一种激光微纳投影打印系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种激光微纳投影打印系统，包括光源模块，光源模块包括激光器和两路光路，激光器为两路光路提供光源，两路光路的波长不同；空间调制模块，对两路光路调制分别产生第一光强空间分布图第二光强空间分布图；微缩投影模块，包括物镜，第一光强分布图和第二光强分布图成像于物镜的焦平面上；载物位移模块，用于对样品或光刻胶的三维扫描和光刻，第一光强分布图和第二光强分布图部分重叠聚焦在光刻胶上，产生非简并双光子吸收效应；控制模块，用于控制光源模块、空间调制模块和载物位移模块。本申请的激光微纳投影打印系统，能够提高打印精度和打印速度。能够提高打印精度和打印速度。能够提高打印精度和打印速度。

【技术实现步骤摘要】
一种激光微纳投影打印系统


[0001]本技术属于3D增材打印和激光微纳加工领域，特别是涉及一种激光微纳投影打印系统。

技术介绍

[0002]3D增材打印技术是新一代的绿色高端增材制造技术，具有一次成型、设计灵活、成本低、制造速度快、加工精度高等优点。该技术的发展不仅催生了迅速增长的3D制造市场，而且推动了航天、工业、生物、医疗、科研等领域的进步，被誉为是引领第三次工业革命的新兴技术。虽然3D增材打印技术日趋成熟，但目前绝大部分相关技术和产品的打印精度都在毫米(10
‑3m)到几十微米(10
‑5m)的范围，这就大大限制了在需要微纳(10
‑6～10
‑8m)精度的尖端领域应用。
[0003]双光子聚合效应具有非线性阈值，能够大大缩小有效光斑的尺寸，从而提高加工精度；另一方面，双光子效应仅发生在达到阈值的激光焦点处，光束路径的其它区域好似透明，这使精密3D微纳加工成为可能。利用双光子聚合效应的激光微纳加工技术可以制作2D或 3D微纳结构，主要有两种方式，单激光束直写和并行加工。采用单激光束直写的方法可以加工本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种激光微纳投影打印系统，其特征在于，包括：光源模块，包括激光器、第一光路和第二光路，所述激光器为第一光路和第二光路提供光源；所述第一光路和第二光路上都各自设有光开关、4f透镜组，所述第一光路和第二光路的波长不同；空间调制模块，包括依次设置在第一光路上的第一空间光调制器、第一波片以及依次设置在第二光路上的第二空间光调制器、第二波片，所述第一空间光调制器对第一光路调制产生第一光强空间分布图，所述第二空间光调制器对第二光路调制产生第二光强空间分布图；微缩投影模块，包括第一透镜、第二透镜和物镜，所述第一空间光调制器和第二空间光调制器所在的平面分别与物镜的焦平面共轭，将所述第一光强空间分布图和第二光强空间分布图成像于物镜的焦平面上；载物位移模块，用于对光刻胶的三维扫描和光刻，所述第一光强空间分布图和第二光强空间分布图部分重叠聚焦在光刻胶上，能够产生非简并双光子吸收效应，对光刻胶进行光刻；控制模块，用于控制光开关、第一空间光调制器、第二空间光调制器和载物位移模块。2.如权利要求1所述的一种激光微纳投影打印系统，其特征在于，所述激光器数量为1个，所述激光器与第一光路连接，所述激光器和第二光路之间设有倍频装置，或者所述激光器与第二光路连接，所述激光器和第一光路之间设有倍频装置。3.如权利要求1所述的一种激光微纳投影打印系统，其特征在于，所述激光器包括第一飞秒激光器和第二飞秒激光器，所述第一飞秒激光器与第一光路连接，所述第二飞秒激光器与第二光路连接。4.如权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：魏一振，张卓鹏，
申请(专利权)人：杭州志英科技有限公司，
类型：新型
国别省市：