一种超高真空传样抓手制造技术

本实用新型专利技术公开一种超高真空传样抓手，包括固定座，与操作杆连接，能够绕所述操作杆的驱动轴转动；偏心轮，其偏心环固定连接于固定座；连接环，包括套接于所述偏心轮的偏心环上的第一通孔；壳体，套接于偏心轮外部；抓取模块，包括设置于壳体末端的抓取基座，以及与壳体可转动地连接的驱动杆，驱动杆的一端与连接环的顶部连接，另一端设置有钩部，钩部与抓取基座配合实现物品抓取。基座配合实现物品抓取。基座配合实现物品抓取。

【技术实现步骤摘要】
一种超高真空传样抓手


[0001]本技术涉及真空设备
，特别涉及一种超高真空传样抓手。

技术介绍

[0002]真空技术已普遍应用于半导体领域，为了保证样品从生长到测试的整个过程都在超高真空下完成，通常会在生长、测试等不同功能的超高真空系统之间搭建真空互联系统，实现样品在任意腔室之间的互联互通，样品的取放通常通过磁力杆来完成。
[0003]为了留出足够的操作空间，通常所述直线互联传输机构的腔室和各真空系统的腔室距离比较远，大多数情况下都接近一米，这就使得当需要向真空系统的腔室内的样品台基座上放入样品，或者从样品台基座上取出样品的时候，操作的人员和样品台位于直线互联传输机构的两侧，且距离很远，难以进行观察，所以一个人无法独立完成样品传送操作，需要一个人在磁力杆一侧操作磁力杆，另一个人在子系统腔室一侧观察指挥，确保位置对准以后才能进行传样，整个过程耗时很久，样品传送操作很不方便。针对这一问题，目前已有部分真空传输系统通过引入传输基座，以放置样品托，使得磁力杆不再直接抓取样品托传入子系统腔室。其中，所述传输基座如图1所示，所述传输基座的侧本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种超高真空传样抓手，其特征在于，包括：固定座，与操作杆连接，所述固定座被构造为能够绕所述操作杆的驱动轴转动；偏心轮，其偏心环固定连接于所述固定座；连接环，包括第一通孔，所述第一通孔套接于所述偏心轮的偏心环上；壳体，其套接于所述偏心轮外部，所述偏心轮被构造为能够在所述壳体内部转动；抓取模块，包括：抓取基座，其设置于所述壳体的末端；以及驱动杆，其与所述壳体可转动地连接，且所述驱动杆的一端与所述连接环的顶部连接，另一端设置有钩部，所述钩部与所述抓取基座配合以实现物品抓取。2.如权利要求1所述的超高真空传样抓手，其特征在于，所述偏心轮与壳体之间设置有润滑结构。3.如权利要求1所述的超高真空传样抓手，其特征在于，所述抓取基座的第一表面设置有第三凹槽，所述第三凹槽被配置为限制待抓取物品的底部。4.如权利要求1所述的超高真空传样抓手，其特征在于，所述驱动杆...

【专利技术属性】
技术研发人员：艾金虎，
申请(专利权)人：埃频上海仪器科技有限公司，
类型：新型
国别省市：