD表示所述偏离角的主轴方向的分布的斜率，单位为角度/mm，Lt表示所述激光二极管条的长度方向的长度，单位为mm，Δλ
EC_bar
表示所述激光二极管条的长度方向的两端位置的锁定波长差，单位为nm。3.根据权利要求1所述的激光二极管条，其中，所述偏离角的主轴方向的分布的斜率以及所述多个发射极的锁定波长的分布满足下述式(2)以及式(3)，0≤((Δλ
EC_bar
‑
1.2)/Lt)/30
ꢀꢀꢀꢀ
式(2)((Δλ
EC_bar
‑
1)/Lt)/0.3≤ΔD≤((Δλ
EC_bar
+1)/Lt)/30
ꢀꢀ
式(3)其中，ΔD表示所述偏离角的主轴方向的分布的斜率，单位为角度/mm，Lt表示所述激光二极管条的长度方向的长度，单位为mm，Δλ
EC_bar
表示所述激光二极管条的长度方向的两端位置的锁定波长差，单位为nm。4.根据权利要求1所述的激光二极管条，其中，所述偏离角的主轴方向的分布的斜率以及所述多个发射极的锁定波长的分布满足下述式(4)以及式(5)，0＞((Δλ
EC_bar
‑
1.2)/Lt)/30
ꢀꢀꢀ
式(4)0＜ΔD≤((Δλ
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【专利技术属性】
技术研发人员：上田章雄，大野启，
申请(专利权)人：松下知识产权经营株式会社，
类型：发明
国别省市：